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摘要 6@"Vqm|HD Zij"/gx\ 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 gbY LA a R^jlEt\&P mDb-=[W5 x1|Da$2 设计任务 ShC_hi 7MKD_`g
[ Z#+gh 9T8|y]0F 仅位相透射设计(IFTA) NzjMk4t 5Waw?1GL
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]O6KKz 2~vo+ng 超表面晶胞分析 hmc\|IF` K5P Gi#
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PoJmW^:} `+oV/:Q3 VirtualLab Fusion的工作流程 JRD8Lz]Q3 分析超表面晶胞 z9^c]U U)E - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] ' Q\ @19 构造超光栅 pfR"s:# 分析光栅衍射效率 _Q>
"\_, - 光栅级次分析 [用例] FX7M4t#< 光栅结构参数优化 ]y.Rg{iv HC?0Lj
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