现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 X<$DN
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光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 _!vy|,w@e  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 <s\ZqL$f  
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第一篇光学多层膜设计 B/;'D7i|S  
第1章光学薄膜特性的理论计算 %K=_  
1.1单色平面电磁波 6rD]6#D  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 `jr?I {m;  
1.3光学薄膜特性的理论计算 FIVC~LDd  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 x H=15JY1W  
习题 |6^%_kO!|  
第2章光学薄膜的设计理论 X's<+hK&  
2.1矢量作图法 eV(9I v[  
2.2有效界面法 bi",DKU{l  
2.3对称膜系的等效层 %yjD<2J;  
2.4导纳图解技术 L@zhbWY  
习题 dkDPze9l  
第3章光学薄膜系统的设计 D `V.gV]  
3.1减反射膜 ^Mc9MZ)  
3.2分束镜 R?9x!@BV  
3.3高反射膜 U~"Y8g#qgy  
3.4干涉截止滤光片 5F ^VvzNn  
3.5带通滤光片 E'Ux2sh  
3.6特殊膜系 Su?cC/  
习题 rMZuiRz*  
参考文献 \weg%
a  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 M3|G^q:l  
第4章薄膜制备技术 s/C'f4  
4.1真空淀积工艺 esx/{j;<u  
4.2光学薄膜材料 :lvBcFw  
4.3薄膜厚度监控艺术 
%OO}0OW  
4.4膜层厚度的均匀性 _!, J iOI  
习题 $6D*G-*8  
参考文献 %+Z*-iX  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ysp`(n=  
5.1薄膜的形成过程 T{f$S  
5.2薄膜的微观结构 NT5
'U  
5.3薄膜的成分 2=0HQXXrq  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 2u!&Te(!9  
5.5薄膜微观结构和改善 +Y~5197V  
习题 EEL3~H{
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参考文献 Myiv#rQ)  
第三篇光学薄膜检测技术
H, :]S-T  
第6章薄膜透射率和反射率测量 oo7}Hg>  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 Dat',5  
6.2薄膜反射率的测试 &TA{US3~  
6.3薄膜反射率的测量 i 61k  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 i-5,*0e6m  
6.5总结
r-.@MbBm  
习题 ykPiZK  
参考文献 09G47YkSy1  
第7章薄膜的吸收和散射测量 1
,bE[_  
7.1激光量热计基本原理 Fr  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 fbOqxF"?we  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 fPPP|  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 $$&.}}.,  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ,%l}TSs  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ]- `wXi"  
7.7总结 (4A'$O2  
习题 X<[ qX*  
参考文献 5h6o}  
第8章薄膜光学常数的测量 je2_.^  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 Tsa]SN14  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 tB,(12@W  
8.3薄膜波导法 *pS 7,Hm  
8.4光学薄膜厚度的测试 \P?X`]NwnO  
8.5总结 z^Ikb(KC  
习题 LjG^c>[:m  
参考文献 SFDTHvXu#_  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 cAEvv[  
9.1薄膜的力学特性检测技术 !+^'Ej)z  
9.2薄膜器件的环境试验 Em@:QmEN  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 I

_u/  
9.4总结 "W(Ae="60  
习题 @&O4a2+  
参考文献 Wx{E\ l  
附录 NBc^(F"  
附录A复数与复数运算 o5F:U4sG  
A.1复数的概念 &.*UVc2+Y  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 }a6t<m`V  
A.3复数在物理中的运用 F1L[3D^-  
附录B矩陈及矩陈运算 NSB6 2  
B.1矩陈的定义 SXOAa<u5  
B.2矩陈运算 Nq6'7'x  
附录C光的电磁理论基础 &R_7]f+%)  
C.1振动与波 71c[`h*0{  
C.2电磁波 tZ9i/=S  
C.3麦克斯韦方程 &9#m]
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C.4平面电磁波 V<0iYi;4=  
C.5平面电磁波性质 cA q3Gh  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 0Lxz?R x]<  
附录D光的干涉 EaO@I.[  
D.1波的叠加原理 '|^:,@8P9  
D.2杨氏干涉 5h#h>0F  
D.3平板的表面干涉 /^BC Qaj  
D.4光的空间相干性和时间相干性 vv @m{,7#Y  
附录E光的偏振 JF
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E.1自然光和偏振光 RQx8Du<  
E.2偏振光与Jones矩陈 'cXdc  
E.3偏振光的获得 w!7\wI[  
E.4偏振光的检验 :-k|jt  
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