现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 jQw`*Y/,  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 071E%
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 EzeDShN=J  

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第一篇光学多层膜设计 bl+@}+A  
第1章光学薄膜特性的理论计算 $ M[}(m  
1.1单色平面电磁波 u"
NIG  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 CzDR%vx  
1.3光学薄膜特性的理论计算 SBYMDKZ  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 N4JqW  
习题 aZ`_W|  
第2章光学薄膜的设计理论 \p=W4W/  
2.1矢量作图法 }G:uzud10  
2.2有效界面法 "gl:4|i'  
2.3对称膜系的等效层 }i/2XmA )  
2.4导纳图解技术 [?K\%]  
习题 \Z7([Gh  
第3章光学薄膜系统的设计 u^4"96aXJ  
3.1减反射膜 Y|qixpP
 
3.2分束镜 M b /X@51  
3.3高反射膜 h1UlLy8  
3.4干涉截止滤光片 c#4L*$ViF  
3.5带通滤光片 &l!{!f4  
3.6特殊膜系 CFS3);'<|  
习题 O%q;,w{prW  
参考文献 {dr&46$p  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 Lw+1|  
第4章薄膜制备技术 ,mBKy
a)  
4.1真空淀积工艺 i2%m}S;D9  
4.2光学薄膜材料 +hvIJv ?  
4.3薄膜厚度监控艺术 {J6sM$aj  
4.4膜层厚度的均匀性 #SLxNAH  
习题 =QKgsgLh  
参考文献 MnrGD>M@|  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 1b]PCNz  
5.1薄膜的形成过程 GO GXM4I  
5.2薄膜的微观结构 cTIwA:)D  
5.3薄膜的成分 A(@gv8e[H^  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 oJ;O>J@c  
5.5薄膜微观结构和改善 kI[O{<kQ  
习题 P@S;>t{TD  
参考文献 cPBy(5^  
第三篇光学薄膜检测技术 `J7L
ecgo  
第6章薄膜透射率和反射率测量 LXfeXWw?,  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 +}L3T"  
6.2薄膜反射率的测试 _Ag/gu2-?  
6.3薄膜反射率的测量 -$MC  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 Y" +1,?yH  
6.5总结 W<hdb!bE  
习题 8JOht(
m  
参考文献 zhm!sMlO  
第7章薄膜的吸收和散射测量 6UAxl3-\  
7.1激光量热计基本原理 j6d"8oH _  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 D>#v 6XI  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 !m:PBl5  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 2WECQl=r  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 f]6`GsE  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ]!
J3?G  
7.7总结 ci NTYow  
习题 J]^gF|  
参考文献 Nb9V/2c;V  
第8章薄膜光学常数的测量 > FcA,  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 7LZb*+>  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 PdN\0B`  
8.3薄膜波导法 64?$TT  
8.4光学薄膜厚度的测试 Ac(irPrD  
8.5总结 1eyyu!
  
习题 <UHWy&+z&  
参考文献 p1gX4t]%}a  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ]4Yb$e`  
9.1薄膜的力学特性检测技术 l \n:"*To  
9.2薄膜器件的环境试验 JOne&{h]J"  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 .O-DVW Cm  
9.4总结 /ZN5WK  
习题 j#>![km Mu  
参考文献 U)=Z&($T  
附录 | xI_aYv*  
附录A复数与复数运算 :yFCp@&  
A.1复数的概念 5%aKlx9^#  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ;Kb[UZ1  
A.3复数在物理中的运用 k<";t  
附录B矩陈及矩陈运算 2u H\8A+'f  
B.1矩陈的定义 _$_CR\$  
B.2矩陈运算 ~zC fan/  
附录C光的电磁理论基础 M~Dc5\T  
C.1振动与波 5*z
a]   
C.2电磁波 VRP.tD  
C.3麦克斯韦方程 ef;="N  
C.4平面电磁波 >#n-4NZ;p9  
C.5平面电磁波性质 N$\5%  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 5)NfZN#&  
附录D光的干涉 E_uH'E  
D.1波的叠加原理 r_Yl/WW  
D.2杨氏干涉 Z4
zMa&  
D.3平板的表面干涉 >b](v)  
D.4光的空间相干性和时间相干性 X.Y)'qSf  
附录E光的偏振 +~.Jw#HqS  
E.1自然光和偏振光 J` --O(8Ml  
E.2偏振光与Jones矩陈 Ijro;rsEKM  
E.3偏振光的获得 *G|]5  
E.4偏振光的检验 N^`Efpvg  
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