案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1568
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
(W~')A"hC'  
微光学元件的分析和设计
PE IUKlX  
透镜阵列
!5hNG('f  
<QUjhWxDb  
%q~YJ*\  
<@DF0x!  
xb2xl.2x!  
蝇眼聚光镜
fq@r6\TI  
,co~@a@9  
J 8z|ua  
pQGlg[i2/  
yl>V '  
衍射扩散器
o1m+4.-  
R|jt mI?  
[O"9OW'2!B  
Md4hd#z  
00?_10x)  
单元阵列    光栅单元阵列
3KyIBrdi?  
$S_xrrE#  
W:s>?(6?  
>tmv3_<=  
S~~G0GiW  
            棱镜单元阵列
^~3u|u  
4@iMGYR9!s  
4O TuX!  
)Vn(J#s  
D#=$? {w  
            反射镜单元阵列
BwLggo  
7Rba@ cs9  
D%=VhKq  
g[D(]t\#x  
Ix-bJE6+I,  
DOE产生的光分布
m W/6FC  
高帽
JE a~avyJ  
#-]!;sY>  
F9Hxqa#1T  
`b11,lg  
N;YAG#'9~_  
平顶
HX;JO[0  
#~_ZG% u  
{Wi)/B}  
$s2Y,0>I6  
CFLWo1  
焦线
~t>i+{J KE  
n(}W[bZ4  
9JDdOjqo  
#j+0jFu  
-4%{Jb-1  
二元二维强度分布
8h.Dc&V  
!Ojf9 6is  
:t7M'BSm2z  
O`;e^PhN  
wWI1%#__|o  
任意二维强度分布
U_&v|2o#3  
IO@Ti(,  
)K.'sX{B  
~7G@S&<PK(  
 dcd9AW=  
点阵
!_No\O  
"f Ni3 <x]  
@@ 1Sxv_  
1ti9FQ  
N wISf  
点线
kKFhbHUZa  
x%Fy1.  
r(VGdG  
!wU~;sL8C3  
tO@n3"O  
整形和匀滑
fF|m~#y  
单色LED
1MPn{#Ff  
Rxf.@E  
k"L?("~   
2Hp<(  
]\.3<^  
白光LED
 |Ok=aV7  
)HL[_WfY  
O-N@HZC  
Z8vR/  
s?,\aSsU@  
准分子激光
vJ a?5Jr  
m%p;>:"R  
'KU)]v  
:~ ; 48m  
!8Mi+ZV  
常见光束整形推荐使用的工具箱
Rnd.<jz+Y  
推荐的工具箱
c+bOp 05o-  
Lc?q0x^s  
k0e {c  
\G~<O071  
Z{ AF8r  
优化
B=;p wX  
局部和全局参数优化
HC$rC"f  
:rdnb=n  
"?f_U/+D<  
? JliKFD%  
]tnf< 5x  
使用参数运行的全局优化
0+m4 }]6l  
4r- CF#o  
tm#[.  
@@QB,VS;{<  
upc-Qvk  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
d"#& VlKcv  
FhAYk  
a?NoNv)&  
FDQP|,  
tT`{xM  
单元阵列设计算法
*`WD/fG  
j}F;Bfq!  
*vS)aRK  
j3$\+<m]  
a*3h|b<  
公差仿真
zAA3bgaa  
高度公差
#BOLq`9 f  
y=k!>Y|E  
|-zefzD|  
4Mr)~f rc  
YX,xC-37y  
掩膜蚀刻深度公差
8v12<ktR`  
in>.Tax*  
k>W}9^ cK  
Cz)/Bq  
tFrNnbmlQ  
边缘圆滑模拟
KpF/g[m  
5y8ajae:  
^>/] Qi  
p/4}SU  
O@7={)6qc  
对准误差
rpn&.#KS  
>DkRl  
&l;wb.%ijW  
~H\1dCW  
<HMmsw  
波长误差
{Ip)%uR  
34s>hm=0.  
} :9UI  
$geDB~ 2>  
LP:U6 Z  
远场和近场分布的变化
A"pV 7 y  
=CGB}qU l0  
E As1 =  
0?/vcsO  
m>8tA+K)+)  
由参数运行产生的实验系列
S<=|i  
wpS $ -  
0{Bhr12V  
^h~oxZJw  
P d)<Iw^<  
加工数据的导出
LAcK%  
GDSII文件
g'nN#O  
>X0c:p Pu  
Wt $q{g{C  
a,~}G'U  
p({)ZU3  
CIF文件
|\] _u 3  
r>.^4Z@  
fNNik7  
q+)csgN  
S1G=hgF_L  
位图文件
>7j(V`i"y  
C$#X6Q!,  
jSMs<ox  
3E`poE  
y jQpdO  
ASCII/.csv文件
w/Ej>OS  
/'WVRa  
QJKVNOo  
t]PO4GA  
^Z~'>J  
Point-Cloud文件
T*i rCe  
]id5jVY  
}Pf7YuUZZ  
hY^-kdQ>M  
.>bvI1  
STL文件
:"e,& %  
=h/0k y  
+'fdAc:5',  
'@ C\,E  
L.1pO2zPe  
蚀刻掩膜的计算
f[$9k}.  
j_Z"=  
I~: AWS9  
Ow7}&\;^-  
+(9qAB7  
自定义
q9mYhT/Im  
可编程元件
XkJzt  
vJE>H4qPmD  
<+2M,fq+  
8E9W\@\  
is,r:  
可编程探测器
5Zdxn>  
Tl ?]K  
SpG^kI #  
;q6FdS  
I%q&4L7pj  
可编程光源
cr_Q,*  
-A A='s  
MX.=k>  
0o+2]`q)Q  
q>X%MN y  
MATLAB可编程界面
TtaVvaz~>  
V/jEMJNks  
K[( h2&  
.sk$@Q  
zXHCP.Rmg  
C#可编程界面
u4kg#+H  
HBc^[fJ^-  
`1$7. ydQ  
Wi?37EHr  
+R_w- NI  
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