《现代
光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜
材料、制备
参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观
结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。
O m2d .7S 光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。
X5$ Iyis 为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。
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}OX{k VjZ|$k 第一篇光学多层膜设计
Q/0Tj]D 第1章光学薄膜特性的理论计算
ENs&RZ; 1.1单色平面电磁波
A$ 0fKko 1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射
g1 "kT h 1.3光学薄膜特性的理论计算
YUy0! `!` 1.4光学多层膜内的电场强度分布
h MD|#A-< 习题
'I6i ,+D/q 第2章光学薄膜的设计理论
s9DYi~/, 2.1矢量作图法
R$[vm6T? 2.2有效界面法
)zdQ1&@ 2.3对称膜系的等效层
Pw"-S?`( 2.4导纳图解技术
_F|Ek ;y% 习题
` 7V]y - 第3章光学薄膜
系统的设计
R8Fv{7]c 3.1减反射膜
],Do6
@M- 3.2分束镜
oQ[f,7u 3.3高反射膜
f?X)k,m 3.4干涉截止滤光片
BuXqd[;K% 3.5带通滤光片
$}<e|3 _ 3.6特殊膜系
_g"<UV*H 习题
P8/0H(, 参考文献
7Kxp=-k 第二篇薄膜制备技术和微结构特性
$Ri; ^pZw[ 第4章薄膜制备技术
pB0 \\wR 4.1真空淀积工艺
}y gD3:vN7 4.2光学薄膜材料
&E5g3lf 4.3薄膜厚度监控艺术
}9}h*RWm 4.4膜层厚度的均匀性
z 1X` o 习题
5 ">Z'+8 参考文献
5M*:}* 第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响
UH"%N)[ 5.1薄膜的形成过程
z9Rp`z&`E 5.2薄膜的微观结构
oE]QF.n# 5.3薄膜的成分
Jij*x> K>y 5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响
V1B5w_^>h' 5.5薄膜微观结构和改善
HY:7? <r 习题
&\*(Q* 2N 参考文献
9V*qQS5 <p 第三篇光学薄膜检测技术
,.FxI l ] 第6章薄膜透射率和反射率测量
3AN/
H 6.1光谱分析测试系统的基本
原理 n,WqyNt* 6.2薄膜反射率的测试
h>m"GpF
x 6.3薄膜反射率的测量
XVZ 6.4利用
激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗
_E.> `Q 6.5总结
T1=fNF 习题
q^<?]8 参考文献
.U] -j \ 第7章薄膜的吸收和散射测量
5VU2[ \ 7.1激光量热计基本原理
~2-1 j 7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收
ln
dx"prW 7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量
>tW#/\x{ 7.4散射光的矢量理论和角分布测量
eP o}y])2 7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法
O3kA;[f ; 7.6薄膜导波传播衰减系数法
]~3V}z,T* 7.7总结
A6(/;+n 习题
%n9aaoD 参考文献
Z/+#pWBI! 第8章薄膜光学常数的测量
$1`2 kM5 8.1从透射、反射
光谱确定薄膜的光学常数
DN:EB @ 8.2其他薄膜的光学常数测试方法
g]0_5?i 8.3薄膜波导法
sd|).;s} 8.4光学薄膜厚度的测试
U z]|N6` 8.5总结
:"/d|i`T 习题
9'bwWBf7 参考文献
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1lxX'* 第9章薄膜非光学特性的检测技术
?$4 PVI} 9.1薄膜的力学特性检测技术
E r?&Y,o 9.2薄膜器件的环境试验
tY4;F\e2|A 9.3薄膜的微结构与化学成分检测
c{w2Gt! 9.4总结
i=2N ;sAl 习题
"=Me M )K 参考文献
|&i<bqLw: 附录
g[4WzDF* 附录A复数与复数运算
:d'8x A.1复数的概念
`VguQl_,gA A.2复数的三角函数及指数表示方法
1bwOm hkS A.3复数在物理中的运用
y sY*k` 5 附录B矩陈及矩陈运算
ey$&;1x#5 B.1矩陈的定义
LZxNAua B.2矩陈运算
7 HYwLG:\~ 附录C光的电磁理论基础
:Zw2'IV C.1振动与波
Pa: |_IXA C.2电磁波
.8JTe 0 C.3麦克斯韦方程
5 \VWC I C.4平面电磁波
$/Uq0U C.5平面电磁波性质
KF:78C C.6电磁波在介质表面的反射和折射
7WzxA=*# 附录D光的干涉
/Lr.e% D.1波的叠加原理
<lJ345Q D.2杨氏干涉
[v!f<zSQK D.3平板的表面干涉
M kXmA`cP D.4光的空间相干性和时间相干性
0?|<I{z2 附录E光的偏振
ysnx3(+| E.1自然光和偏振光
Dk5 1z@ E.2偏振光与Jones矩陈
((%? `y E.3偏振光的获得
,f ?*{Q2 E.4偏振光的检验
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