精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 @aiLGwh  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 ?D~SHcBaN  
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目录 .e _D3Xp<  
前言 J6["j  
第1章绪论 kX ,FQG>  
1.1概述 ndCS<ojcBP  
1.2光学元件质量评价 @+CSY-g$  
1.2.1表面质量评价 Q@ )rw0$  
1.2.2亚表面质量评价 1=q?#PQ  
1.3干涉测量基础知识 M%5$-;6~_  
1.3.1干涉原理 WtdkA Sj  
1.3.2典型干涉测量结构 oCdOC5
 
第2章子子L径拼接轮廓测量 M(h H#_$  
2.1概述 W$t}3Ru  
2.2圆形子孔径拼接 Bc|x:#`C\{  
2.2.1拼接原理 w)m0Z4*  
2.2.2拼接算法 ;~@PYIp  
2.3环形子孔径拼接 R.YGmT'2  
2.3.1孔径划分 P7x?!71?L  
2.3.2拼接原理 gJGBD9wC  
2.3.3拼接算法 $W_o$'crW  
2.4广义子孔径拼接 ;~Gpw/]5E  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 ,^IZ[D>u)  
2.4.2计算机模拟 rLw[y$
2  
2.5子孔径拼接优化算法 yxP?O@(  
2.5.1调整误差分量及其波像差 dYqDL<se/I  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 X.AOp  
2.5.3仿真研究 (&]15 FJ$1  
2.6测量系统 -L'K  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台
qQ DFg`  
2.6.2实验研究 wCTR-pL^  
2.7超大口径拼接检测 7}1Kafs  
2.7.1方案设计 1707  
2.7.2拼接算法 9MzkG87J  
2.8小结 &N7:k+E
 
参考文献 F+$@3[Q`N  
第3章接触式轮廓测量 WmVw>.]@~  
3.1概述 +$=Wms-z  
3.2测量理论基础 D_ZBx+/_?  
3.2.1测量原理 muX4Y1M_  
3.2.2坐标系和坐标变换 E)_!Hi0<s  
3.2.3检测路径 qCkg\)Ks5I  
3.2.4二次曲面系数研究 4p.{G%h  
3.2.5离轴镜测量模型 cf!k 9x9Z  
3.3测量系统 3Q
~&xNf  
3.3.1测头系统 Nt^&YE7d:  
3.3.2系统设计 *pC-`k  
3.4误差分析 )B&<Bk+  
3.4.1误差源分类 (l P4D:X  
3.4.2固有误差 'MQGR@*  
3.4.3随机调整误差 [pWDhY  
3.4.4接触力诱导误差 QRHm|f9_C  
3.4.5高阶像差误差分析 P_g0G#`4  
3.5小结 lg  
参考文献 %y7wF'_Y  
第4章结构光轮廓测量 #DRtMrfat  
4.1概述 I2lZ>3X{  
4.2基于结构光原理的测量方法 WblV`"~e  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 r~2@#gTbl  
4.2.2相位测量轮廓术 RMt vEa  
4.2.3莫尔测量轮廓术 }qdJ8K  
4.2.4卷积解调法 c_qy)N
  
4.2.5调制度测量轮廓术 ,$qs9b~  
4.3测量系统及其标定 <({eOh5N  
4.3.1结构光三维测量系统 VdOd:w  
4.3.2系统参数标定 h>%JG'DV  
4.3.3快速标定方法 5a_!&  
4.4位相展开算法 n rB27  
4.4.1位相展开的基本原理 ?E_p,#9j)  
4.4.2空间位相展开方法 }3_G
|  
4.4.3时间位相展开方法 5XUI7Q%  
4.4.4光栅图像采集与预处理 |#jm=rT0y  
4.5测量误差分析 *-LU'yM6Yh  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 &8i{'k,l  
4.5.2非线性误差矫正方法 RS02>$jo  
4.6小结 eRy'N|'  
参考文献 CgKSK0/a  
第5章亚表面损伤检测 J<*Mk  
5.1概述 =<h=">}5'  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 ~%K(ou=2  
5.2.1产生机理 ,:4w$!;  
5.2.2表征方法 /0B?3&H  
5.3亚表面损伤检测技术 W}_}<rlF  
5.3.1破坏性检测 *dTf(J  
5.3.2非破坏性检测 wSyu^KDz  
5.4工艺试验 0i`Zy!  
5.4.1亚表面损伤的测量 @N{Ht)1r  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 DmPsltpzQ  
5.4.3损伤抑制策略 6i9I 4*'  
5.5小结 _-\{k
J  
参考文献 (4{9 QO  
第6章其他测量技术 {$:13AnK  
6.1移相干涉测量技术 esFL<T  
6.2动态干涉测量技术 &.4_4"l(  
6.3剪切干涉 Zs|sPatV<  
6.4点衍射干涉 ',j-n$Z^=  
6.5白光干涉测量技术 =e/4Gs0*  
6.6外差干涉测量技术 ^v5hr>m  
6.7补偿法检测非球面 )9Ojvp=#r:  
6.8计算全息法检测非球面 DkKD~  
参考文献 }jgAV  
文摘 GnaVI
  
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