精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 REsw=P!b  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 #)S&Z><
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目录 xv%]g=Q  
前言 +u&3pK>f  
第1章绪论 gieso
f  
1.1概述 Ufor>  
1.2光学元件质量评价 #|=lU4Bf  
1.2.1表面质量评价 >m%7dU  
1.2.2亚表面质量评价 Fp]ErDan  
1.3干涉测量基础知识 D$TpT X\  
1.3.1干涉原理 z('t#J!b  
1.3.2典型干涉测量结构 E!L_"GW  
第2章子子L径拼接轮廓测量 T~g`;Q%i  
2.1概述 _U^G*EqL*  
2.2圆形子孔径拼接 PZ?kv4  
2.2.1拼接原理 EDF0q i  
2.2.2拼接算法 z"FxKN~Z  
2.3环形子孔径拼接 Re*~C:  
2.3.1孔径划分 *|;`Gp  
2.3.2拼接原理 QDKY7"H  
2.3.3拼接算法 s={IKU&m[  
2.4广义子孔径拼接 Dg}EI^ d  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 f*p=
j(sF  
2.4.2计算机模拟 @`iz0DPG?Y  
2.5子孔径拼接优化算法 ,TYFPulYcp  
2.5.1调整误差分量及其波像差 Wq}W )E  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 Pw6%,?lQ  
2.5.3仿真研究 ]A1'+!1$  
2.6测量系统 q_"w,28  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 -uhVw_qq#  
2.6.2实验研究 /2tPd  
2.7超大口径拼接检测 "QBl "<<s  
2.7.1方案设计 TS=U%)Ik  
2.7.2拼接算法 {L7+lz  
2.8小结 wb##|XyK<c  
参考文献 v(, tu/  
第3章接触式轮廓测量 ([7XtG/?  
3.1概述 7=qvu&{  
3.2测量理论基础 `-?`H>+OG  
3.2.1测量原理 z2#k/3%o=  
3.2.2坐标系和坐标变换 aO bp"  
3.2.3检测路径 8~|v:qk  
3.2.4二次曲面系数研究 ]x%sX|Rj  
3.2.5离轴镜测量模型 lfr^NxOU  
3.3测量系统 
1Cw$^jd  
3.3.1测头系统 /neY2D6  
3.3.2系统设计 19%zcYTe  
3.4误差分析 ~w.y9)",  
3.4.1误差源分类 Q~KzcB<  
3.4.2固有误差 ZzP&Zrm  
3.4.3随机调整误差 e-VGJ
xR  
3.4.4接触力诱导误差 o5m]Gqa  
3.4.5高阶像差误差分析 TJZarNc$  
3.5小结 HC6v#-( `{  
参考文献 XQtV$Lw  
第4章结构光轮廓测量 _G2)=yj]  
4.1概述 QcjsQTAbk  
4.2基于结构光原理的测量方法 $0+&xJVn  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 {Eqx'j  
4.2.2相位测量轮廓术 vjA!+_I6  
4.2.3莫尔测量轮廓术 BbPRPkV  
4.2.4卷积解调法 !"'6$"U\K  
4.2.5调制度测量轮廓术 V=YDqof  
4.3测量系统及其标定 <vb7X  
4.3.1结构光三维测量系统 YHxQb$v)  
4.3.2系统参数标定 k"m+i  
4.3.3快速标定方法 [<d_#(]h'  
4.4位相展开算法 .LbAR u  
4.4.1位相展开的基本原理 aEun *V^,  
4.4.2空间位相展开方法 YtXd>@7  
4.4.3时间位相展开方法 ~&"'>C#  
4.4.4光栅图像采集与预处理 ^ q3H  
4.5测量误差分析 5'<mfY'B  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 6 B7F  
4.5.2非线性误差矫正方法 Vo|[Z)MO`  
4.6小结 u<+"#.[2v~  
参考文献 /_yAd,^-+  
第5章亚表面损伤检测 *r7%'K{C  
5.1概述 IOJLJ p  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 $I<\Yuy-M9  
5.2.1产生机理 kv2 H3O  
5.2.2表征方法 c6iFha;db  
5.3亚表面损伤检测技术 _x$\E  
5.3.1破坏性检测 VZ7E#z+nM#  
5.3.2非破坏性检测 #F6M<V'  
5.4工艺试验 Pu'NSNT  
5.4.1亚表面损伤的测量 ;q#Pl!*5  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 _ D"S  
5.4.3损伤抑制策略 [<>%I#7ulG  
5.5小结 c4s,T"H  
参考文献 =Q6JXp  
第6章其他测量技术 M-e|$'4u  
6.1移相干涉测量技术 'aS: Azb  
6.2动态干涉测量技术
/2Ok;!.  
6.3剪切干涉 uC[F'\Y  
6.4点衍射干涉 m\_v{1g  
6.5白光干涉测量技术 p<y\^a  
6.6外差干涉测量技术 J0o,ZH9  
6.7补偿法检测非球面 8v=t-GJW  
6.8计算全息法检测非球面 JIf.d($ ~:  
参考文献 phwBil-vUU  
文摘 *Xn6yL9  
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