现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 >KPJ74R  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 YMd&+J`  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 $Da^z[8e  

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第一篇光学多层膜设计 * 2%e.d3"M  
第1章光学薄膜特性的理论计算 (0Cszm.  
1.1单色平面电磁波 r\d:fot  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 G,-OH-M!  
1.3光学薄膜特性的理论计算 F21[r!3  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 `1@[uWl  
习题 g-FZel   
第2章光学薄膜的设计理论 D3xaR  
2.1矢量作图法 @W8}N|jek  
2.2有效界面法 \<B6>  
2.3对称膜系的等效层 3L?a4,Q"k}  
2.4导纳图解技术 XB-|gPk  
习题 l|A8AuO*?  
第3章光学薄膜系统的设计 --`LP[l
l  
3.1减反射膜 !^fR8Tp9  
3.2分束镜 ~iZF~PQ1_  
3.3高反射膜 *hs<Ez.cC  
3.4干涉截止滤光片 OeGuq.>w  
3.5带通滤光片 ]a#]3(o]}  
3.6特殊膜系 Z(mn U;9{v  
习题 43=-pyp  
参考文献 ]wpYxos  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 Q 02??W  
第4章薄膜制备技术 l0\>zWLZZ9  
4.1真空淀积工艺 FR^wDm$  
4.2光学薄膜材料 dG>Wu o  
4.3薄膜厚度监控艺术 B4Af  
4.4膜层厚度的均匀性 H0n@kKr  
习题 e=;@L3f
 
参考文献 w^E]N  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 #'Y6UGJ\n  
5.1薄膜的形成过程 rI66frbj  
5.2薄膜的微观结构 k,iV$,[TF  
5.3薄膜的成分 bA^:p3  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 >\x_"oR  
5.5薄膜微观结构和改善 r]EZ)qp^@  
习题 &R FM d=  
参考文献 9 roth  
第三篇光学薄膜检测技术 `{Di
*
 
第6章薄膜透射率和反射率测量 .'{6u;8  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 }V#9tWW  
6.2薄膜反射率的测试 fRa-bqQ  
6.3薄膜反射率的测量 9EA !j}  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 19w,'}CGk  
6.5总结 - Zoo)  
习题 !_z<W~t"  
参考文献
n.Eoi4jV'  
第7章薄膜的吸收和散射测量 )>X|o$2  
7.1激光量热计基本原理 g9weJ6@}M  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 #b"5L2D`y'  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 cM<hG:4%wX  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 am'p^Z@  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Zj+}T  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 T.
w}6?2  
7.7总结 QOh w  
习题 zr;Y1Xt4  
参考文献 X?v^>mA  
第8章薄膜光学常数的测量 ug6f   
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 <;,S"e  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 kG;eOp16R  
8.3薄膜波导法 1nlE3Y?AV  
8.4光学薄膜厚度的测试 ^~r&}l4c,  
8.5总结 [>M*_1F  
习题 leb^,1/D6  
参考文献 ^;CR0.4  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 c2\rjK  
9.1薄膜的力学特性检测技术  uRB)g  
9.2薄膜器件的环境试验 }KaCf,O  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 gM
;)  
9.4总结 A"bSNHCKF  
习题 L`HH);Ozw  
参考文献 1hMX(N&|  
附录 p'%: M  
附录A复数与复数运算 &` 00/p  
A.1复数的概念 |B1;l<|`  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 9#EHXgz  
A.3复数在物理中的运用 ?LV-W  
附录B矩陈及矩陈运算 }4\!7]FVYX  
B.1矩陈的定义 &Xn8oe  
B.2矩陈运算 #E$Z[G]  
附录C光的电磁理论基础 
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C.1振动与波 /mMAwx  
C.2电磁波 [ n0##/  
C.3麦克斯韦方程 1o;g1Z/  
C.4平面电磁波 A'~%
_}  
C.5平面电磁波性质 Mg a@JA"  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ~_l6dDJ  
附录D光的干涉 Uaus>Frx.T  
D.1波的叠加原理 dK J@{d  
D.2杨氏干涉 x:A-p..e  
D.3平板的表面干涉 Uxk[O  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ##EB; Y  
附录E光的偏振 H4}%;m%  
E.1自然光和偏振光 eC+"mhB  
E.2偏振光与Jones矩陈 R%Ui6dCLo  
E.3偏振光的获得 tL={y*  
E.4偏振光的检验 't0+:o">:  
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