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{q8V 内容简介 '1r:z, o| Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 UmQ 9_H 7 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ^O[qCX 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 wTIOCj ;Cyt2]F 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 S]{K^Q), 目录 eVbHPu4 Preface 1 oOe5IczS( 内容简介 2 AytHnp\H 目录 i I#S6k%-' 1 引言 1 p#J}@a 2 光学薄膜基础 2 xp>ra2A 2.1 一般规则 2 t91v%L 2.2 正交入射规则 3 "vjz $. 2.3 斜入射规则 6 i)8,u 2.4 精确计算 7 ZZFa<AK4 2.5 相干性 8 ^i#q{@g 2.6 参考文献 10 u&
:-&gva 3 Essential Macleod的快速预览 10 A@du*5>( 4 Essential Macleod的特点 32 k9WihejS 4.1 容量和局限性 33 bv$)^ 4.2 程序在哪里? 33 =}U`q3k 4.3 数据文件 35 i6(y Bn 4.4 设计规则 35 o& $Fc8bH 4.5 材料数据库和资料库 37 OYNs1yB 4.5.1材料损失 38 UG48g} 4.5.1材料数据库和导入材料 39 A'6>"=ziP 4.5.2 材料库 41 ^^)D!I"cA, 4.5.3导出材料数据 43
}r*t
V) 4.6 常用单位 43 OZLU>LU 4.7 插值和外推法 46 @y)-!MHN(8 4.8 材料数据的平滑 50 kUn55 l 4.9 更多光学常数模型 54 -~v;'zOO 4.10 文档的一般编辑规则 55 ;l5F
il,3 4.11 撤销和重做 56 ^B>
4:+^ 4.12 设计文档 57 d5+ (@HSR 4.10.1 公式 58 86@"BNnTh 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 m[Px|A5{ 4.10.3 沉积密度 59 +@AN+!( 4.10.4 平行和楔形介质 60 I6'U[)% 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 tX&Dum $ 4.10.4 性能 61 xAQ=oF
+ 4.10.5 保存设计和性能 64 ezCsbV;. [ 4.10.6 默认设计 64 nXk<DlTws 4.11 图表 64 |zGwt Z 4.11.1 合并曲线图 67 Nx;U]O6A 4.11.2 自适应绘制 68 xhj
A!\DS 4.11.3 动态绘图 68 6#KRI%adw` 4.11.4 3D绘图 69 -GDX#A-J 4.12 导入和导出 73 D*DCMMp=0 4.12.1 剪贴板 73 ;0P2nc:U~ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 4=>/x90y 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 X9#Od9cNaC 4.13 背景 77 W !2(Ph* 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 C8DZ:3E$c 4.15 生成Rugate 84 VLA9&.*@ 4.16 参考文献 91 `8KWZi4
] 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 iAbtv^fn 5.1 Jobs 92 73rr">
9#0 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ul>$vUbyf 5.3 输入材料 94 2r,K/' 5.4 设计数据文件夹 95 kf~ D m}bV 5.5 默认设计 95 =Qp~@k=2 6 细化和合成 97 2W~,,$
G 6.1 优化介绍 97 x'+lNlv 6.2 细化 (Refinement) 98 h~urZXD< 6.3 合成 (Synthesis) 100 QROe+: 6.4 目标和评价函数 101 %f#3;tpC8 6.4.1 目标输入 102 e$4 5 OL 6.4.2 目标 103 "+[:\ 6.4.3 特殊的评价函数 104 .&TJSIx$ 6.5 层锁定和连接 104 KaZ*HPe( 6.6 细化技术 104 `)* 6.6.1 单纯形 105 ~}z{RE($v 6.6.1.1 单纯形参数 106 ^EN_C<V;"d 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 SVpvx`&kT 6.6.2.1 Optimac参数 108 2d >kc2=* 6.6.3 模拟退火算法 109 Aj*0nV9_ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 L/1?PM 6.6.4 共轭梯度 111 h$_Wh( 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 UsNr$MO
