现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 *J1pxZ^  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 C[gSiL  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 zx#d_SVi  

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第一篇光学多层膜设计 ?em)om  
第1章光学薄膜特性的理论计算 Z U f<
s?  
1.1单色平面电磁波 1D=M
y1B  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 +/x|P-  
1.3光学薄膜特性的理论计算 [m}x  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 1REq.%/=  
习题 F^`sIrZvs  
第2章光学薄膜的设计理论 b*P\a  
2.1矢量作图法 nqiy)ZN#R  
2.2有效界面法 ~)oC+H@{  
2.3对称膜系的等效层 LoBKR c2t  
2.4导纳图解技术 tC|5;'m.2  
习题 jW
P(7}U  
第3章光学薄膜系统的设计 prIq9U|@  
3.1减反射膜 AbcLH
V.  
3.2分束镜 LNg[fF^:  
3.3高反射膜 jUBlIVl]  
3.4干涉截止滤光片 ^+,mxV'8!  
3.5带通滤光片 i}+dctg/  
3.6特殊膜系 4I{|M,+  
习题 s2w.V O  
参考文献 4:6@9.VVT  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 .z+QyNc:  
第4章薄膜制备技术 j}0*`[c  
4.1真空淀积工艺 [gQ
~B1O  
4.2光学薄膜材料 n-H0cm  
4.3薄膜厚度监控艺术 ;9u6]%hQTX  
4.4膜层厚度的均匀性 n6|}^O7  
习题 mRQ F5W6  
参考文献 x`C;  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 0{AVH/S  
5.1薄膜的形成过程 eN}FBX#'  
5.2薄膜的微观结构 7
s
HtJr  
5.3薄膜的成分 {&K#~[)  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 $XT&8%|*7  
5.5薄膜微观结构和改善 y1k""75  
习题 WGp81DNS|  
参考文献 ijyj}gpWha  
第三篇光学薄膜检测技术 Q#:,s8TW[  
第6章薄膜透射率和反射率测量 w9.r`_-  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ]IyC  
6.2薄膜反射率的测试 FA4bv9:hi  
6.3薄膜反射率的测量 <
7^_M*F9  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 173/A=]  
6.5总结 p1X lni%=  
习题 `$MO.K{  
参考文献 C(W?)6?  
第7章薄膜的吸收和散射测量 E\RQm}Z09  
7.1激光量热计基本原理 OmKT}D~ 4  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 [@>Kd`!'  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 %li'j|  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 wPqIy}-  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 .bnoK  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 '1.T-.4>&  
7.7总结 ].:S!QO  
习题 }Qg9l|  
参考文献 LZ\}Kgi(!T  
第8章薄膜光学常数的测量 yt_?4Hc"  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 W0gaOew(^  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 eeB^c/k(P  
8.3薄膜波导法 NGS/lKz  
8.4光学薄膜厚度的测试 0YIvE\-  
8.5总结 U_M> Q_r(  
习题 xj%
h-@o6  
参考文献 a*%>H(x  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 $ n 7dIE  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ;QgJw2G  
9.2薄膜器件的环境试验 Is?0q@  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 i~l0XjQbs  
9.4总结 WW==  
习题 LD^V="d  
参考文献 jF-z?  
附录 t;y>q  
附录A复数与复数运算 q] ,&$d^@  
A.1复数的概念 .sjM$#V=  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 =I7#Vtd^K<  
A.3复数在物理中的运用 +J+]P\:  
附录B矩陈及矩陈运算 m=j7 vb  
B.1矩陈的定义 })T_D\2M  
B.2矩陈运算 B6=8cf"i  
附录C光的电磁理论基础 CQ3;NY=o  
C.1振动与波 ]j_S2lt  
C.2电磁波 UY)YhXW  
C.3麦克斯韦方程 GH^i,88  
C.4平面电磁波 E!3W_:Bs  
C.5平面电磁波性质 Mb?6c y[  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Eiz\Nb  
附录D光的干涉 H={fY:%  
D.1波的叠加原理 W%~ S~wx  
D.2杨氏干涉 ~?[@
KK  
D.3平板的表面干涉 e2/&X;2  
D.4光的空间相干性和时间相干性 QLIm+)T  
附录E光的偏振 1Qf5H!5vx  
E.1自然光和偏振光 #sNa}292"  
E.2偏振光与Jones矩陈 WWq)CwR  
E.3偏振光的获得 ~v+& ?dg  
E.4偏振光的检验 / ^!(rHf  
…… BflF*-s ^  
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