现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 has5"Bb  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 /-4%ug tD$  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 Z)?"pBv'  

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第一篇光学多层膜设计 /Hd\VI  
第1章光学薄膜特性的理论计算 p$"*U[%l  
1.1单色平面电磁波 Y8CXinh  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 'rCwPsI&4  
1.3光学薄膜特性的理论计算 K):)bL(B  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 lR-4"/1|y  
习题 2KPXRK  
第2章光学薄膜的设计理论 U1&m-K  
2.1矢量作图法 R a9/L  
2.2有效界面法 Zo&U3b{Dy  
2.3对称膜系的等效层 n7Re@'N<  
2.4导纳图解技术 U:IQWlC  
习题 ,':?3| $c  
第3章光学薄膜系统的设计 K@?S0KMK  
3.1减反射膜 0gnr@9,X  
3.2分束镜 fw-LZ][  
3.3高反射膜 WMYvE\"  
3.4干涉截止滤光片 cvAkP2  
3.5带通滤光片 X}S<MA`  
3.6特殊膜系 =NlA
Gzv!w  
习题 X\flx~  
参考文献 2.2 s>?\  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 GV%ibqOpQj  
第4章薄膜制备技术 hL&z"_
`  
4.1真空淀积工艺 7MBz&wE^f  
4.2光学薄膜材料 1tfm\/V}ho  
4.3薄膜厚度监控艺术 i5:fn@&  
4.4膜层厚度的均匀性 =G*
<WcR  
习题 A2htD!3  
参考文献 _%.atW7  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 hGzj}t W8d  
5.1薄膜的形成过程 CbwQ'c$}  
5.2薄膜的微观结构 J/ 4kS<c  
5.3薄膜的成分 a N_M  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 \GBv@  
5.5薄膜微观结构和改善 B(E+2;!QF  
习题 Xi$uK-AHpj  
参考文献 X$J  
第三篇光学薄膜检测技术 $,bLb5}Qu  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ~|+  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 d)9=hp;,
V  
6.2薄膜反射率的测试 _>*TPlB  
6.3薄膜反射率的测量 UKn>.,  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 \iO ,y:  
6.5总结 _PQQ&e)E  
习题 l8jm7@.E  
参考文献 _sx]`3/86  
第7章薄膜的吸收和散射测量 T+Du/ERL  
7.1激光量热计基本原理 A)'{G  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 rr9N(AoxW  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 k${25*M!3  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 $xNZ.|al  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法  w8$8P  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 +>Y2luR1  
7.7总结 }eSaF@.  
习题 #sN]6  
参考文献 _-^a8F>/19  
第8章薄膜光学常数的测量 -=@d2LY  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 8)/d8@  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 f6u<.b  
8.3薄膜波导法 =J<3B H^m  
8.4光学薄膜厚度的测试 }~y i6!w'  
8.5总结 !w{4FE74  
习题 G[@RZ~o4  
参考文献 SwXVa/9a"  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 V*}ft@GPD  
9.1薄膜的力学特性检测技术 K>N\U@@8i  
9.2薄膜器件的环境试验 :tdN#m6&  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 xN'$Yh  
9.4总结 U]ynnw4  
习题 jH({Qc,97  
参考文献 Iw~R@,  
附录 Xq@Bzya  
附录A复数与复数运算 Kejp7okb  
A.1复数的概念 "A6m-xE~  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 +Hgil  
A.3复数在物理中的运用 of659~EIW  
附录B矩陈及矩陈运算 TD!--l*gL  
B.1矩陈的定义 <Z5-?wgf9  
B.2矩陈运算 x8 _f/2&  
附录C光的电磁理论基础 FC@h6\+a  
C.1振动与波 3K!(/
,`  
C.2电磁波 O`K2mt\%  
C.3麦克斯韦方程 2RG6m=Y8y  
C.4平面电磁波 -Aaim`06bv  
C.5平面电磁波性质 <hvs{}TS  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 vJ9I z  
附录D光的干涉 FUzN
}"\1  
D.1波的叠加原理 HCfme<'  
D.2杨氏干涉 ( RO-~-  
D.3平板的表面干涉 =h0vdi%{  
D.4光的空间相干性和时间相干性 G!dx)v  
附录E光的偏振 eu={6/O
 
E.1自然光和偏振光 2. '` mGu  
E.2偏振光与Jones矩陈 %e^GfZ  
E.3偏振光的获得 {ppzg
`G\  
E.4偏振光的检验 K*I!:1;3N  
…… e`n+U-)z  
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