案例：LED和准分子激光的匀滑和整形

发布：piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读：1788
案例：LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
$1$0M  
微光学元件的分析和设计
<+-=j  
微透镜阵列		 hFo29oN  
√		 y/E:6w  
 hVz] wKP  
 m lxtey6H3  
@j!(at4B  
蝇眼聚光镜		 le' Kp V  
√		 80=LT-%#  
 1>uAVPa  
 #mU<]O  
&09&;KJ  
衍射扩散器		 H C=ZcK'W  
√		 0 *;i]owV  
 p+8o'dl8=  
√		 aAbA)'G  
1tq ^W'  
单元阵列    光栅单元阵列		 dk^jv +  
 `KtP ;nG  
√		 Y=4 7se=h"  
 gxhdxSm=2  
√
z#Fel/L`O  
            棱镜单元阵列		 Zf1 uK(6X  
 wAw1K2d  
 RcO"k3J  
 ^.R!sQ  
√
H[nco#  
            反射镜单元阵列		 !uoT8BBAk  
 /@|iI<|  
 /{:XYeX  
 :._Igjj$=  
√
 ?HRS*  
由DOE产生的光分布
ImG8v[Q E  
高帽		 4D2U,Ds  
√		 ;:_AOb31N  
 4BUG\~eI3  
√		 bZ1*:k2  
√
:'B(DzUR  
平顶		 Y<|JhqOXK  
√		 ;py9,Wno  
 0VcHz$ 6  
√		 Yb^e7Eug  
√
#2s}s<Sc;  
焦线		 .Sn{a }XP4  
√		 9DJ&J{2W  
 *1Bq>h:  
√		 {?`7D:]`^  
√
MOK}:^bSu  
二元二维强度分布		 HA8A}d~  
 6i-G{)=l  
 CV\^gTPmx  
√		 &:5*^1oP  
√
vRH^en  
任意二维强度分布		 ,|d9lK`"P  
 ]}PXN1(  
 X5YOxMq  
√		 >zqaV@T  
√
'=vZAV`  
点阵		 {=3A@/vM  
√		 {daX?N|V  
 =TDKU  
√		 ']TWWwj$  
√
{QM rgyQ E  
点线		 e)wi}\:q_  
√		 /M%>M]  
 t*9 gusmG  
√		 9:4S[mz/hD  
√
3s/1\m%  
整形和匀滑
7H)$NG<U$  
单色LED		 . 2$J-<O  
√		 kW)3naUf<  
 O\.^H/  
√		 ppRmC,0f^  
√
LWv<mtuYf  
白光LED		 -$W1wb9z  
√		 ":$4/b6  
 8j;Un]  
 mFF4qbe  
√
>Xk42zvqn  
准分子激光		 ##6\~!P  
√		 T4] 2R  
 qg& /!\  
√		 @w8} ]S  
86OrJdD8  
常见光束整形推荐使用的工具箱
#+1|O;PB#  
推荐的工具箱		 gZ4' w`4r  
√		 ).;{'8Q  
√		 iT :3e%  
√		 8{jXSCP#  
√
uP'L6p5  
优化
&N^~=y^`C'  
局部和全局参数优化		 FuiR\"Ww  
√		 7A\`  
 Zu,:}+niU  
 K khuPBd2  
Mwnr4$]  
使用参数运行的全局优化		 D{N8q^Cs9  
√		 ,!l_  
 =\< 7+nv  
 +r3)\L{U  
@e)}#kN.  
迭代傅里叶变换算法（IFTA）		 -x+3nb|.  
 K5qCPt`'  
 X(ph$,[  
√		 ,GH`tK_  
=sYILe[  
单元阵列设计算法		 i\6CE|  
 _p*9LsN$L  
 GM6, LzH  
 lAU99(GXV  
√
+]%S}<R  
公差仿真
*SNdU^!  
高度公差		 3^UdB9j;  
 '0D$C},^|8  
 cX-M9Cz  
√		 qi4P(s-i  
√
Dx-P]j)4x  
掩膜蚀刻深度公差		 wmr?ANk  
√		 ^&?,L@fW  
 LU:xmDv  
√		 mw 28E\U  
N[/<xW~x?4  
边缘圆滑模拟		 (t-hi8"  
√		 u(f   
 \1<'XVS  
√		 {U=J>#@G  
<K[y~9u  
对准误差		 U>PZ3  
√		 *C*ZmC5  
 zgAU5cw  
√		 |Vpp'ipr  
√
}:#WjH^  
波长误差		 gI^&z  
 ;R*-cm  
 <VxA&bb7c  
√		 ^~H}N$W"-q  
√
EsGu#lD2  
远场和近场分布的变化		 .==D?#bn  
√		 8o5[tl ?w  
 K{P-+(  
√		 ;b{#$#`=  
√
arL>{mj  
由参数运行产生的实验系列		 K3!3[dR*  
√		 c< $<n  
 ws0qwv#  
√		 z0 9Gp}^;  
√
O*:87:I d  
加工数据的导出
B"GC|}N )v  
GDSII文件		 Av.tr&ZNb  
√		 *$eH3nn6g  
 w5m /[Z  
√		 h[remR# 3\  
√
d1D f`  
CIF文件		 tRoSq;VrS  
√		 , /.@([C  
 9<Pg2#*N0  
√		 c-$rB_t+  
eQ>Ur2H8n  
位图文件		 _5p$#U`  
√		 Vh\_Ko\V5  
 ~wa4kS<>  
√		 1ubu~6  
x $LCLP#$H  
ASCII/.csv文件		 KtQs uL%  
√		 i<ES/U\  
 [7@blU  
√		 (ks>F=vk*  
√
%p}vX9U')  
Point-Cloud文件		 S F)$b  
√		 { I{ 0rV  
 nd' D0<%  
√		 E^-c,4'F  
5=TgOS]R  
STL文件		 MRpMmu  
√		 &[d'g0pF  
 d'_q9uf'  
√		 Km5_P##  
[(n5-#1S  
蚀刻掩膜的计算		 :qo[@x{  
√		 K&[0`sH!  
 ei= 4u'  
√		 5HbHJ.|r  
√
5Dkb/Iagi  
自定义
;#Po}8Y=  
可编程元件		 .B`$hxl*0c  
√		 gN/!w:  
 !~E/Rp  
 n{QyqI  
mlByE,S2E  
可编程探测器		 NO*, }aeG  
√		 C@qWour  
 ;2kQ)Bq"  
 )>ff"| X  
0/ QDfA?  
可编程光源		 5X0ex.  
√		 nYtkTP!J6  
 ^JY {<   
 mu B Y  
*9n[ #2sM<  
MATLAB可编程界面		 O<vBuD2  
√		 KF7w{A){  
 XGZZKvp  
 dg|+?M^9`  
~?NCmU=3  
C#可编程界面		 xI<l1@  
√		 ewcFzlA@  
 k)knyEUi  
 bm;iX*~  
 C6gSj1  
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