现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 z4.|N  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ]%7m+-h@  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 -[=@'NP  
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<6N3()A)%1  
第一篇光学多层膜设计 4wS!g10}  
第1章光学薄膜特性的理论计算 muK)Yw[#N  
1.1单色平面电磁波 F":dS-u&L  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 h9A=20fj  
1.3光学薄膜特性的理论计算 fb8xs<  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ('_S1?y  
习题 Odt<WG  
第2章光学薄膜的设计理论 {dl@#Tu  
2.1矢量作图法 }sZy|dd  
2.2有效界面法 >Y3zO2Cr  
2.3对称膜系的等效层 1{xkAy0  
2.4导纳图解技术 zS\m
8[+]  
习题 0,LUi*10  
第3章光学薄膜系统的设计 &6Wim<*  
3.1减反射膜 CwEb ?  
3.2分束镜 TTxSl p2=;  
3.3高反射膜 fK4O N'[R:  
3.4干涉截止滤光片 s;[64ca]Q  
3.5带通滤光片 :d~&Dt<c  
3.6特殊膜系 G~lnX^46"  
习题 %eu_Pr
6X  
参考文献 n u>6UjV  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 j1@PfKh  
第4章薄膜制备技术 w^$$'5=  
4.1真空淀积工艺 MIv,$  
4.2光学薄膜材料 >&qaT*_g  
4.3薄膜厚度监控艺术 xl,?Hh%#  
4.4膜层厚度的均匀性 ^
6,}*@  
习题 kb*b|pWlO  
参考文献 0?g&<q  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 6nk.q|n:g  
5.1薄膜的形成过程 X`}4=>  
5.2薄膜的微观结构 "FfP&lF/  
5.3薄膜的成分 cmLI!"RLe  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 &4F iYZ  
5.5薄膜微观结构和改善 Gc!&I+kd  
习题 YP}r15P  
参考文献 Uv3Fe%>  
第三篇光学薄膜检测技术 QTI^?@+N>  
第6章薄膜透射率和反射率测量 iHOvCrp+X  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 FwSV \N+#'  
6.2薄膜反射率的测试 EO.}{1m=hx  
6.3薄膜反射率的测量 NEM
C  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 3n TpL#  
6.5总结 k$K>ml/h  
习题 771r(X?Fa  
参考文献 v/C*?/ ~  
第7章薄膜的吸收和散射测量 .$-%rU:*}  
7.1激光量热计基本原理 K}Pi"Le@W  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 oO,"B8a  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 7vsXfIP+  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ~D Ta%J  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 a`QKNrA2  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 WG*S:_?  
7.7总结 ,Z]4`9c  
习题 xXc3#n  
参考文献 X=b]Whuv  
第8章薄膜光学常数的测量 u*H V  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 9RN! <`H  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Xc@%_6  
8.3薄膜波导法 `wLa.Gzj  
8.4光学薄膜厚度的测试 5},kXXN{+  
8.5总结 ig,v6lqhM  
习题 ~bk+JK- >  
参考文献 fxk6q$'  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ~Aq$GH4  
9.1薄膜的力学特性检测技术 FZhjI 8+,~  
9.2薄膜器件的环境试验 RjCEo4b-.H  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 0Fm,F&12  
9.4总结 +q4AK<y-  
习题 .1& F p  
参考文献 l
vZ:Aw r  
附录 #~88[i-6  
附录A复数与复数运算 Gj([S17\0:  
A.1复数的概念 d#G H4+C  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 0E#3XhU  
A.3复数在物理中的运用 [
6t!}q  
附录B矩陈及矩陈运算
rN^P//  
B.1矩陈的定义 u~a@:D/F{G  
B.2矩陈运算 u9%)_Q!14  
附录C光的电磁理论基础 -( ,iwFb  
C.1振动与波 ;X3bgA']  
C.2电磁波 BPzlt  
C.3麦克斯韦方程 KZ)p\p<1  
C.4平面电磁波 /?P="j#u  
C.5平面电磁波性质 &-0eWwMW  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ${%*O}$  
附录D光的干涉 #<|q4a{8  
D.1波的叠加原理 (
)v{HBi  
D.2杨氏干涉 PXYo@^ 3  
D.3平板的表面干涉 Pa!r*(M)C  
D.4光的空间相干性和时间相干性 PH}^RR{H[  
附录E光的偏振 |YAnd=$  
E.1自然光和偏振光 RGim):1e  
E.2偏振光与Jones矩陈 h0fbc;l  
E.3偏振光的获得 /P/S0  
E.4偏振光的检验 c);(+b  
…… F$Q@UVA  
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电子文档下载：http://www.opticsky.cn/read-htm-tid-44072.html