[讨论]折叠式光刻物镜 [复制链接]

看看了

bruce45:看看了(2013-02-04 12:12)嬀/color] a@_
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^]lwd"$  
欢迎讨论！

请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ #G , *j  
您的设计指标中 对像质是如何要求的？ D>7_P7]y  
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？

darkwzj:请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ P"_}F  
您的设计指标中 对像质是如何要求的？ ?M-8Fp3 +  
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？ (2013-04-17 20:43)  O9=H [b  

4Z~Dxo  
像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf   或者可以看一下psf b G5  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 7C?mD75j  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了

phoenixzqy:像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf 或者可以看一下psf Rs[]
i;  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 k[)@I;m  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了(2013-04-17 20:48)嬀/color] PM>
XT  

,4W((OQ^  
感谢回答~

darkwzj:感谢回答~ (2013-04-17 21:29)  z1s"C[W2T  

5K~6`  
客气 常交流

学习学习~

瞎搞的，帮一个学生做的。

学习下，谢谢        

好帖子，学习了