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2Fg t)`{! 内容简介 zI_GdQNfN Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Cfo 8gX* 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 dqA[|bV 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
F'FZ?*a _G #"B{7 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ^z}lGu 目录 NjN?RB/5 Preface 1 8`2<g0V2 内容简介 2 Y{vwOs 目录 i AAq=,=:R< 1 引言 1 ;c
Co+( 2 光学薄膜基础 2 DnsP7k.8T 2.1 一般规则 2 8KwCwv 2.2 正交入射规则 3 "C.7;Rvkp> 2.3 斜入射规则 6 UXPegK! 2.4 精确计算 7 [[]SkLZHg 2.5 相干性 8 !{tiTA 2.6 参考文献 10 ?4[Oh/]R 3 Essential Macleod的快速预览 10 _T|H69 J 4 Essential Macleod的特点 32 4bev*[k 4.1 容量和局限性 33 i4zV( 4.2 程序在哪里? 33 %=9yzIjbAt 4.3 数据文件 35 xX/s1(P 4.4 设计规则 35 :q64K?X 4.5 材料数据库和资料库 37 7k=F6k0) 4.5.1材料损失 38 /CI%XocB 4.5.1材料数据库和导入材料 39 30 [#%_* o 4.5.2 材料库 41 N&^xq_ 9& 4.5.3导出材料数据 43 $dh4T"; 4.6 常用单位 43 &49$hF
g6" 4.7 插值和外推法 46 ? x"HX|n 4.8 材料数据的平滑 50
[AZaT 4.9 更多光学常数模型 54 u}}9j&^Xa 4.10 文档的一般编辑规则 55 guOSO@ 4.11 撤销和重做 56 (y~laW! 4.12 设计文档 57 =v4r M0m, 4.10.1 公式 58 .blft,' 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ]osx. 4.10.3 沉积密度 59 o4%Vt} K 4.10.4 平行和楔形介质 60 Fu4EEi 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 hkwa ""- 4.10.4 性能 61 Yi&-m} 4.10.5 保存设计和性能 64 juMxl 4.10.6 默认设计 64 QGr\I/Y 4.11 图表 64 w;c#drY7S 4.11.1 合并曲线图 67 l{6` k<J( 4.11.2 自适应绘制 68 }B=qH7u.K 4.11.3 动态绘图 68 /MKNv'5&!% 4.11.4 3D绘图 69 $xA J9_2P 4.12 导入和导出 73 |O(-CDQe 4.12.1 剪贴板 73 O}MZ-/z=o~ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 @q+cmJKv 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 kOAY@a 4.13 背景 77 d]CviQUq 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 z$c&=Q 4.15 生成Rugate 84 cZe'!CQS 4.16 参考文献 91 n{64g+ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 au~] 5.1 Jobs 92 9^PRX 5.2 创建一个新Job(工作) 93 B:?#l=FL 5.3 输入材料 94 ]l=O%Ev 5.4 设计数据文件夹 95 AhvvuN$n% 5.5 默认设计 95 z1f^p7$M? 6 细化和合成 97 fW.GNX8 6.1 优化介绍 97 `10X5V@hP 6.2 细化 (Refinement) 98 &[5n0e[ 6.3 合成 (Synthesis) 100 ]yAEjn9cN 6.4 目标和评价函数 101 >*`>0Q4y 6.4.1 目标输入 102 $5lW)q A 6.4.2 目标 103 ZcMj=#i 6.4.3 特殊的评价函数 104 jby~AJf% 6.5 层锁定和连接 104 S5~`T7Ra 6.6 细化技术 104 L\b]k,Ksf 6.6.1 单纯形 105 X`yNR; > 6.6.1.1 单纯形参数 106 3(!/["@7 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 b JfD\ 6.6.2.1 Optimac参数 108 bQwdgc),s{ 6.6.3 模拟退火算法 109 -F"d0a, 6.6.3.1 模拟退火参数 109 R}DX(T,K 6.6.4 共轭梯度 111 YH[XRUa 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 H>? :U] 6.6.5 拟牛顿法 112 g7xbyBo7 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 +_qh)HX 6.6.6 针合成 113 T8$%9&j!UE 6.6.6.1 针合成参数 114 oGm1d{_-O 6.6.7 差分进化 114 m|]j'g?{}( 6.6.8非局部细化 115 K??1,I 6.6.8.1非局部细化参数 115 ,b<9?PM
6.7 我应该使用哪种技术? 116 h/I@_?k+ 6.7.1 细化 116 Abj97S 6.7.2 合成 117 f49"pTw7 6.8 参考文献 117 .OmQ' 7 导纳图及其他工具 118 NW{y%Z 7.1 简介 118 Z)mX,=p 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 P*pbwV#| 7.2.1 四分之一波长规则 119 m@ i2# 7.2.2 导纳图 120 M^z=1YrMd 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 =op`fn% 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 u4:\UC' 7.5 斜入射导纳图 141 Bv^+d\*1 7.6 对称周期 141 p?Ed-
