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摘要 BQfq]ti s35`{PR 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 ,_(AiQK yhpeP <yHa[c`L "bC1dl< 设计任务 -]K9sy)I n$oHr
J*} warf& Ghb Jty` 仅位相透射设计(IFTA) awic9uMH Ob#d;F
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tr t^o rV0X*[]J> 超表面晶胞分析 5v`[c+@F e(~9JP9
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FndB5% };Oyv7D+b VirtualLab Fusion的工作流程 9-3, DxZ} 分析超表面晶胞 =G,wR'M - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] R ~ZcTY[8 构造超光栅 9>6DA^ 分析光栅衍射效率 u$38"&cmA - 光栅级次分析 [用例] BH"OphE 光栅结构参数优化 x=M%QFe ?bH&F
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