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摘要 #O!gjZ, MGH2z: 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 xo#K_"E P9q ZjBS 5-POYug vAfYONU 设计任务 *V{Y.`\ zG\:#,9
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w 光栅结构参数优化 p/KG{-f, 3V3 q
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