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    [讨论]折叠式光刻物镜 [复制链接]

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    离线phoenixzqy
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    只看该作者 10楼 发表于: 2012-10-01
    回 ilyhairpin 的帖子
    ilyhairpin:貌似很复杂哎(2012-09-30 17:10)嬀/color] ZQ3_y $  
    m*Lo|F  
    还好。在专利基础上修改的。
    2024年6月28-30日于上海组织线下成像光学设计培训，欢迎报名参加。请关注子在川上光学公众号。详细内容请咨询13661915143（同微信号）
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    离线deaneliu
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    只看该作者 11楼 发表于: 2012-10-03
    请问LZ，这是用什么软件做模拟的
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    离线phoenixzqy
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    只看该作者 12楼 发表于: 2012-10-03
    回 deaneliu 的帖子
    deaneliu:请问LZ，这是用什么软件做模拟的(2012-10-03 14:46)嬀/color] =Gk/k}1  
    :_kAl? eJ  
    zemax oslo codev都可以的。
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    离线phoenixzqy
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    只看该作者 13楼 发表于: 2012-10-03
    回 deaneliu 的帖子
    deaneliu:请问LZ，这是用什么软件做模拟的(2012-10-03 14:46)嬀/color] UO*Ymj 1  
    ^.k |SK`U  
    成像软件都可以。
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    离线hoxomo
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    只看该作者 14楼 发表于: 2012-11-22
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    phoenixzqy:专利未修改之前，NA不到0.1；
    图中这个系统的设计要求是0.03~0.04.。 (2012-09-28 20:46)  iyj+:t/  
    yV_4?nh  
    NA有点小啊，分辨率不高啊。
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    只看该作者 15楼 发表于: 2012-11-22
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    hoxomo:NA有点小啊，分辨率不高啊。(2012-11-22 16:40)嬀/color] h6} lpd  
    e9Nk3Sj]  
    这个系统分辨率很高，不要只按na计算。你可以在zemax里模拟一下。
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    只看该作者 16楼 发表于: 2012-11-22
    回 hoxomo 的帖子
    hoxomo:NA有点小啊，分辨率不高啊。(2012-11-22 16:40)嬀/color] U*3uq7  
    _U/!4A  
    mtf@500仍大于0.35
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    离线hoxomo
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    只看该作者 17楼 发表于: 2012-11-30
    回 phoenixzqy 的帖子
    phoenixzqy:mtf@500仍大于0.35 (2012-11-22 20:40)  a(0*um(  
    v_nj$1dY6  
    那挺不错的
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    离线ekisyou
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    只看该作者 18楼 发表于: 2012-12-08
    封装上面用的吗
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    离线phoenixzqy
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    只看该作者 19楼 发表于: 2012-12-24
    回 ekisyou 的帖子
    ekisyou:封装上面用的吗(2012-12-08 22:11)嬀/color] (S v~2  
    + Q6l*:<|c  
    投影光刻上用的。紫外光刻。
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