案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1354
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
iN {TTy  
微光学元件的分析和设计
/Bwea];^Q  
透镜阵列
]Ns&`Yn{  
p.}[!!m P  
yED^/=\)}  
s]&y\Z  
<|`@K| N  
蝇眼聚光镜
QNtr=  
bT*4Qd4W  
x> q3w# B  
p.\KmEx  
N^ET qg  
衍射扩散器
7S7!  
&T|-K\*  
pnG8c<  
-$kJERvy  
=Ffq =<  
单元阵列    光栅单元阵列
0*"j:V  
0l6djN  
cU6#^PFu  
[uY 2N h  
W|Tew-H{h_  
            棱镜单元阵列
v}Nx*%  
JS:lysu  
H'`(|$:|  
H.mG0x`M"E  
A-u5  
            反射镜单元阵列
0X-2).n u  
)/AvWDKvO  
U;xWW9  
Tz-cN  
}:8>>lQ  
DOE产生的光分布
dtBV0$  
高帽
:Ir:OD# o  
c>!J@[,  
oQXkMKZ  
S3w?Zk3hO  
htRZ}e  
平顶
;$E[u)l  
Ju[`Qw`I  
7x]nY.\  
"3MUrIsB>  
7jbm w<d)9  
焦线
-YyH"f   
z{jAt6@7  
~ 7Nyi dV;  
R"o,m  
g DG m32  
二元二维强度分布
TjK5UML  
_fCHj$I*]  
.rm7Sd4K  
PZR%8 m}]u  
K@~#Gdnl  
任意二维强度分布
EM/+1 _u  
E|;5Z*  
Y]K]]Ehp  
Av>j+O ;  
* _l o;  
点阵
J-<B*ot+lX  
~&3"Mi&>`  
Ux T[  
AS_+}*WSFQ  
3F}KrG  
点线
7B!Qq/E?g  
l1Q+hz5"*U  
PB67 ?d~  
HHTsHb{7  
o>-v?Ug  
整形和匀滑
z8 ;#H tr  
单色LED
}cej5/*  
^p zxwt  
G1_@! 4  
b N e\{k  
`A _8nW)  
白光LED
<?{}Bo0xG  
xM//]  
7XWBI\SW  
@H%=%ZwpO  
s8d}HI  
准分子激光
H!.D2J   
LA`V qJ  
X5|/s::u  
6Su@a%=j  
<ii1nz  
常见光束整形推荐使用的工具箱
UdW(\%  
推荐的工具箱
* m&: Yje  
:t{vgi D9  
.7gE^  
.!8X]trEg  
3!9 yuf  
优化
UnWGMo?JEi  
局部和全局参数优化
s P4 ,S(+e  
6_5d  
H'GYJ ?U"  
l5Wa'~0qA  
TBKd|D'H  
使用参数运行的全局优化
`$sY^EX  
7 Jx-W|  
#H6g&)Z_  
{ogZT7w}  
%L13Jsw  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
CTkN8{2S  
!ObE{2Enf  
i`KZ,   
+e8>?dkq  
d[]p_oIQq  
单元阵列设计算法
f3TlJ!!U  
H[7cA9FI  
4iv]N 4  
uB <F.!3  
4,U}Am1Q  
公差仿真
ljJz#+H2_  
高度公差
TwuX-b  
~` \9Q  
Rz zFhU#r  
_rMT{q3  
80$0zbw$  
掩膜蚀刻深度公差
\5[D7}  
B8 0odU&  
|#&V:GZp  
Itr7lv'5xx  
t*a*v;iz  
边缘圆滑模拟
7SK 3  
\|~?x#aA  
^'7C0ps+A  
9PKoNd^e  
o3F|#op  
对准误差
fi&uB9hc  
TmYP_5g:  
7V=MRf&xQ  
Xn/ n|[  
=a9etF%B  
波长误差
W{A #]r l  
8Z dUPW\e  
}. xrJ52Tz  
W]O@DS zR  
7!r#(>I6?1  
远场和近场分布的变化
Q=(@K4  
/^'Bgnez  
_hy{F%}  
';b3Mm #  
{Z#e{~m#  
由参数运行产生的实验系列
Vd%v_Ek  
Har~MO?A  
zj>aaY  
;}/U+`=D?  
NfTCp A  
加工数据的导出
X&(<G  
GDSII文件
c~^CKgr~R9  
6 u-$  
`ke3+%uj o  
hIuMHq7h  
2mqK3-c  
CIF文件
^kn ^CI6  
OJP5k/U$  
i<T P:  
7v_i>_m]  
~)q g  
位图文件
D XV@DQ  
:zdEq" )v  
5@`F.F>"  
TN35CaSmq  
IKi{Xh]\  
ASCII/.csv文件
M{?.hq  
yiV G ]s  
u8YB)kG  
/!3ZWXY\  
keLR1qf  
Point-Cloud文件
{O^TurbTFA  
p%q.*trUb9  
:O $@shV  
T><{ze  
v6s\Z\v)Q`  
STL文件
d2rL 8jW  
&<,SV^w ag  
nPcS3!7B#  
. yZm^&  
yu)q4C7ek  
蚀刻掩膜的计算
 ep+  
' .B.V?7  
egm)a   
AL$W+')  
} h[>U  
自定义
v`JF\"}S  
可编程元件
o`bo#A  
y 'OlQ2U  
3VmI0gsm.>  
A\K,_&x1Z  
[oV{83f  
可编程探测器
AZ[75>  
gQ37>  
0n3D~Xzd  
Nl@k*^  
(}Sr08m  
可编程光源
Sw)i1S9  
9)+@0fG)  
;54(+5pqx  
) Qq'Wp3i  
y&"!m }  
MATLAB可编程界面
g\U/&.}DN  
B2 c@kru  
#,L~w  
845 W>B  
{`% hgR  
C#可编程界面
J$Fnm\  
kbxg_UI;  
n@!wp/J,  
Z%}4bJ  
&D]p,  
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