现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 SS=<\q#MS  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 Ps!MpdcL3  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 _ E;T"SC  
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第一篇光学多层膜设计 {3~VLdy  
第1章光学薄膜特性的理论计算
-8TJ:#|N  
1.1单色平面电磁波 :!`"GaTy  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 d7OygDb<  
1.3光学薄膜特性的理论计算 hi
7_jl6  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 kRp]2^}\s\  
习题 6>>; fy2  
第2章光学薄膜的设计理论 3o<d=@`r  
2.1矢量作图法 :xh{SsW@  
2.2有效界面法 [{znwK@  
2.3对称膜系的等效层 ]?eZDf

~  
2.4导纳图解技术 &`"DG$N(  
习题 g{8
RPw]  
第3章光学薄膜系统的设计 YG "Ta|@5  
3.1减反射膜 51#*8u+L  
3.2分束镜 ^9g$/8[^c_  
3.3高反射膜 "g{q=[U}  
3.4干涉截止滤光片 v, $r.g;  
3.5带通滤光片 '0<d9OlJ}  
3.6特殊膜系 (o^tmH*  
习题 7
aG.?Ca%  
参考文献 Wv;0PhF  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 a~$XD(w^  
第4章薄膜制备技术 DJP6Z  
4.1真空淀积工艺 Av X1*  
4.2光学薄膜材料 /F*Y~>*% 1  
4.3薄膜厚度监控艺术 R=D]:u<P  
4.4膜层厚度的均匀性 Ma YU%h0  
习题 ]-=L7a
 
参考文献 L.Y3/H_  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 =~#mF<z5  
5.1薄膜的形成过程 fqNh\~kja  
5.2薄膜的微观结构 6EqA
Y`y  
5.3薄膜的成分 wj)LOA0  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 DeO-@4+qKd  
5.5薄膜微观结构和改善 Y
0LZbT3  
习题 pu-HEv}]a|  
参考文献 1'kO{Ge*p:  
第三篇光学薄膜检测技术 -;""l{  
第6章薄膜透射率和反射率测量 iSW2I~PD  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 =Tj{)=^/#  
6.2薄膜反射率的测试 Wn%P.`o#  
6.3薄膜反射率的测量 O[@!1SKT0  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 9:j?Jvw$  
6.5总结 5E!C?dv(z  
习题 <Xf6?nyZ(  
参考文献 2M %j-yG"  
第7章薄膜的吸收和散射测量 /x VHd  
7.1激光量热计基本原理 Ayz*2N`%  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 @Jt$92i5PS  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 JGs:RD'  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 <2$vo  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Q@D7\<t  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 du65=w4E!  
7.7总结 %I1@{>OxG  
习题 { 3G  
参考文献 L9GLjRp-  
第8章薄膜光学常数的测量 .<x6U*)\O  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 wk(25(1q  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Y(Q 0m|3P  
8.3薄膜波导法 2d)Dhxzxk  
8.4光学薄膜厚度的测试 |'^s3i&w  
8.5总结 #'L<7t K  
习题 ["-rDyP  
参考文献 tOwn M1 :(  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 f|[7LIdh-  
9.1薄膜的力学特性检测技术 6$u/
N gS  
9.2薄膜器件的环境试验 {u'szO}k  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 L9b.D<  
9.4总结 f56yI]*N=<  
习题 cslC+e/  
参考文献 dwOfEYC  
附录 Xp<q`w0I,  
附录A复数与复数运算 lriezI  
A.1复数的概念 M2$/x`\-~  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ,
d"T2Hy  
A.3复数在物理中的运用 ;6tra_  
附录B矩陈及矩陈运算 19 5_1?'<  
B.1矩陈的定义 Z@~gN5@,M  
B.2矩陈运算 !np_B0`  
附录C光的电磁理论基础 ~i,d%a  
C.1振动与波 9~SPoR/_0  
C.2电磁波 0.MB;gm:  
C.3麦克斯韦方程 -(vHy/Hz.  
C.4平面电磁波 P,v7twc0M  
C.5平面电磁波性质 7e_4sxg'(3  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ]U?nYppV
 
附录D光的干涉 corm'AJ/  
D.1波的叠加原理 E=NjWO  
D.2杨氏干涉 Dri
6\/0  
D.3平板的表面干涉 ;jPsS^X  
D.4光的空间相干性和时间相干性 d$ouH%^cGu  
附录E光的偏振 UZdnsG7  
E.1自然光和偏振光 wL;OQhI  
E.2偏振光与Jones矩陈 @iz Onc:  
E.3偏振光的获得 Agcss20
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E.4偏振光的检验 }7PJr/IuF  
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