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    [求助]在PMMA基底上冷镀膜出现裂膜,膜层不牢固 [复制链接]

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    离线dumoty
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2015-04-21
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    关键词: 镀膜工艺PMMA
    PMMA基底上镀AR膜系,905nm增透。 W\;|mEEu  
    基片经超声波中性洗剂清洗后,放在恒温箱中75℃,退火2h;在光驰机器中不加热,开离子源,真空抽至2E-3开始镀(Ta2O5/石英环)。 a'dlA da  
    出锅后,基片上的膜层就出现明显裂痕。 '\xE56v)F  
    基片翻面放进机器,降低镀石英环的离子轰击能量,并在出锅后,直接放入恒温箱中75℃退火2h。结果是基片没有裂痕,但膜层一擦就掉。 $gD8[NAIx=  
    请教下各位,应该怎样有效的降低PMMA的内应力,工艺上有哪些不当的地方希望可以不吝言辞予以指正,谢谢!
     
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    离线mang2004
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    只看该作者 1楼 发表于: 2015-04-22
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    供参考:觉得基底要加热,~50C.
    离线coa520
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    只看该作者 2楼 发表于: 2015-04-28
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    这个没什么复杂的 3Ke6lV)uq  
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    只看该作者 3楼 发表于: 2015-04-29
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    做个记号~
    离线ajijipi
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    只看该作者 4楼 发表于: 2015-04-29
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    学习一下
    离线dumoty
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    只看该作者 5楼 发表于: 2015-05-01
    回 coa520 的帖子
    coa520:这个没什么复杂的 :C} I6v=  
     (2015-04-28 11:34)  ))|d~m  
    /f1]U LmC:  
    求指教
    离线即兴以来
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    只看该作者 6楼 发表于: 2015-07-23
    我最近也在做这个,求大神指教
    离线luozhenbob
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    只看该作者 7楼 发表于: 2015-07-24
    求教,学习
    离线luozhenbob
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    只看该作者 8楼 发表于: 2015-07-24
    楼主,最终是什么问题,解决了吗?
    离线即兴以来
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    只看该作者 9楼 发表于: 2015-08-02
    目前还没解决  求大神指点 ^yPZ$Q  
    谢谢! IADHe\.  
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