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    [求助]镀AR出现的问题,大神们求指点。 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2017-06-20
    图一:同一伞从上到下的反射数据。不知道主要问题在哪里? N:BL=} V  
       谢谢各位!! 6Wf^0ok  
      图二:是与图二同一台机镀的另外一个工艺(除膜厚外,其他条件是一样的)的反射数据。 <8o(CA\  
    UTk r.T+2X  
    )pgrl  
            图一是7层  LHLHLHL       H4\SIO2      (GU9p>2  
    eti `O  
      "S!3m9_#  
          图二是 5层   LHLHL             H4\SIO2   G$JFuz)|  
    e>H:/24  
    -q>^ALf|@>  
    J)x3\[}Ye  
     
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    离线ysc212
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    只看该作者 1楼 发表于: 2017-06-20
    均匀性问题,建议使用修正板 %u!XzdG  
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    只看该作者 2楼 发表于: 2017-06-22
    回 ysc212 的帖子
    ysc212:均匀性问题,建议使用修正板 <Dm Tj$  
     (2017-06-20 09:34)  A 7Y_HIo  
    !,bPe5?Ql  
    恩   但是第二张图只是膜厚层数不同,差异就没有第一个大。是不是第一个膜系里面有些敏感层。谢谢回复。
    离线yzhuang
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    只看该作者 3楼 发表于: 2017-06-27
    个人感觉是膜层敏感度的原因,特别是光控进行镀膜时更容易发生这种现象
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    只看该作者 4楼 发表于: 2017-06-29
    回 yzhuang 的帖子
    yzhuang:个人感觉是膜层敏感度的原因,特别是光控进行镀膜时更容易发生这种现象 (2017-06-27 11:20)  @`2ozi~lO  
    LOt#1Qv  
    我用的晶控,同样的修正版 膜料 镀出来的差异太大了,SIO2  H4是同一个修正板。
    离线fly6947
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    只看该作者 5楼 发表于: 2017-06-29
    /gF]s_  
    我建议你做一下图一的重复性,如果每炉差,但是情况不一样,那么是你的敏感层是H4,要么膜系结构优化一下,(图2是单峰结构,敏感度没那么高)要么控制H4的预熔与充氧量; LVWxd}0  
    ; ?j~8  
    如果每炉都这样,那肯定是均匀性没做好,有条件的话  高低折射率的mask单独修一下; Qvs(Rt3?y  
    +E `063  
    另外,SIO2的分布比一般的氧化物要差一点,可以选好一点的SIO2 YFAnlqC  
    XSls]o s  
    离线johnyu
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    只看该作者 6楼 发表于: 2017-07-03
    這很清楚的。 <"{+  
    s2 wwmtUCN  
    若與圖一使用之MASK為同支, dUUPhk0  
    Q=MCMe  
    圖二看起來均勻性OK,即表示MASK為好的。 >n#g9vK  
    ByC1I.B`  
    至於圖一為什麼會這樣? 我認為是敏感層問題(薄層) =/M$ <+  
    XC 57];-  
    若想重複確認,可以鍍單一材料來看看他的5Q,答案即可得知。
    离线lzh123
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    只看该作者 7楼 发表于: 2017-07-08
    均匀性的问题。。。。。影响均匀性的素较多
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    只看该作者 8楼 发表于: 2017-07-10
    回 fly6947 的帖子
    fly6947:我建议你做一下图一的重复性,如果每炉差,但是情况不一样,那么是你的敏感层是H4,要么膜系结构优化一下,(图2是单峰结构,敏感度没那么高)要么控制H4的预熔与充氧量;
    如果每炉都这样,那肯定是均匀性没做好,有条件的话  高低折射率的mask单独修一下;
    ....... (2017-06-29 08:46)  )dzjz%B)  
    }(f,~?CP]  
    好的   ,谢谢指导。我回头试试。
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    只看该作者 9楼 发表于: 2017-07-10
    回 johnyu 的帖子
    johnyu:這很清楚的。
    若與圖一使用之MASK為同支,
    圖二看起來均勻性OK,即表示MASK為好的。 e]L3=R;  
    ....... (2017-07-03 17:36)   p% YvP  
    2l}Fg D  
    好的   ,谢谢指导。我也觉得单层有薄层敏感度高的。很均匀的差别。
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