案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1546
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
\Vm{5[:SA  
微光学元件的分析和设计
>8t(qM-~:  
透镜阵列
S]<G|mn,  
dXe763~<  
D Sd 5?  
b2U[W#  
*fSa8CV  
蝇眼聚光镜
N%y%)MI8  
aR}NAL_`w  
DMfC(w.d  
qbqJ1^!6R  
YyK9UZjI  
衍射扩散器
d`({z]W;  
=\CbX  
&_q;X;}  
+=\S"e[F  
!RiPr(m@y  
单元阵列    光栅单元阵列
(ter+rTv  
:w:5;cm V  
Qksw+ZjY#{  
<@F4{*  
G|3OB:  
            棱镜单元阵列
[C771~BL>  
Bfi9%:eG  
FuEHO6nx  
s15f <sp  
-7=pb#y  
            反射镜单元阵列
f8[2$i*cL  
07/5RFmJ  
#Sn&Wo  
dN\pe@#lKP  
 9FWn  
DOE产生的光分布
<408lm  
高帽
7yQ r  
@ o;m!CYB  
fK4laDB TO  
I]I5!\\&[  
6|_ S|N  
平顶
)h+JX8K)l  
@M,KA {e  
) }?dYk  
fC~WuG 3  
/Zm@.%.  
焦线
~x4Y57  
*qz]vUb/0  
ry7(V:ic  
<<UlFE9"  
?I7H ):  
二元二维强度分布
v'_tna6`O  
i"_f46r P  
q!O~*   
J4S2vBe16  
oiFtPki  
任意二维强度分布
\>YXPMIk  
Q{$2D&  
m$@CwQj  
hp>me*vzr  
8Oc*<^{#  
点阵
F." L{g  
F6q}(+9i  
%mI`mpf  
.(`u'G=  
!r[uwJ=  
点线
9cj=CuE  
8eLNKgc  
sZB$+~.:}  
34P? nW(  
VF[]E0=u6  
整形和匀滑
x&;{4F Nw  
单色LED
bgEUG  
,l@hhaLm?  
W cqYpPv  
-2Ub'*qK  
Ex<-<tY  
白光LED
qbT].,?!U  
"` 9W"A=  
/8GVu7  
_N*4 3O`  
bfrBHW#  
准分子激光
2QBq  
yWX:`*GV  
E%40u.0  
+  1v@L  
/yH:ur  
常见光束整形推荐使用的工具箱
o#6j+fo!n  
推荐的工具箱
IS8ppu&E  
ea B-u  
f+F /`P%  
R%5\1!Fl=G  
Bj\0RmVa1  
优化
Va !HcG1^:  
局部和全局参数优化
vU~#6sl  
;=_KLG <  
3RGVH,  
?)JW}3<.  
KDCq::P<  
使用参数运行的全局优化
dIK!xOStA  
H!s &]b  
H!vvdp?Z  
B8C"i%8V)  
#V~r@,  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
9i9VDk{  
C' ny 2>uA  
:~`E @`/  
.|_+>){$w  
9C`Fd S   
单元阵列设计算法
.YLg^JfZ  
0HF",:yl  
p+yU!Qj  
7@C :4c@0  
8)M . W  
公差仿真
+:oHI[1HG  
高度公差
Z7Mc.[C  
s8 3_Bd  
r@iGM Jx$  
l-M~e]  
.F> c Z,  
掩膜蚀刻深度公差
6g7 X1C  
pn'*w 1i  
y 37n~~%  
nCYicB  
Mi:$<fEX  
边缘圆滑模拟
8l)^#"ySA  
8[xb+_  
+tlTHK  
f{ENSUtCrR  
22(0Jb\_  
对准误差
[x,_0-_  
7GE.>h5  
N}zQ)]xz+r  
Xc`'i@FX  
v{&cgod  
波长误差
5C2 *f 4|  
$t[`}I }  
E!jM&\Zj  
6 {5*9!v63  
UB(Q &U_  
远场和近场分布的变化
[4sbOl5yZ  
kG\+f>XQ  
O@?? NF6G  
IO|">a6  
n T\ W|  
由参数运行产生的实验系列
D4;V8(w=#  
[u/g =^+u  
&LHQ) ?  
8?P@<Do%  
HWD  
加工数据的导出
#OH# &{H  
GDSII文件
-F@Rpfrj_#  
c7P"1  
=f=MtH?0y  
nv@$'uQRp  
JdFMSmZ@  
CIF文件
f; >DM  
n%W~+  
?$ o9/9w  
r|6S&Ia>  
@dD70T  
位图文件
rp.JYz,  
FZb\VUmnV  
WE68a!6  
CzST~*lH  
RcMW%q$dG  
ASCII/.csv文件
B,, f$h!  
bU(t5 [  
<~vamim#K  
S1*n4w.H  
jsfyNl? 6  
Point-Cloud文件
X=mzo\Aos  
x gnt)&7T  
Xn9TQ"[4  
uFL~^vz  
*A;~~ SQ  
STL文件
`A$yF38!  
kbBX\*{yh  
,/ly|Dv  
ko $bCG%  
a~DR$^m  
蚀刻掩膜的计算
cAV9.VS<L  
9Clddjf?c  
8yA :C  
v-2.OS<o  
h 5t,5e}  
自定义
P%g[!9 '  
可编程元件
(,[m}Qb?!  
^SVdaQ{7  
WDW b 7  
?_(0cVi  
z?Hvh  
可编程探测器
N9Y,%lQ|B8  
"!9~77  
`oXUVr  
K q: +{'  
0^?(;AK  
可编程光源
:|EM1-lwf  
4\Mh2z5  
oslV@v F  
u B~/W  
blk ~r0.2  
MATLAB可编程界面
,A h QA  
f XS4&XU  
:S{[^ -"  
B=JeZMn  
@ {j'Pf'  
C#可编程界面
i:ZpAo+Z{  
xoA\^AA  
yOxJx7uD  
m%X~EwFc.  
F'|D  
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