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摘要 TC"<g Pz^544\~ou 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 .V*^|UXbHi x"gVq
~ g&.=2uP 0IpmRH/ 设计任务 +|rj4j)L&' |hQ;l|SWg
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3oqHGA:} M(fTKs 超表面晶胞分析 ~5g ~;f[4 %3rP`A
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2?5>o!C E3i4=!Y VirtualLab Fusion技术 eJSxn1GW P%6~&woF FtZ?C@1/
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