现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 #fn)k1  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 @O^6&\s>  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 >V8-i`  
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第一篇光学多层膜设计 <&g,Nc'5C  
第1章光学薄膜特性的理论计算 EaY?aAuS:  
1.1单色平面电磁波 mLLDE;7|}  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 8\A#CQ5b  
1.3光学薄膜特性的理论计算 `Cynj+PCe  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 B!L{  
习题 !Pfr,a  
第2章光学薄膜的设计理论 q Y?j#fzi  
2.1矢量作图法 Pw`8Wj  
2.2有效界面法 w;:*P  
2.3对称膜系的等效层 IDriGZZ<)6  
2.4导纳图解技术 u[=r,^YQ  
习题 YWO)HsjP  
第3章光学薄膜系统的设计 ">,|V-H  
3.1减反射膜 A&Usddcp  
3.2分束镜 jZkcBIK2  
3.3高反射膜 b&N'C9/8  
3.4干涉截止滤光片 9Uekvs=r=M  
3.5带通滤光片 >7T'OC  
3.6特殊膜系 k|PN0&J  
习题 ]dmrkZz:  
参考文献 Ee%%d  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 5 ,B_u%bb  
第4章薄膜制备技术 By",rD- r  
4.1真空淀积工艺 WUXx;9>  
4.2光学薄膜材料 :g=qz~2Xk  
4.3薄膜厚度监控艺术 [ =9T*Sp  
4.4膜层厚度的均匀性 sW'AjI  
习题 bSi%2Onj  
参考文献 WH@,kH@  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Ma']?Rb`  
5.1薄膜的形成过程 Hc$O{]sq  
5.2薄膜的微观结构 -4IE]'##  
5.3薄膜的成分 rCbDu&k]  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 qUW! G&R  
5.5薄膜微观结构和改善 A,
Vu\3HS  
习题 b)5uf'?-  
参考文献 0#s"e}@v  
第三篇光学薄膜检测技术 aU "8{  
第6章薄膜透射率和反射率测量 IT7
wT+  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 U!?_W=?  
6.2薄膜反射率的测试 Val|n*%  
6.3薄膜反射率的测量 /}fHt^2H  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 { VfXsI  
6.5总结 rIu$pZO  
习题 7yH"l9Z  
参考文献 y@:h4u"3  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ^?7-r6  
7.1激光量热计基本原理 CR`Q#Yi  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ):68%,  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ~IfJwBn-i  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 b"uu  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 0$)>D==  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 IS{wtuA.  
7.7总结 
JHM9  
习题 p{Yv3dNl  
参考文献 FaQe_;  
第8章薄膜光学常数的测量 2W96Zju\  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 G )trG9 .a  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 oim9<_  
8.3薄膜波导法 +\c5]`  
8.4光学薄膜厚度的测试 mAj?>;R2$2  
8.5总结 j_!F*yul  
习题 7uS~MW  
参考文献 +`7i'ff  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 :Ij{s  
9.1薄膜的力学特性检测技术 Jr ,;>   
9.2薄膜器件的环境试验 n.`($yR_  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 6ryak!|[  
9.4总结 qo90t{|c  
习题 ?qLFaFt/  
参考文献 LqoB 10Kc\  
附录 6Z6'}BDP  
附录A复数与复数运算 B:;pvW]  
A.1复数的概念 ?wiCQ6*$  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 0[NZ>7wqMZ  
A.3复数在物理中的运用 _"Dv uR  
附录B矩陈及矩陈运算 MSQEO4ge  
B.1矩陈的定义 \:# L)  
B.2矩陈运算 *
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附录C光的电磁理论基础 @;zl  
C.1振动与波 /yDz/>ID\  
C.2电磁波 hLd^ agX  
C.3麦克斯韦方程 7 S#J>*  
C.4平面电磁波 *v jmy/3  
C.5平面电磁波性质 55nlg>j  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 53;}Nt#R  
附录D光的干涉 |"X*@s\'  
D.1波的叠加原理 U3ADsdn  
D.2杨氏干涉 uB]7G0g:  
D.3平板的表面干涉 |C;=-|  
D.4光的空间相干性和时间相干性 25nt14Y0u  
附录E光的偏振 G6q }o)[m)  
E.1自然光和偏振光 Zw 26  
E.2偏振光与Jones矩陈 P_dCR  
E.3偏振光的获得 VuhGx:Xl  
E.4偏振光的检验 knu,"<  
…… ~NrG` D}  
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