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[讨论]折叠式光刻物镜 [复制链接]

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离线phoenixzqy

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2012-02-14

在原有光刻物镜专利的基础上，对物镜进行了简化和修改，留出了添加反射镜的空间，实现了光路的折叠。

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离线phoenixzqy

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只看该作者 1楼发表于: 2012-02-14

帮一学生做的光路模拟。

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离线phoenixzqy

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只看该作者 2楼发表于: 2012-03-27

双远心光路！

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离线hoxomo

助理工程师

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只看该作者 3楼发表于: 2012-08-31

4:1的？

离线phoenixzqy

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只看该作者 4楼发表于: 2012-08-31

回 hoxomo 的帖子

hoxomo:4:1的？(2012-08-31 17:47)嬀/color] scmto cm

差不多。从图上能看出来的。

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离线phoenixzqy

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只看该作者 5楼发表于: 2012-09-27

欢迎交流合作

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离线hoxomo

助理工程师

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只看该作者 6楼发表于: 2012-09-28

NA 多少？

离线phoenixzqy

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只看该作者 7楼发表于: 2012-09-28

回 hoxomo 的帖子

hoxomo:NA 多少？ L?AM&w-cg9
(2012-09-28 15:57)嬀/color] Tyg$`\#

专利未修改之前，NA不到0.1；

图中这个系统的设计要求是0.03~0.04.。

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离线ilyhairpin

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只看该作者 8楼发表于: 2012-09-30

貌似很复杂

离线ilyhairpin

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只看该作者 9楼发表于: 2012-09-30

貌似很复杂哎

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