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    [求助]在PMMA基底上冷镀膜出现裂膜,膜层不牢固 [复制链接]

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    只看该作者 30楼 发表于: 2018-09-06
    怎么解决呢?
    离线zqfid536
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    只看该作者 31楼 发表于: 2018-09-16
    工艺很重要
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    只看该作者 32楼 发表于: 2018-10-11
    才看到楼主的帖子,(虽然楼主这个帖子时间很久了) 7SJbrOL4Q-  
    楼主,我最近接触这个材料的镀膜,也是PMMA(700nm增透),镀膜的话容易膜裂(主要是高温会导致膜裂>80C°) \&MJ(F>vJ  
    是不是可以降低恒温箱的退火温度来试试
    离线knight627
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    只看该作者 33楼 发表于: 2018-10-12
    回 小小牛—光电 的帖子
    小小牛—光电:才看到楼主的帖子,(虽然楼主这个帖子时间很久了) `$MO;Fv,G  
    楼主,我最近接触这个材料的镀膜,也是PMMA(700nm增透),镀膜的话容易膜裂(主要是高温会导致膜裂>80C°) ?_d3|]N  
    是不是可以降低恒温箱的退火温度来试试 (2018-10-11 15:58)  30YH}b#B  
    :Bi 4z(  
    第一层加50-100A  SIO打底,或者直接换膜料,都可以解决膜裂问题
    离线光迹
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    只看该作者 34楼 发表于: 2019-11-26
    在你现有的工艺基础上,打底一层薄的SIO
    离线op1163
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    只看该作者 35楼 发表于: 2019-11-27
    提高一下,加工工艺条件。
    离线dumoty
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    只看该作者 36楼 发表于: 2019-12-05
    问题已解决,方案在25楼
    离线morningtech
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    只看该作者 37楼 发表于: 2019-12-08
    楼主做事有始有终,必须赞一个。
    离线嘤击长空
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    只看该作者 38楼 发表于: 2020-06-20
    正在做冷度ar,离子源辅助(O2),镀sio2的时候不开离子源比开离子源膜强度要高,但依旧达不到要求,膜层易脱落,用指甲就螚把膜层刮下来,暂未解决
    离线sosjinyan
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    只看该作者 39楼 发表于: 2020-06-29
    回 knight627 的帖子
    knight627:第一层加50-100A  SIO打底,或者直接换膜料,都可以解决膜裂问题 (2018-10-12 14:34)  `8TL*.9  
    z5sKV7&\[n  
    SIO 这个试过几次  镀10nm,效果没有改善。  可能是SIO 这个料不太好用, 光斑用的60 60,电流100mA   没有融料痕迹。   这个料需求预融吗?具体怎么使用  ?多谢赐教!