[求助]在PMMA基底上冷镀膜出现裂膜，膜层不牢固 [复制链接]

在PMMA基底上镀AR膜系，905nm增透。 |/$954Hr#<  
基片经超声波中性洗剂清洗后，放在恒温箱中75℃，退火2h；在光驰机器中不加热，开离子源，真空抽至2E-3开始镀（Ta2O5/石英环）。 [
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出锅后，基片上的膜层就出现明显裂痕。 ]m7x&N2  
基片翻面放进机器，降低镀石英环的离子轰击能量，并在出锅后，直接放入恒温箱中75℃退火2h。结果是基片没有裂痕，但膜层一擦就掉。 ie>mOsz  
请教下各位，应该怎样有效的降低PMMA的内应力，工艺上有哪些不当的地方希望可以不吝言辞予以指正，谢谢！

knight627:第一层加50-100A  SIO打底,或者直接换膜料,都可以解决膜裂问题 (2018-10-12 14:34)  ;XlCd[J<  

qK~]au:C  
SIO 这个试过几次  镀10nm，效果没有改善。  可能是SIO 这个料不太好用， 光斑用的60 60，电流100mA   没有融料痕迹。   这个料需求预融吗？具体怎么使用  ？多谢赐教！

正在做冷度ar，离子源辅助（O2），镀sio2的时候不开离子源比开离子源膜强度要高，但依旧达不到要求，膜层易脱落，用指甲就螚把膜层刮下来，暂未解决

楼主做事有始有终，必须赞一个。

问题已解决，方案在25楼

提高一下，加工工艺条件。

在你现有的工艺基础上，打底一层薄的SIO

小小牛—光电:才看到楼主的帖子，（虽然楼主这个帖子时间很久了） R^INl@(O  
楼主，我最近接触这个材料的镀膜，也是PMMA（700nm增透），镀膜的话容易膜裂（主要是高温会导致膜裂>80C°） ROO@EQ#`Z  
是不是可以降低恒温箱的退火温度来试试 (2018-10-11 15:58)  #W4 "^#2  

u$D%Iz  
第一层加50-100A  SIO打底,或者直接换膜料,都可以解决膜裂问题

才看到楼主的帖子，（虽然楼主这个帖子时间很久了） gOm8 O,  
楼主，我最近接触这个材料的镀膜，也是PMMA（700nm增透），镀膜的话容易膜裂（主要是高温会导致膜裂>80C°） 3KtJT&RuL  
是不是可以降低恒温箱的退火温度来试试

工艺很重要