S 7.7 参考文献 142 `#ul,% 8 典型的镀膜实例 143 ispkj' 8.1 单层抗反射薄膜 145 pT4qPta,2 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 sNm,Fmuz: 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 CN7k?JO< 8.4 W-膜层 148 bH*@,EE 8.5 V-膜层 149 XVw-G
}5 8.6 V-膜层高折射基底 150 ^8:VWJM 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 %=V" CJ$| 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 \V= &&(n# 8.9 四层抗反射薄膜 153 ?VB#GJ0M9 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Oe/6.h? 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 I*Vt,JYx 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ;a|`s 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 *p=fi 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 SD?BM-&~ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 wW-A b 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ]/Vh{d|I& 8.17 1/4波长堆栈 162 [|4}~UV
8.18 陷波滤波器 163 }sv!=^}BY3 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 OU!nN>ln 8.20 褶皱 165 8O6_iGTBh 8.21 消偏振分光器1 169 {O)YwT$` 8.22 消偏振分光器2 171 \yNQQ$B 8.23 消偏振立体分光器 172 u?F (1iN= 8.24 消偏振截止滤光片 173 ^|#>zCt^ 8.25 立体偏振分束器1 174 .(|+oHg< 8.26 立方偏振分束器2 177 +0J@y1 8.27 相位延迟器 178 ,yICNtP 8.28 红外截止器 179 :G -1YA 8.29 21层长波带通滤波器 180 D9.`hs0 8.30 49层长波带通滤波器 181 v
dU%R\ 8.31 55层短波带通滤波器 182 |zq4* 5 8.32 47 红外截止器 183 *(G&B\ 8.33 宽带通滤波器 184 )\wuesAO 8.34 诱导透射滤波器 186 ;hwzYXWF 8.35 诱导透射滤波器2 188 bni)Qw 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 <FUon 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 iU5P$7.p 8.35 增益平坦滤波器 193 }taLk@T 8.38 啁啾反射镜 1 196 ocF>LR%P 8.39 啁啾反射镜2 198 IU|kNBo 8.40 啁啾反射镜3 199 O~ 27/ 8.41 带保护层的铝膜层 200 %:3'4;jh% 8.42 增加铝反射率膜 201 1"?]= j: 8.43 参考文献 202 w$j{Hp6m 9 多层膜 204 x?
N.WABr; 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Lz@$3(2 9.2 内部透过率 204 HY ;9?KJ' 9.3 内部透射率数据 205 N5?IpE 9.4 实例 206 2ev*CX6. 9.5 实例2 210 '. (~ 9.6 圆锥和带宽计算 212 T~Ly^|Ihz 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 R,Fgl2 10 光学薄膜的颜色 216 EyY],W1 Y 10.1 导言 216 _A{+H^, 10.2 色彩 216 f#$|t> 10.3 主波长和纯度 220 dv~pddOs 10.4 色相和纯度 221 M+poB+K. 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 mu[Op*) 10.6 色差 226 @TzvT3\q 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 :"QfF@Z{ 10.8 颜色渲染指数 234 E9+ HS 10.9 色差计算 235 byGn,m 10.10 参考文献 236 vvq/ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 XJgh>^R^ 11.1 短脉冲 238 F_=1;,K% 11.2 群速度 239 OQp, 3M{_ 11.3 群速度色散 241 1u~ MXGF 11.4 啁啾(chirped) 245 (}smW_`5 11.5 光学薄膜—相变 245 S2K#[mDG 11.6 群延迟和延迟色散 246 ;+U<bqL6 11.7 色度色散 246 uSN"vpc4D 11.8 色散补偿 249 PLA#!$c7q 11.9 空间光线偏移 256 gKo%(6{n~ 11.10 参考文献 258 c.%.\al8oW 12 公差与误差 260 icgJ;Q 5 12.1 蒙特卡罗模型 260 aD9q^EoEs 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ^m!_2_q 12.2.1 误差工具 267 j6S"UwJjp 12.2.2 灵敏度工具 271 WO X}Sw" 12.2.2.1 独立灵敏度 271 m#e*c[*G 12.2.2.2 灵敏度分布 275 <
