现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 nV/G8SeI  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 `%"\@<  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 j@3Q;F0ba  
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第一篇光学多层膜设计 2*l/3VW  
第1章光学薄膜特性的理论计算 fW1CFRHH  
1.1单色平面电磁波 &d?CCb$|0Y  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 `MN4uC  
1.3光学薄膜特性的理论计算 V1`o%;j  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 :v&$o'Sak  
习题 Ed df2;-.  
第2章光学薄膜的设计理论 &>W$6>@  
2.1矢量作图法 ep)n_!$OH"  
2.2有效界面法 k&vz7Q`T  
2.3对称膜系的等效层 WH@,kH@  
2.4导纳图解技术 Ma']?Rb`  
习题 g63(E,;;J  
第3章光学薄膜系统的设计 s.QwSbw-g  
3.1减反射膜 @&3EJ1  
3.2分束镜 i
0kak`x0  
3.3高反射膜 Q}K"24`=  
3.4干涉截止滤光片 m{cGK`/\  
3.5带通滤光片 CMG&7(MR  
3.6特殊膜系 *:LK8U  
习题 /1V xc 6  
参考文献 $)ijN^hV  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 '/n1IM$7  
第4章薄膜制备技术
6"5A%{J  
4.1真空淀积工艺 8hz^%vm  
4.2光学薄膜材料 "W7K"=X  
4.3薄膜厚度监控艺术 Ls$D$/:q?  
4.4膜层厚度的均匀性 U}e!Wjrc  
习题 mCsMqDH  
参考文献 (pCrmyB  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 RYQR(v  
5.1薄膜的形成过程 M2>Vj/  
5.2薄膜的微观结构 =9boya,>  
5.3薄膜的成分 P%:wAYz1^O  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 vkx7paY_  
5.5薄膜微观结构和改善 ~Z?TFg  
习题 L:pYn_  
参考文献 wc NOLUl  
第三篇光学薄膜检测技术 ~hnQUS`A  
第6章薄膜透射率和反射率测量 JPc+rfF  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 k"T}2 7  
6.2薄膜反射率的测试 wOEj)fp.  
6.3薄膜反射率的测量 ?FeYN+qR  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 T@:Wp4>69  
6.5总结 2G67NC?+  
习题 %S@ZXf~:  
参考文献 RK'\C\gMDu  
第7章薄膜的吸收和散射测量 'EEJU/"u  
7.1激光量热计基本原理 0d"[l@UU0  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 Ic"ybj`  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 'KS,'%  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 Yq0| J  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ['X]R:3h  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 <EB+1GFuI  
7.7总结 @uqd.Q  
习题 ?Wr+Q  
参考文献 ( iBl  
第8章薄膜光学常数的测量 1MP~dRZ$  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 j^j1  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 hYT0l$Ng  
8.3薄膜波导法 nA-.mWD_C  
8.4光学薄膜厚度的测试 0_95|3kc  
8.5总结 [fya)}  
习题 Xtq_y'I  
参考文献 (lBCO?`fx  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 dUeN*Nq&(,  
9.1薄膜的力学特性检测技术 N ,'GN[s  
9.2薄膜器件的环境试验 dh`K`b4I  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 U3ADsdn  
9.4总结 lk^Ol&6  
习题 b,l$1{  
参考文献
0U(@=7V  
附录 G\/zkrxmv  
附录A复数与复数运算 o]J{{M'E  
A.1复数的概念 F'={q{2wH  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 V%7WUq  
A.3复数在物理中的运用 Gv!2f  
附录B矩陈及矩陈运算 9
-VNp;V
 
B.1矩陈的定义 a?I= !js  
B.2矩陈运算 ?/
wm(uL  
附录C光的电磁理论基础 :}L[sl\R  
C.1振动与波 \+oQd=K@  
C.2电磁波 EA@.,7F  
C.3麦克斯韦方程 ?Ny9'g>?  
C.4平面电磁波 GfxZ'VIn  
C.5平面电磁波性质 9|^2",V  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 <.x{|p  
附录D光的干涉 h0*!;Z7  
D.1波的叠加原理 ^b4 9  
D.2杨氏干涉 e8>})  
D.3平板的表面干涉 VZp5)-!\  
D.4光的空间相干性和时间相干性 guq{#?}  
附录E光的偏振 tVYF{3BhA  
E.1自然光和偏振光 e&|'I"  
E.2偏振光与Jones矩陈 lK?uXr7^  
E.3偏振光的获得 dc+>m,3$  
E.4偏振光的检验 ;V:i!u u  
…… (R[[Z,>w.  
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