案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1482
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
TMj;NSc3  
微光学元件的分析和设计
rYr*D[m]  
透镜阵列
GcdJf/k  
@GFB{ ;=  
, [|aWT%9  
\]u;NbC]  
}LT&BNZj  
蝇眼聚光镜
?F AI@4  
]h,rgO ;  
D:_W;b)  
IQ I8 v  
s;Gd`-S>d  
衍射扩散器
"ntP928  
Jo\P,-\(  
LWF,w7v[L  
f_jhQ..g<g  
*i]?J  
单元阵列    光栅单元阵列
LTTMa-]Yy  
q#W|fkfx+  
X@\W* nq  
 -BSdrP|  
Kp`{-dUf  
            棱镜单元阵列
i3,IEN  
2jFuF71  
?Afe }  
gA!@oiq@  
 oBkhb  
            反射镜单元阵列
by/H:5}7  
 yfZNL?2x  
i41~-?Bc  
cKt=?  
$eYL|?P50h  
DOE产生的光分布
G](4!G&  
高帽
$^ws#}j  
\wK&wRn)  
3f[Yk# "  
t}YcB`q)  
!ZYPz}&N_  
平顶
B.q/}\ ?(  
p{g4`o  
4dX{an]Cz  
/;*_[g5*i  
,CfslhO{j  
焦线
51jgx,-|$  
s?w2^<P  
9n& &`r  
~L)~p%rbi  
bhqSqU}6~  
二元二维强度分布
Lx0nLJ\  
SYCL\b   
V?uT5.B2  
O3} JOv_  
0MWW( ;  
任意二维强度分布
Eomfa:WL  
} oPO`  
+%JBr+1#\  
TN(Vzs%  
DB/~Z  
点阵
$w0TEO!  
e4S@ J/D  
:@((' X(".  
F]ao Ty  
3UZd_?JI[^  
点线
uX_H;,n  
+A| Bc~2!  
mUBy*.  
5h5izA'0'  
aLa<z Essz  
整形和匀滑
)1s5vNVa  
单色LED
e\%,\ uV}  
YuK+ N  
?I}RX~Tgg  
'ygKP6M  
Q{[@n  
白光LED
b] 5weS-<  
h `Lr5)B'  
[o)K1>>7  
lvW T  
1m*)MZ)  
准分子激光
cOVj @z  
1}(22Q;  
mY"7/dw<v  
&<A,\ M  
i2=- su  
常见光束整形推荐使用的工具箱
6{h\CU}"  
推荐的工具箱
& l>nzJ5?  
8y LcTA$T  
^O07GYF  
_Mw3>GNl  
@{Rb]d?&F?  
优化
U=Ps#  
局部和全局参数优化
s<I)THC  
$vs],C"pX  
GA^hev  
msl.{  
N!+=5!  
使用参数运行的全局优化
,P eR}E;c  
w1/QnV  
c4H6I~2Na  
on_h'?2  
nWd!ovd  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
1&w%TRC2x  
E'08'8y  
G6G Bqp6|  
GwX)~.i  
yXNr[ 7  
单元阵列设计算法
p{Lrv%-j  
& NYaKu,}  
GcV/_Y  
=pL$*`]?  
m{IlRf'  
公差仿真
@:N8V[*u  
高度公差
*C_A(n5"V  
wm5&5F4:  
WVP?Ie8  
G5}_NS/  
DyC*nE;  
掩膜蚀刻深度公差
K9N31'  
0D5Z#iW>1  
VVJ0?G (?  
CFpBosoFt^  
iOiF kka  
边缘圆滑模拟
\BHZRytQF  
pDS[ecx  
4C;;V m4~  
GfONm6A  
a 0SZw  
对准误差
W@R7CQE@  
UC`h o%OBF  
+hRy{Ps/  
|8 ` }8vo)  
f^pBXz9&=  
波长误差
fG \" p  
xlv(PVdn  
ZF>:m>  
S{^x]h|?  
|f_'(-v`E  
远场和近场分布的变化
A7L;ims7  
B^2r4 9vC  
Snkb^Kt  
Uu7]`Ul  
y[7M(K  
由参数运行产生的实验系列
h8/tKyr8(  
By1T um+I1  
JD *HG]  
)Xdq+$w.  
%R GZu\p  
加工数据的导出
, Q0Y} )  
GDSII文件
6 IvAs-%W  
8g -u  
OU{c| O  
xP\s^]e  
"](Q2  
CIF文件
U$2Em0HO}  
5( <O?#P  
"L.k m  
C@a I*+@-"  
x-i,v"8  
位图文件
2/3yW.C  
zY/Oh9`=v  
"G%S m")  
cW^LmA  
`)cI^!  
ASCII/.csv文件
+2MF#{ tS  
.u mqyU~  
j \r GU){  
(1x8DVXNN  
:2j`NyLI.  
Point-Cloud文件
6aB]&WO1@  
l2;$qNAo  
^: /c<(DQD  
Rxdj}xy  
)2c]Z|  
STL文件
P4B|l:  
y],op G6  
|mMsU,*gB  
)q{qWobS0  
8(`e\)%l0  
蚀刻掩膜的计算
^?{&v19m  
UG\2wH_  
zWo  
<,$*(dX)(  
qG,h 1  
自定义
=w`Mc\o"  
可编程元件
cq>J]35  
q25p3  
,q%X`F rc  
%3dc_YPS  
r.)n>  
可编程探测器
50 w$PW  
:.=:N%3[  
l!}gWd,H  
H, 3Bf  
bbq`gEV  
可编程光源
MgP|'H3\  
6<@ mB Z  
X8v)yDtw  
+6>2= ,?Z  
p p0356  
MATLAB可编程界面
cAN8'S(s1  
l\0PwD  
.@x.    
2Bi]t%<{  
b)a5LFt|  
C#可编程界面
M#Z^8(  
^jL44? W}l  
T$mT;k  
@[joM*U  
NI"Zocp  
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