现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 `m\l#r2C  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 BF(Kaf;<t.  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 vve[.Lud'  

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第一篇光学多层膜设计 (lLCAmK5?  
第1章光学薄膜特性的理论计算 "/zDcZbL;  
1.1单色平面电磁波 csms8J  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 giu8EjzK  
1.3光学薄膜特性的理论计算 FS6I?q#tQ  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 j?s+#t  
习题 i&zJwUr(<  
第2章光学薄膜的设计理论 J85Kgd1 \a  
2.1矢量作图法 Vf`9[*j  
2.2有效界面法 fXB64MNo  
2.3对称膜系的等效层 j(`V&S
 
2.4导纳图解技术 I.'sK9\Zp  
习题 V1\x.0Fs  
第3章光学薄膜系统的设计 V>B*_J,z.  
3.1减反射膜 ZO!)G   
3.2分束镜 R\>=}7  
3.3高反射膜 Yc~c(1VRz  
3.4干涉截止滤光片 (#VF>;;L  
3.5带通滤光片 -%g{{'9B  
3.6特殊膜系 ARa9Ia{@  
习题 5JA5:4aev  
参考文献 gTqtTd~L  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 ] KR\<MJK  
第4章薄膜制备技术 rR3(yy0L  
4.1真空淀积工艺 >Wr  
4.2光学薄膜材料 Mf.:y  
4.3薄膜厚度监控艺术 P] 9-+  
4.4膜层厚度的均匀性 jthGNVZ  
习题 Zmr*$,v<y  
参考文献 7s'r3}B`  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 P1}Fn:Xe%7  
5.1薄膜的形成过程 2 NrMse  
5.2薄膜的微观结构 3&vUR(10  
5.3薄膜的成分 D4W^{/S  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 2_#Vw&v  
5.5薄膜微观结构和改善 +]NPxUa  
习题 %.n 7+  
参考文献 sXm,y$\m  
第三篇光学薄膜检测技术 @qWes@  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Z|dng6ck  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 F!qt#Sw!
\  
6.2薄膜反射率的测试 Ex3V[v+D(  
6.3薄膜反射率的测量 kpt0spp  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ~pj/_@S@x  
6.5总结 ,T3_*:0hk!  
习题 $l!+SLK  
参考文献 fxL0"Ry  
第7章薄膜的吸收和散射测量 7SpF&  
7.1激光量热计基本原理 Lv`NS+fX  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 wa}\bNKQk  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 6Y(Vs>  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 cWG?`6xU&  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 7Yrp#u1!  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 3gzcpFNqX  
7.7总结 d)X6x-(  
习题 _N&]w*ce  
参考文献 , ,=7deR  
第8章薄膜光学常数的测量 60u}iiC@  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ;wkoQ8FD9  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 auP6\kpMe  
8.3薄膜波导法 zIjUfgO/M  
8.4光学薄膜厚度的测试 235wl  
8.5总结 ]jL`*tI\S  
习题 I%<,JRAV  
参考文献 'WW['  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 Q~p[jQ,4wZ  
9.1薄膜的力学特性检测技术 |p7k2wzN  
9.2薄膜器件的环境试验 \.7O0Q{  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 E6NrBPm  
9.4总结 R^=)Ucj  
习题 /K./k!'z  
参考文献 q:D!@+U  
附录 )FfJ%oT}  
附录A复数与复数运算 ?m$7)@p  
A.1复数的概念 ^,.G<2Kx&  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 /6%<97/d  
A.3复数在物理中的运用 :U7m@3czU  
附录B矩陈及矩陈运算 + ^9;<>P  
B.1矩陈的定义 }m6j6uAR6)  
B.2矩陈运算 ja2PmPv  
附录C光的电磁理论基础 ^Q\O8f[u  
C.1振动与波 iVKX *kqc  
C.2电磁波 !MiH^wP  
C.3麦克斯韦方程 K&WNtk3hT  
C.4平面电磁波 J0hY~B~X  
C.5平面电磁波性质 m8|&z{  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 #iot.alNA  
附录D光的干涉 *&vySy
t  
D.1波的叠加原理 +'NiuN  
D.2杨氏干涉 #!%\97ZR  
D.3平板的表面干涉 /{~cUB,Um  
D.4光的空间相干性和时间相干性 \5wC&|WEB  
附录E光的偏振 ;-koMD!2F  
E.1自然光和偏振光 !%x=o&  
E.2偏振光与Jones矩陈 cO#e AQf7  
E.3偏振光的获得 ]eJjffx  
E.4偏振光的检验 J6H3X;vxQw  
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