案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1498
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
&}FWpo!  
微光学元件的分析和设计
?r^>Vk}  
透镜阵列
a-9sc6@  
8!7`F.BX  
%6TS_IpJ  
-Vj112 fI  
D^A#C<Gs  
蝇眼聚光镜
] {=qdgJ  
#6nuiSF  
VQn]"G( `  
,ydn]0SS  
! $fF3^8-  
衍射扩散器
!FeNx*31i  
b&.3uls6  
_j|U>s   
Zu/1:8x  
r1.OLn?C  
单元阵列    光栅单元阵列
MG74,D.f  
= '<*mT<  
je=XZ's,i~  
NzbHg p  
+$B#] ,  
            棱镜单元阵列
~uEI}z  
+aRHMH  
laaoIL^  
1f0maN  
> @q4Uez  
            反射镜单元阵列
:bz;_DZP  
}*56 DX  
"mAMfV0  
zCSLV>.F  
{e83 A /{  
DOE产生的光分布
jW]Fx:mQi  
高帽
!6`&0eY  
W";Po)YC  
vPx#TXY=b}  
z=DK(b;$z  
{0Ej *%  
平顶
$ZnVs@:S  
9a{9|p>L  
[ P%'p-Hg_  
Xh`Oin}<  
@ jD#Tn-*  
焦线
OZE.T-{  
=+VI{~.|}  
nLBi} T  
.,gVquqMY  
'o-J)+oa  
二元二维强度分布
Hu$JCB-%  
qX*Xo[Xp  
'z">4{5  
5S&^mj-9  
 Rlx  
任意二维强度分布
\-I)dMm[  
'd9cCQ}  
(.~'\@  
&%@>S.  
Q&?B^[N*Q  
点阵
Kg#s<#h  
#L xfE<^  
q4ej7T8  
:*)b<:4  
wI2fCq(a0  
点线
jQ5FvuNOy  
WvWZzlw  
8rSu,&<  
Fo&ecWhw  
<& =3g/Y  
整形和匀滑
&Ef6'  
单色LED
P%Wl`NA P  
hV"2L4/E  
zjwo"6c>  
X$ 76#x  
=lS@nRH  
白光LED
t: qPW<wc  
I}1<epd ,  
60%EmX ;  
a1A3uP  
0p!N'7N  
准分子激光
<^B!.zQ  
JL&ni]m  
dF0:'y  
jX 6+~  
&}vc^io  
常见光束整形推荐使用的工具箱
3Tr}t.mt  
推荐的工具箱
0vdnM8N2  
N;XJMk_ H  
T eBJ  
w}Xy;0c  
vKNxL^x  
优化
_CXXgF[OCA  
局部和全局参数优化
Rj {D#5  
-vBk,;^>  
ru1FJ{n  
-Hu]2J)  
"=XRonQZ  
使用参数运行的全局优化
>`+-Yi$(\  
px.]m-  
|Xa|%f  
h OF>Dj  
)z2hyGX  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
O,!4 W\s  
&1,qC,:!  
3W}xYYs] ^  
T1pMe{  
3 Ho<4_I,  
单元阵列设计算法
X P_ V  
>l|dLyiae  
0i65.4sK  
Bc2PF;n  
RVb}R<yU+  
公差仿真
E>6:59+  
高度公差
t= oTU,<  
B%d2tsDw  
$2\k| @)s  
ce P1mO  
I@9k+JB   
掩膜蚀刻深度公差
'HDbU#vD  
-QUvd1S40  
_fQBXG2  
1]j_4M14aA  
:N([s(}!$2  
边缘圆滑模拟
ZICcZG_y  
0q ^dpM  
<sq@[\l}a  
9K F`9Y  
1p9+c~4l:  
对准误差
|);-{=.OdQ  
SRx `m,535  
/K]<7  
)#l,RJ(  
"|l-NUe  
波长误差
5=--+8[ bV  
+k4 SN  
kf<5`8  
*"D8E^9  
?=h{`Ci^ $  
远场和近场分布的变化
qSWnv`hL  
:h+gSvn:  
I5J9,j  
R_2JP C  
\kGi5G]  
由参数运行产生的实验系列
T=QV =21qn  
cSSrMYX2  
6M`N| %  
CS*wvn;.  
0UB,EI8   
加工数据的导出
C%csQ m  
GDSII文件
VfiMR%i}  
+L8 6 w7  
eY1$s mh t  
^^I3%6UY  
iZ3%'~K<3J  
CIF文件
0#rv.rJ{  
|[VtYV _{  
&&;ol}W  
yw%5W=<  
r%g?.4o*b  
位图文件
oiq7I@Y`x  
< g<Lf[n$  
YpT x1c-  
e:Zc-  
*8uSy/l  
ASCII/.csv文件
<<da TQV  
@]#0jiS  
JxP=[>I  
F-)lRGw  
[9WtoA,kx  
Point-Cloud文件
uLsGb=m%b  
*JX)q  
[UVxtMJ  
nL+*-R!R  
y#AwuC K  
STL文件
@83h/Wcxd  
:4"SJ  
U/2g N H  
IPU'M*|Q  
7 N?x29  
蚀刻掩膜的计算
.(,4a<I?%N  
L)'JkX J  
.[hQ#3)W  
~EIY(^|py  
mAFqA  
自定义
n<p`OKIV3  
可编程元件
x=yU }lsV  
 I)E+  
${#5$U+kI  
EdA_Hf  
BYEqTwhT&  
可编程探测器
AF1";duA  
: z^ p s0  
{}?s0U$5  
z I`'n%n=  
w~EXO;L2  
可编程光源
"aN<3b  
zYdSg<[^  
sB_o HUMH6  
:<=!v5 SK  
mD:d,,~  
MATLAB可编程界面
owTW_V  
rm>;B *;  
p#O#M N*  
J"8bRp=/|  
/d5_-AB(v  
C#可编程界面
hA?j"y0?  
`LnLd;Z  
}$V]00 X  
YWeEvo(,=  
=1lKcA[z  
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