案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1518
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
"'}v0*[  
微光学元件的分析和设计
hKH$AEHEU}  
透镜阵列
AeY$.b  
4j@kMe;RjZ  
_5U%'\5s  
@1/}-.(n  
[zh4W*K_cq  
蝇眼聚光镜
{80oRD2=Q  
!7kLFW  
n<%=~1iY+  
5y[b8mur  
j""y2c1  
衍射扩散器
yYG3/Z3u5  
A^4kYOe  
=!g/2;-or  
Vyq#p9Q  
p'Y&Z?8  
单元阵列    光栅单元阵列
:?$Sb8OuIL  
oc3dd"8}@  
[DotS\p!z  
X@ bn??  
_d\u!giy  
            棱镜单元阵列
gI^L 9jE7  
clq~ ;hx  
/jjW/ lr  
xq Q~|  
 \8>  
            反射镜单元阵列
#Cg}!38  
2xL!PR-  
?ae[dif  
SG dfhno;  
)]c]el@y  
DOE产生的光分布
}&Wp3EWw  
高帽
pBg|n=^  
"}'8`k+d  
J8GXI:y  
D0Vyh"ua  
i14[3bPLk!  
平顶
[l8V<*x%S9  
IdV,%d{  
.])>A')r  
cX|[WT0[I  
6?1s`{yy  
焦线
XD $%  
F,p`- m[q  
e5qrQwU  
u%6Irdx  
Xmap9x  
二元二维强度分布
0`VD!_`  
Cec9#C  
zdxT35h  
8 3z'#  
dWsT Jyx~  
任意二维强度分布
B`?N,N"  
5y1or  
X+]L-o6I2  
7=7!| UV  
]}mly` Fw  
点阵
'GEBxNH:  
M!eoe5  
x4CtSGG85f  
-Z:]<;qU  
|?OdV<5C  
点线
.dD9&n;#^  
!Gln Q`T  
OOEV-=  
2Pbe~[  
ES^>[2Y  
整形和匀滑
$x?NNS_ "J  
单色LED
q*~gWn>T  
1vB-M6(  
ayV6m  
cvZni#o2)  
*ZGX-+{  
白光LED
6OfdD.y  
U8CWz!;Qz  
GE%2/z p  
-'I _*fu  
`d75@0:  
准分子激光
w- UKMW9"  
VLf g[*k  
g d z  
;*y|8od B  
X Y~;)<s_  
常见光束整形推荐使用的工具箱
+p13xc?#j  
推荐的工具箱
M6J/mOVx5  
{*N^C@  
'dkXYtKCB  
q.-y)C) ;  
A:kkCG!~Nf  
优化
XR|"dbZW.0  
局部和全局参数优化
{I`B[,*  
Q(lku"U'  
Ee&hG[sx  
vKU`C?,L  
3AK(dC[ri  
使用参数运行的全局优化
U);OR  
CE{z-_{ ^  
f Gb7=Fk  
Xad*I ulj  
g]za"U|g  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
[_h%F,_ A  
]$3+[9x'  
^Z2kq2}a  
Yj) e$f  
G-arnu)  
单元阵列设计算法
!L77y^oV  
-PM)EGSk{  
X6xx2v%D  
.Y!:x =e  
-n$ewV  
公差仿真
rnu e(t  
高度公差
NH'iR!iGo  
wy''tqg6  
9UP:J0 `  
/KAlK5<  
Uh.Sc:trA  
掩膜蚀刻深度公差
;+ G9-  
Te;gVG*  
z5 Bi=~=#  
}w@gj"\H  
h4Ia>^@  
边缘圆滑模拟
=O,JAR"ug  
h 'l^g%;  
7IW> >RBF  
R uLvG+  
|q_ !. a  
对准误差
a}>Dz 1R  
]ZTcOf  
=E y`M#t;  
rs:Q%V ^  
azo0{`S?  
波长误差
OC_M4{9/  
1kmQX+f  
cn%2OP:L^  
f jI#-  
H0a -(  
远场和近场分布的变化
F6W}mMZH/N  
x l0DN{PG  
J{Tq%\a3  
f7J,&<<5w  
r~8;kcu7  
由参数运行产生的实验系列
[9V]On  
Fc8E Y*  
B,_`btJh  
qX$u4I!,  
LmQ/#Gx  
加工数据的导出
xQu eE{  
GDSII文件
?z/Vgk+9|  
 i-W  
5j eO"jB  
W J+> e+  
z<pJYpxH  
CIF文件
e"Rm_t  
@u) 'yS  
zX kx7d8  
=MLf[   
h1+ hds+  
位图文件
~O;y?]U  
"&lN\&:  
LK}-lZ` i  
pm US F #u  
kIvvEh<L=  
ASCII/.csv文件
phP> 3f.T  
!QEL"iJ6M'  
f: xWu-  
}Qrab#v  
k\N4@UK  
Point-Cloud文件
ALGg AX3t  
],lV}Mlg*  
[B^G-  
!e3YnlE  
wAYB RY[  
STL文件
h qmSE'8  
8]< f$3.  
KJh,,xI>by  
XM~~y~j  
&uM^0eM  
蚀刻掩膜的计算
o }@n>R  
nl1-kB)$e|  
& ,L9OU  
G'x .NL  
} /e`v6  
自定义
]gEhE  
可编程元件
wJG$c-(\0  
*P2[qhP2  
Qw)9r{f  
K:r\{#9  
~ 3T,&?r  
可编程探测器
{6 .o=EyM{  
kzO&24  
ULBg {e?l8  
Jx|I6 y  
7m1KR#j  
可编程光源
0ys~2Y!eH  
nr\q7  
+F@_Es<6  
@Doyt{|T  
Z=+03  
MATLAB可编程界面
ii4B?E  
H:S,\D?%2x  
HGDV O Jq  
|M5-5)  
7#-y-B]l  
C#可编程界面
c-CYdi@  
}zMf7<C  
{'bip`U.  
(P@Y36j>N  
#y; yN7W  
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