现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 [<DZ*|+  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 Fa'k0/_j  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 *s9C!wYMZ  
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第一篇光学多层膜设计 ='`/BY(m[  
第1章光学薄膜特性的理论计算 {&jb5-*f  
1.1单色平面电磁波  IiY/(N+J  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 #Q2Y&2`yGT  
1.3光学薄膜特性的理论计算 T:5fc2Ngv  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 VeW>[08  
习题 ?b(=1S\E'^  
第2章光学薄膜的设计理论 anXc|  
2.1矢量作图法 j#
cYS*^H  
2.2有效界面法 xuqv6b.  
2.3对称膜系的等效层 9FB19  
2.4导纳图解技术 6 J{k(H$3  
习题 "?V0$-DR  
第3章光学薄膜系统的设计 D#3\y*-y?  
3.1减反射膜 qWQ/'M  
3.2分束镜 Q_[ 3`jl  
3.3高反射膜 3AU;>D^5  
3.4干涉截止滤光片 7
=;R& mqC  
3.5带通滤光片 V5UF3'3;}  
3.6特殊膜系 _f$^%?^  
习题 <StN%2WQ1  
参考文献 19w*!FGX  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 r"P|dlV-  
第4章薄膜制备技术 gIjh:_ Pz  
4.1真空淀积工艺 u6AA4(  
4.2光学薄膜材料 $<}$DH
_Y  
4.3薄膜厚度监控艺术 OCNQvF~  
4.4膜层厚度的均匀性 ibj87K  
习题 ZrsBm_Rx  
参考文献 JpXlBEio%  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 I}1NB3>^  
5.1薄膜的形成过程 '<"s \,  
5.2薄膜的微观结构 jPUwSIP  
5.3薄膜的成分 &5yVxL:  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 KV(Q;~8"X  
5.5薄膜微观结构和改善 SLa>7`<Q  
习题 y*qVc E  
参考文献 17%Mw@+  
第三篇光学薄膜检测技术 nAv#?1cjz  
第6章薄膜透射率和反射率测量 \W~N  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ?8'*,bK  
6.2薄膜反射率的测试 'uBu6G  
6.3薄膜反射率的测量 h1de[q
)  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 32&;`]C  
6.5总结 ]n6#VTz*  
习题 8Vr%n2M  
参考文献 Y3Yz)T}UkS  
第7章薄膜的吸收和散射测量 _852H$H\  
7.1激光量热计基本原理 .P8&5i)'P,  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 "&Y`+0S8  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ;r<^a6B  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 X $jWo@  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 6^]+[q}3  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 y [}.yyye  
7.7总结 ,o86}6Ag  
习题 eA2@Nkw~)  
参考文献 GS$ifv  
第8章薄膜光学常数的测量 ~%&LTX0s|  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ,E S0NA  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 xi~?>f  
8.3薄膜波导法 wW>A_{Y  
8.4光学薄膜厚度的测试 +^60T$  
8.5总结 !fE`4<|?  
习题 jeoz*Dz  
参考文献 o#3ly-ht  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 "@V Y  
9.1薄膜的力学特性检测技术 h4fJvOk|!  
9.2薄膜器件的环境试验 E(>=rD/+  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 cr7 }^s  
9.4总结 wr$("A(  
习题 M\uiq38  
参考文献 6]K_m(F  
附录 'j#*6x
D  
附录A复数与复数运算 dqU~`b
9  
A.1复数的概念 "g5^_UP  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 }Y12  
A.3复数在物理中的运用 rBQ_iB_  
附录B矩陈及矩陈运算 s}vAS~~2L3  
B.1矩陈的定义 .s?L^Z^  
B.2矩陈运算 &*M!lxDN  
附录C光的电磁理论基础
T<n  
C.1振动与波 u-QB.iQ+s  
C.2电磁波 ,0M_Bk"  
C.3麦克斯韦方程 '$i: 2mn,  
C.4平面电磁波 BtkOnbz8X  
C.5平面电磁波性质 Ua
:}Vn&!  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 KLST\Ln:  
附录D光的干涉 r8`ffH  
D.1波的叠加原理 g];!&R-  
D.2杨氏干涉 Kn5~d(:  
D.3平板的表面干涉 ;AG8C#_  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ~[t[y~Hup  
附录E光的偏振 n1Yp1"2b[  
E.1自然光和偏振光 %z=le7  
E.2偏振光与Jones矩陈 Q*D;U[  
E.3偏振光的获得 rDdoOb]B  
E.4偏振光的检验 {&&z-^  
…… 4>wP7`/+y  
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