现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 (/j/>9iro  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 1\>^m  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ?9\EN|O^  
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第一篇光学多层膜设计 j=aI9p  
第1章光学薄膜特性的理论计算 'JfdV%M  
1.1单色平面电磁波 D9 |n)f  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 Y M\ K%rk  
1.3光学薄膜特性的理论计算 K&70{r  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ^ ALly2
  
习题 \BZhf?9U  
第2章光学薄膜的设计理论 $#S&QHyEe  
2.1矢量作图法 Sf7\;^  
2.2有效界面法 N@1+O,o  
2.3对称膜系的等效层 _FVcx7l!
u  
2.4导纳图解技术 &6YIn|}  
习题 TQ*1L:X7M&  
第3章光学薄膜系统的设计 k+Czj  
3.1减反射膜 DSk/q-'u  
3.2分束镜 #( jw!d&  
3.3高反射膜 cKim-  
3.4干涉截止滤光片 2h1C9n%j9  
3.5带通滤光片 K]0:?h;%Ld  
3.6特殊膜系 S.m{eur!,E  
习题 ^,8)iV0j_  
参考文献 *q".-u!D[  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 _:C9{aEZb  
第4章薄膜制备技术 DV-;4AxxRq  
4.1真空淀积工艺 lfz2~Si5A  
4.2光学薄膜材料 -[!P!d=  
4.3薄膜厚度监控艺术 7=WT69,&  
4.4膜层厚度的均匀性 gy0haW  
习题 ws|;`  
参考文献 _m'Fr 7  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 WIf0z#JMJm  
5.1薄膜的形成过程 Vle@4]M\  
5.2薄膜的微观结构 $!(pF  
5.3薄膜的成分 J}+6UlD  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 DRgTe&+  
5.5薄膜微观结构和改善 * %M3PTY\  
习题 Nkl_Ho,  
参考文献 ^Z#W_R\l  
第三篇光学薄膜检测技术 U,q\emR  
第6章薄膜透射率和反射率测量 F\k+[`%{  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ;z:UN}  
6.2薄膜反射率的测试 ?zVL;gVWA  
6.3薄膜反射率的测量 wl$h4 {L7  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 b7tOo7aH)  
6.5总结 ?1$fJ3  
习题 ^(h+URFpA  
参考文献 rKf-+6Na  
第7章薄膜的吸收和散射测量 JJ'.((  
7.1激光量热计基本原理 l
0c
A6b  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 [tA;l+Q\&  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 [P7N{l=I  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 9Z'8!$LYg  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ``e$AS  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 mB9r3[  
7.7总结 EC8b=B<DE  
习题 y2vUthRwo  
参考文献 <l9-;2L4  
第8章薄膜光学常数的测量 :WL'cJ9a  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 a|=x5`h04~  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 {0^&SI"5`E  
8.3薄膜波导法 3?P
n6J{O  
8.4光学薄膜厚度的测试 !0C^TCuG  
8.5总结 D{d>5P?W  
习题 $3uKw!z  
参考文献 k]HEhY  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 p4i]7o@  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ez!C?  
9.2薄膜器件的环境试验 5 Ho
^N1q  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 V6#K2  
9.4总结 ]U7KLUY>:  
习题 /3:q#2'v  
参考文献 P*Tx14xe4  
附录 K/=_b<  
附录A复数与复数运算 Z(_ZAB%+D  
A.1复数的概念 `8>Py~  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 d[^~'V  
A.3复数在物理中的运用 Ch%m  
附录B矩陈及矩陈运算 Eb>78k(3I)  
B.1矩陈的定义 'X!?vK^]p  
B.2矩陈运算 ADk8{L{UU  
附录C光的电磁理论基础 r~nsN*t  
C.1振动与波 ku a) K!  
C.2电磁波 TdGnf   
C.3麦克斯韦方程 b2=0}~LK  
C.4平面电磁波 _#}n~}d  
C.5平面电磁波性质 "0k8IVwp  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 a~!G%})'a  
附录D光的干涉 Mz;[+p  
D.1波的叠加原理 Io|Aj  
D.2杨氏干涉 2'<[7
!  
D.3平板的表面干涉 u=/CRjot  
D.4光的空间相干性和时间相干性 _fP&&}  
附录E光的偏振 )){9&5,0:  
E.1自然光和偏振光 U}l14  
E.2偏振光与Jones矩陈 .rJiyED?!  
E.3偏振光的获得 ~ Yngkt  
E.4偏振光的检验 ^F"iP7   
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