精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 P"Scs$NOU?  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 &J]|pf3m  
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前言 7Gos-_s  
第1章绪论 ;Dw6pmZ  
1.1概述 b}f#[* Z  
1.2光学元件质量评价 `rwzCwA1  
1.2.1表面质量评价 p{V_}:|=Q  
1.2.2亚表面质量评价 |vGb,&3  
1.3干涉测量基础知识 >`0l"K<  
1.3.1干涉原理 ]-rhc.Gk@1  
1.3.2典型干涉测量结构 Dc1tND$X3g  
第2章子子L径拼接轮廓测量 x;F^7c1  
2.1概述 j;BMuLTm1  
2.2圆形子孔径拼接 q2$-U&  
2.2.1拼接原理 V[Z^Z  
2.2.2拼接算法 Tc3~~X   
2.3环形子孔径拼接 96VJE,^h  
2.3.1孔径划分 |}?o=bO  
2.3.2拼接原理 Lddk:u&J  
2.3.3拼接算法 y^iju(  
2.4广义子孔径拼接 ycD}7  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 ZH1W#dt`[  
2.4.2计算机模拟 O(_a6s+m  
2.5子孔径拼接优化算法 K> rZJ[a  
2.5.1调整误差分量及其波像差 K1_]ne)  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 *GGiSt  
2.5.3仿真研究 !5wuBJ0  
2.6测量系统 |riP*b
 
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 cn3F3@_"\  
2.6.2实验研究 0afDqvrC6  
2.7超大口径拼接检测 ask76  e  
2.7.1方案设计 [9lfR5=Xw[  
2.7.2拼接算法 +L]$M)*0&  
2.8小结 Jc3Z1Tt  
参考文献 46(=*iT&V  
第3章接触式轮廓测量 {9,!XiF.:  
3.1概述 liuw!
  
3.2测量理论基础 "44A#0)B'l  
3.2.1测量原理 O:I"<w9_1  
3.2.2坐标系和坐标变换 MjNq8'$"  
3.2.3检测路径 ~vGX(8N  
3.2.4二次曲面系数研究 eM) I%  
3.2.5离轴镜测量模型 KJs/4oR;  
3.3测量系统 a*D])Lu[  
3.3.1测头系统 drM@6$k  
3.3.2系统设计 8M~^/
Zc  
3.4误差分析 IQm[,Fh  
3.4.1误差源分类 Il
8,g+W]  
3.4.2固有误差 ^W*T~V*8  
3.4.3随机调整误差 =.Hq]l6+  
3.4.4接触力诱导误差 -aV!ZODt  
3.4.5高阶像差误差分析 >Av[`1a2F  
3.5小结  W>HGB  
参考文献 Ed>Dhy6\r  
第4章结构光轮廓测量 GdlzpBl  
4.1概述 Rn4Bl8z'>  
4.2基于结构光原理的测量方法 tx9;8K3  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 rZi\  
4.2.2相位测量轮廓术 )*CDufRFz  
4.2.3莫尔测量轮廓术 Rt6(y #dF  
4.2.4卷积解调法 nRSiW*;R  
4.2.5调制度测量轮廓术 h;lg^zlTb  
4.3测量系统及其标定 d$?sS9"8(  
4.3.1结构光三维测量系统 &| guPZ  
4.3.2系统参数标定 Z+%w|Sx  
4.3.3快速标定方法 !%lcn O  
4.4位相展开算法 26D,(Y$*  
4.4.1位相展开的基本原理 DDwj[' R  
4.4.2空间位相展开方法 JK/VIu&!  
4.4.3时间位相展开方法 fK?/o]vq  
4.4.4光栅图像采集与预处理 c(j|xQ\pE  
4.5测量误差分析 Af`qe+0E  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 +5k^-  
4.5.2非线性误差矫正方法 7%0V?+]P  
4.6小结 %p(!7FDE2n  
参考文献 #sRkKl|  
第5章亚表面损伤检测 &%\H170S  
5.1概述 <=g{E-  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 @L/p  
5.2.1产生机理 "rJJ~[Y  
5.2.2表征方法 c*~/`lG  
5.3亚表面损伤检测技术 pFW^  
5.3.1破坏性检测 #=81`u  
5.3.2非破坏性检测 ulAOQGZ  
5.4工艺试验 `Jv~.EF%  
5.4.1亚表面损伤的测量 R?E< }\!  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 kHhxR;ymA7  
5.4.3损伤抑制策略 G
Lpl  
5.5小结 -KA Y  
参考文献 ~#SLb=K   
第6章其他测量技术 #<k L.e[  
6.1移相干涉测量技术 AW')*{/(Ii  
6.2动态干涉测量技术 m5'nqy F  
6.3剪切干涉 }9FAM@x1K&  
6.4点衍射干涉 *]#(?W.$w  
6.5白光干涉测量技术 d>wpG^"w  
6.6外差干涉测量技术 1<(('
H  
6.7补偿法检测非球面 # ^q87y  
6.8计算全息法检测非球面 y~Ts9AE  
参考文献 B_3:.1>"BM  
文摘 '&+5L.  
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