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摘要 \l# H#~ o/vD]Fs 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 pe). (y\.uPu! .)1u0 (? t: ,lz8Y~ 设计任务 y1Wb/ d V' i@N
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C}:_&^DQ ? 8S~R VirtualLab Fusion技术 1t#|MH
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