现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 0_A|K>7  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 B\tP{}P8{  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 e2P ds`  

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第一篇光学多层膜设计 + Q $Jq  
第1章光学薄膜特性的理论计算 *k(|r>  
1.1单色平面电磁波 M?3Nh;  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 nWyn}+C-  
1.3光学薄膜特性的理论计算 1Re5)Y:i  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 )J['0DUrZK  
习题 YpGG^;M$  
第2章光学薄膜的设计理论 &'0|U{|  
2.1矢量作图法 ^xpiN
P!?a  
2.2有效界面法 G(;C~kHX  
2.3对称膜系的等效层 >=WlrmI  
2.4导纳图解技术 !^,<nP  
习题 65~X!90k  
第3章光学薄膜系统的设计 pow.@  
3.1减反射膜 [Ju5O[o  
3.2分束镜 ly8IrgtKy  
3.3高反射膜 a%fMf[Fu  
3.4干涉截止滤光片 yLDv/r  
3.5带通滤光片 1U/ dc.x5  
3.6特殊膜系 DO^K8~]
 
习题 LRuB&4r8  
参考文献 k4AF .U`I  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 )[c@5zy~*  
第4章薄膜制备技术 $N[R99*x8  
4.1真空淀积工艺 XITh_S4fs=  
4.2光学薄膜材料 Q)$RE{*-  
4.3薄膜厚度监控艺术 \QZ~w_  
4.4膜层厚度的均匀性 \MY`R  
习题 z|^+
uL  
参考文献 #7Pnw.s3zz  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 _T{ "F  
5.1薄膜的形成过程 { +$zgg  
5.2薄膜的微观结构 Q8~|0X\
.g  
5.3薄膜的成分
BSMM3jXb  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 Fr,qVYf  
5.5薄膜微观结构和改善 Z#1'STg  
习题 !=Hu?F p  
参考文献
t@Bl3Nt{  
第三篇光学薄膜检测技术 wUj#ACqB  
第6章薄膜透射率和反射率测量 XuY#EJbZ  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 3 cb$g  
6.2薄膜反射率的测试 RdirEH*H  
6.3薄膜反射率的测量 ;Sqn w  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 jnu!a.H  
6.5总结 (:spA5  
习题 aYBc)LCd  
参考文献 K4{1}bU{>  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ZITic&>W  
7.1激光量热计基本原理 mbS`+)1=l  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ]'[(MH"  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 \?VNr
2  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ptlcG9d-  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 g9XAUZe  
7.6薄膜导波传播衰减系数法
TGxmc37?  
7.7总结 V?0Yzg$sy  
习题 ?uBZ"^'  
参考文献 )v+R+3<  
第8章薄膜光学常数的测量 jk\04k  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ~@Wg3'&  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 O2n[`9*  
8.3薄膜波导法 z^etH/]Sy  
8.4光学薄膜厚度的测试 e-`=?tct  
8.5总结 _>LI[yf{  
习题 'WC> _L  
参考文献 b;O@|HK&~  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ayR;|S  
9.1薄膜的力学特性检测技术 L#}HeOEi[  
9.2薄膜器件的环境试验 a(a2xa  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 R'Uw
17I  
9.4总结 '20
SoVp  
习题 "7. lsL5  
参考文献 ] C&AU[U*  
附录 &W|r P(
 
附录A复数与复数运算 fEMz%CwH  
A.1复数的概念 4uV,$/  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 E;>BcP
t5  
A.3复数在物理中的运用 l?rT_uO4  
附录B矩陈及矩陈运算 ku&m)'  
B.1矩陈的定义 j/Dc';,d.(  
B.2矩陈运算 qVidubsW  
附录C光的电磁理论基础 %_>+K;<  
C.1振动与波 kR1dk4I4  
C.2电磁波 e+? -#  
C.3麦克斯韦方程 pT;{05  
C.4平面电磁波 #zL0P>P'a  
C.5平面电磁波性质 waYH_)Zx  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ,m08t9F  
附录D光的干涉 nbhzLUK  
D.1波的叠加原理 "4,Zox{^  
D.2杨氏干涉 9_07?`Jr  
D.3平板的表面干涉 s.8]qQRr  
D.4光的空间相干性和时间相干性 S7A[HG;  
附录E光的偏振 OSDx  
E.1自然光和偏振光 ^-Knx!z  
E.2偏振光与Jones矩陈 ]\8
{z"  
E.3偏振光的获得 [&B}{6wry  
E.4偏振光的检验 U&\2\z3{  
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