{ 6.6.5 拟牛顿法 112 E#URTt:&> 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 "O<JVC{m 6.6.6 针合成 113 J@=1zL 6.6.6.1 针合成参数 114 sT?Qlj'Zd 6.6.7 差分进化 114 ]m{;yOQdsC 6.6.8非局部细化 115 {W62%>v 6.6.8.1非局部细化参数 115 x;#
OM 6.7 我应该使用哪种技术? 116 -ytSS:|%\ 6.7.1 细化 116 ! %S9H2Lv 6.7.2 合成 117 @f{yx\u/ 6.8 参考文献 117 P>z k 7 导纳图及其他工具 118 j/5>zS 7.1 简介 118 WOZf4X`[ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 cYFR.~p 7.2.1 四分之一波长规则 119 Pwt4e- 7.2.2 导纳图 120 f9cS^v_: 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 >r2m1}6g" 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 36s[hg 7.5 斜入射导纳图 141 is}o5\JEL 7.6 对称周期 141 &,4^LFZW 7.7 参考文献 142 IvTtQq 8 典型的镀膜实例 143 $h0] 8.1 单层抗反射薄膜 145 y/K% F,WMf 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Uq 2Uv 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 t48(, 8.4 W-膜层 148 1M7=*w,
8.5 V-膜层 149 ;_R;P;< 8.6 V-膜层高折射基底 150 KFor~A# D 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 iOm~ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 r*C:)z.} 8.9 四层抗反射薄膜 153 8)&H=#E 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 xG
7;Ps4L 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 6A7UW7/ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 #IDDKUE 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 [Qa0uM#SU 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 /7De.O~H 8.15十五层宽带抗反射膜 159 %;(+s7 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 F=kD/GCB 8.17 1/4波长堆栈 162 !!E_WDZ#9 8.18 陷波滤波器 163 f(=yC}si 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 41>Bm*if 8.20 褶皱 165 1!/cd;{B 8.21 消偏振分光器1 169 (k"|k 8.22 消偏振分光器2 171 ELeR5xT 8.23 消偏振立体分光器 172 pMM-LY7%{ 8.24 消偏振截止滤光片 173 WM}:%T- 8.25 立体偏振分束器1 174 $74ZC
M 8.26 立方偏振分束器2 177 ?u` ?_us 8.27 相位延迟器 178 lb2mWsg" 8.28 红外截止器 179 ,GS8Gu 8.29 21层长波带通滤波器 180 \K9XG/XIx 8.30 49层长波带通滤波器 181 oOy@X =cw 8.31 55层短波带通滤波器 182 )p4o4aM 8.32 47 红外截止器 183 Hq8<g$ 8.33 宽带通滤波器 184 R!lNm,i 8.34 诱导透射滤波器 186 Jg/l<4,K, 8.35 诱导透射滤波器2 188 #!u P>/ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 cRsLt/Wr 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 + 1\1Z@\M 8.35 增益平坦滤波器 193 n=MdbY/k( 8.38 啁啾反射镜 1 196 /xJ,nwp7 8.39 啁啾反射镜2 198 1eZ">,F6< 8.40 啁啾反射镜3 199 k{Vc5F 8.41 带保护层的铝膜层 200 .qi$X!0 8.42 增加铝反射率膜 201 C(b"0> 8.43 参考文献 202 Qzw~\KY: 9 多层膜 204 kEf}yTy 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 X ~%I(?OX 9.2 内部透过率 204 m>k