Ek/8x 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 W:`#% :C 12.3 参考文献 276 tfYB _N 13 Runsheet 与Simulator 277 ; s|w{.<: 13.1 原理介绍 277 PFrfd_s{>\ 13.2 截止滤光片设计 277 O_;Dk W 14 光学常数提取 289
9QwKakci 14.1 介绍 289 v.&>Ih/L 14.2 电介质薄膜 289 epg#HNP7^Y 14.3 n 和k 的提取工具 295 $f$|6jM 14.4 基底的参数提取 302 W)*p2#l 14.5 金属的参数提取 306 AjkW0FB:1 14.6 不正确的模型 306 Lrd[O v 14.7 参考文献 311 mi,&0xDea 15 反演工程 313 YKZa$@fA? 15.1 随机性和系统性 313 S`!-Cal`n 15.2 常见的系统性问题 314 ,q#0hy%5/ 15.3 单层膜 314 {X~gwoz 15.4 多层膜 314 V}WB*bE 15.5 含义 319 4J0Rvod_ 15.6 反演工程实例 319 :E&g%'1 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 N&,]^>^u 15.6.2 反演工程提取折射率 327 [?k8}B)mHB 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 k@dN$O%p 16.1 光学性质的热致偏移 329 ][&9]omB 16.2 应力工具 335 (R!hj w~ 16.3 均匀性误差 339 IkPN?N 16.3.1 圆锥工具 339 HKDID[d0 16.3.2 波前问题 341
rl08R 16.4 参考文献 343
2]cRXJ7h 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 _S}A=hK' 17.1 引言 345 >&:NFq- 17.2 操作数 345 uXjP`/R| 18 如何在Function中编写脚本 351 "Gb1K9A
im 18.1 简介 351 eHiy,IN 18.2 什么是脚本? 351 `=lc<T^ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 IZ/m4~ 18.4 基础 352 nkfZiyx 18.4.1 Classes(类别) 352 m908jI_So 18.4.2 对象 352 )wvHGecp* 18.4.3 信息(Messages) 352 v\tEVhm 18.4.4 属性 352 "A$!,
PX6 18.4.5 方法 353 LJ)5W 18.4.6 变量声明 353 -G7TEq) 18.5 创建对象 354 vw,rF`LjZ 18.5.1 创建对象函数 355 ;r[@v347 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 BZ!v%4^9 18.5.3 丢弃对象 356 aJ") <_+ 18.5.4 总结 356 6Orum/|h 18.6 脚本中的表格 357 z`UhB%-? 18.6.1 方法1 357 ).^}AFta 18.6.2 方法2 357 G3G#ep~)vC 18.7 2D Plots in Scripts 358 jRSUp
E8 18.8 3D Plots in Scripts 359 ^T"vX 18.9 注释 360 *37uy_EpV 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 l*\y 18.11 一个更高级的脚本 362 ,I1RV 18.12 <esc>键 364 ZOCDA2e(j 18.13 包含文件 365 T&4qw(\G 18.14 脚本被优化调用 366 [Zei0O 18.15 脚本中的对话框 368 .sC?7O= 18.15.1 介绍 368 /+Lfrt 18.15.2 消息框-MsgBox 368 hd),&qoW? 18.15.3 输入框函数 370 +t5U.No 18.15.4 自定义对话框 371 ~cTN~<{dq 18.15.5 对话框编辑器 371 if|+EN% 18.15.6 控制对话框 377 6f')6X'x 18.15.7 更高级的对话框 380 ;r_F[E2z 18.16 Types语句 384 .ZvM ^GJb 18.17 打开文件 385 S4=~`$eP 18.18 Bags 387 -gSUjP 18.13 进一步研究 388 C{gyj}5 19 vStack 389 I!e} )Y 19.1 vStack基本原理 389 sl]_M 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 *%{gYpn 19.3 五棱镜 393 Oo"^%F~% 19.4 光束距离 396 Og,$ sH}` 19.5 误差 399 <Utnz) 19.6 二向分色棱镜 399 LaQ-=;(` 19.7 偏振泄漏 404 _?OW0x4 19.8 波前误差—相位 405 `c<;DhNO 19.9 其它计算参数 405 ]]Cb$$Td 20 报表生成器 406 At-U2a#J{ 20.1 入门 406 IiY/(N+J 20.2 指令(Instructions) 406 #Q2Y&2`yGT 20.3 页面布局指令 406 T:5fc2Ngv 20.4 常见的参数图和三维图 407 1P~X8=9h 20.5 表格中的常见参数 408 su*'d:L 20.6 迭代指令 408 :xtXQza"- 20.7 报表模版 408 6Yx4lWBR? 20.8 开始设计一个报表模版 409 gbH<]? 21 一个新的project 413 c-B
cA 21.1 创建一个新Job 414 $0vb^ 21.2 默认设计 415 {zMU#=EC 21.3 薄膜设计 416 !o:f$6EA~C 21.4 误差的灵敏度计算 420 spt6]"Ni 21.5 显色指数计算 422 &*+'>UEe5 21.6 电场分布 424 8C*c{(4 后记 426 5H*\t 7 _lamn}(x0 对书籍感兴趣可以加微联系
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