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    [讨论]折叠式光刻物镜 [复制链接]

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    离线bruce45
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    只看该作者 20楼 发表于: 2013-02-04
    看看了
    离线phoenixzqy
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    只看该作者 21楼 发表于: 2013-04-13
    回 bruce45 的帖子
    bruce45:看看了(2013-02-04 12:12)嬀/color]  ?Cu1"bl  
    2I 2#o9(Ar  
    欢迎讨论!
    成像光学设计培训(北京)10月17-19日;成像光学设计培训(上海)12月19-21日
    QQ:2831610750;280523909。
    离线darkwzj
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    只看该作者 22楼 发表于: 2013-04-17
    请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢? '}`|QJ  
    您的设计指标中 对像质是如何要求的? 1lxsj{>U  
    另外NA不到0.1是指物方的么?还是像方?
    离线phoenixzqy
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    只看该作者 23楼 发表于: 2013-04-17
    回 darkwzj 的帖子
    darkwzj:请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢? /B$"fxFf  
    您的设计指标中 对像质是如何要求的? ti:qOSIDTA  
    另外NA不到0.1是指物方的么?还是像方? (2013-04-17 20:43)  m6BIQ(l  
    {:&t;5qz^  
    像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf   或者可以看一下psf 10v4k<xb  
    这个系统时要做到衍射极限的,看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 6#xP[hlR[  
    na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了
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    离线darkwzj
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    只看该作者 24楼 发表于: 2013-04-17
    回 phoenixzqy 的帖子
    phoenixzqy:像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf 或者可以看一下psf 9L;fT5Tp7  
    这个系统时要做到衍射极限的,看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 K1Ms  
    na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了(2013-04-17 20:48)嬀/color] <A +VS  
    7A|n*'[T>  
    感谢回答~
    离线phoenixzqy
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    只看该作者 25楼 发表于: 2013-04-17
    回 darkwzj 的帖子
    darkwzj:感谢回答~ (2013-04-17 21:29)  rw(EI,G  
    z\wY3pIr2  
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    离线ciomplj
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    只看该作者 26楼 发表于: 2013-06-13
    学习学习~
    离线phoenixzqy
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    只看该作者 27楼 发表于: 2013-06-13
    瞎搞的,帮一个学生做的。
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    离线chengzheng
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    只看该作者 28楼 发表于: 2013-08-31
    学习下,谢谢        
    离线hehexixi2211
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    只看该作者 29楼 发表于: 2013-09-01
    好帖子,学习了
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