j @^SQ 9.3 内部透射率数据 205 IhwJYPLF 9.4 实例 206 E D*=8s2 9.5 实例2 210 8)Z WR3)+W 9.6 圆锥和带宽计算 212 ,RKBGOz?f 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 \v44 Vmfz 10 光学薄膜的颜色 216 d*,% -Io 10.1 导言 216 g2L 10.2 色彩 216 K20n355uE 10.3 主波长和纯度 220 3hab51J 10.4 色相和纯度 221 gF^l`1f" 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 =xQ7:TB 10.6 色差 226 Q~G+YjM3 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 `* "u"7e 10.8 颜色渲染指数 234 vC E$)z'" 10.9 色差计算 235 eJ+;!0 10.10 参考文献 236 &{9'ylv-B) 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 #HWz.Wb 11.1 短脉冲 238 W:O<9ZbQ_ 11.2 群速度 239 QG?7L_I 11.3 群速度色散 241 DalQ. 11.4 啁啾(chirped) 245 Jy@cMq2 11.5 光学薄膜—相变 245 >/;\{IG
Wn 11.6 群延迟和延迟色散 246 5'@J}7h 11.7 色度色散 246 /|t
vGC.# 11.8 色散补偿 249 >"jV8%!sM 11.9 空间光线偏移 256 au9r)]p- 11.10 参考文献 258 yT`[9u, 12 公差与误差 260 %eT4Q~}5" 12.1 蒙特卡罗模型 260 4A^hP![c#] 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 bxyEn'vNvQ 12.2.1 误差工具 267 j|FGb: 12.2.2 灵敏度工具 271 Iwi>yx8 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ZLyJ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 y$r^UjJEO 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 )&1yt4
x6% 12.3 参考文献 276 nT` NfN 13 Runsheet 与Simulator 277 ;!, ]}2w*X 13.1 原理介绍 277 6?Q&>V26Y 13.2 截止滤光片设计 277 Fe.Y4\xz 14 光学常数提取 289 >C+0LF`U 14.1 介绍 289 yiQke 14.2 电介质薄膜 289 K~<pD:s 14.3 n 和k 的提取工具 295 Qc;`nck 14.4 基底的参数提取 302 _DMj)enH" 14.5 金属的参数提取 306 P{)H7B> 14.6 不正确的模型 306 SW(7!` 14.7 参考文献 311 7IBm(# 15 反演工程 313 ,r{*o6 15.1 随机性和系统性 313 r=n|MT^O 15.2 常见的系统性问题 314 %2^C 15.3 单层膜 314 K_{x
y#H 15.4 多层膜 314 Fly@"W4a 15.5 含义 319 0(Y$xg 15.6 反演工程实例 319 &YO5N4X~o 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 HQ7-,!XO 15.6.2 反演工程提取折射率 327 j$T2ff6 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 MVjc.^ 16.1 光学性质的热致偏移 329 LnZ*,>1Z 16.2 应力工具 335 -Hh$3Uv 16.3 均匀性误差 339 W0tBF&E" 16.3.1 圆锥工具 339 MFX&+c 16.3.2 波前问题 341 }zRYT_: 16.4 参考文献 343 aBr%"&Z.MG 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 JnhHV(H 17.1 引言 345 q\O'r[&V 17.2 操作数 345 {5.,gb @6 18 如何在Function中编写脚本 351 j_&/^-;e 18.1 简介 351 cmt3ceCb 18.2 什么是脚本? 351 9V?MJZ@aG 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 c1wgb8 18.4 基础 352 L}nj#z4g 18.4.1 Classes(类别) 352 2c5>0f 18.4.2 对象 352 4I"QT(; 18.4.3 信息(Messages) 352 cy)L%`(7 18.4.4 属性 352
&
?/h5< 18.4.5 方法 353 gwThhwR 18.4.6 变量声明 353 }tft@,dIC 18.5 创建对象 354 2-o,4EfHVO 18.5.1 创建对象函数 355 P{(m: `N 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 aZ=WK4 18.5.3 丢弃对象 356 3=t}py7M 18.5.4 总结 356 uWx/V+w 18.6 脚本中的表格 357 m4E 6L 18.6.1 方法1 357 $msT,$NJ 18.6.2 方法2 357 PfnhE>[>cf 18.7 2D Plots in Scripts 358 Vt
n$*ML 18.8 3D Plots in Scripts 359 $Y$!nPO 18.9 注释 360 zY[6Ia{L 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 4E4o=Z|K 18.11 一个更高级的脚本 362 jV:U% 18.12 <esc>键 364 GPP~*+n 18.13 包含文件 365 X-Xf6&U |