现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 FY1 >{Bn  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 8>Az<EF^=#  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 91'i7&~xdG  
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第一篇光学多层膜设计 &/o4R:i  
第1章光学薄膜特性的理论计算
8[@aX;I  
1.1单色平面电磁波 3[`/rg,  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 =GH>-*qp  
1.3光学薄膜特性的理论计算 62BT3/~  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 U4`6S43ki  
习题 jD]Ci#|W  
第2章光学薄膜的设计理论 R]L$Ld< ij  
2.1矢量作图法 YQ/  
2.2有效界面法 ]34fG3D|  
2.3对称膜系的等效层 PX!$
w*q  
2.4导纳图解技术 mmSC0F  
习题 {"f4oK{w  
第3章光学薄膜系统的设计 Xm#rkF[,  
3.1减反射膜 !j8.JP}!)  
3.2分束镜 (@wgNA-P  
3.3高反射膜 DAYR=s  
3.4干涉截止滤光片 Bgw=((p  
3.5带通滤光片 `p qj~s  
3.6特殊膜系 I?y!d G  
习题 B8J_^kd  
参考文献 Z9S5rPHEL  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 oW[];r  
第4章薄膜制备技术 ~1xfE C/  
4.1真空淀积工艺 gl.uDO%.  
4.2光学薄膜材料  8kn> ?  
4.3薄膜厚度监控艺术 )67pBj  
4.4膜层厚度的均匀性 !Q/oj Q  
习题 tNk.|}  
参考文献 w8(8n&5  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 |j2b=0Rpk  
5.1薄膜的形成过程 0[\sz>@  
5.2薄膜的微观结构 :`jB1rI  
5.3薄膜的成分 LpV2XL$p>#  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响  kD}w5 U  
5.5薄膜微观结构和改善 ,1|Qm8O  
习题 ORCG(N  
参考文献 $%:=;1Jl  
第三篇光学薄膜检测技术 9-B/n0  
第6章薄膜透射率和反射率测量 =qWcw7!"  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 0R21"]L_M  
6.2薄膜反射率的测试 ^Kbq.4  
6.3薄膜反射率的测量 s:O8dL /  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 5u5-:#sLy  
6.5总结 frh!dN   
习题 ?R!?}7  
参考文献 VoG_'P  
第7章薄膜的吸收和散射测量 fpPB_P{Ua  
7.1激光量热计基本原理 D(X:dB50@  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 $c1zMkY)u  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 4lp90sa  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 gRsV-qS  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 r$Tu``z \  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 Ia@!Nr2  
7.7总结 &mPR[{  
习题  gl$}t H  
参考文献 E[=#Rw!*  
第8章薄膜光学常数的测量 ##QKXSD  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 [Dq@(Q s'  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 oR@emYL  
8.3薄膜波导法 n1Z
*wMwC  
8.4光学薄膜厚度的测试 Efa3{ 7>{  
8.5总结 C#l9M
xZE  
习题 oF(=@UL  
参考文献 _xz>O[unf  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 n/ CP2A  
9.1薄膜的力学特性检测技术 kJ_XG;8  
9.2薄膜器件的环境试验 }i F|NIV  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 hpBn_  
9.4总结 $/)0iL{0  
习题 uQmt
d  
参考文献
}Q1m  
附录 9Od|R"aS|  
附录A复数与复数运算 By;{Y[@rS  
A.1复数的概念 IxU#x*  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 p!o+8Xz5  
A.3复数在物理中的运用 DQy;W  ov  
附录B矩陈及矩陈运算
u-k!h  
B.1矩陈的定义 H1or,>GoO  
B.2矩陈运算 JTS<n4<a  
附录C光的电磁理论基础 ']^
_W0?=  
C.1振动与波 3d;w\#?L;  
C.2电磁波 "t>WM  
C.3麦克斯韦方程 EJm*L6>@R&  
C.4平面电磁波 ^@-qnU lH  
C.5平面电磁波性质 Egm-PoPe  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Y![//tg  
附录D光的干涉 =rzhaU'A'  
D.1波的叠加原理 q6T>y%|FZ  
D.2杨氏干涉 @~j--L  
D.3平板的表面干涉 'iikcf*)C  
D.4光的空间相干性和时间相干性 A5 <T7~U  
附录E光的偏振 JPmZ%]wA  
E.1自然光和偏振光 y"nL9r.,:  
E.2偏振光与Jones矩陈 w<me(!-'  
E.3偏振光的获得 _n12Wx{  
E.4偏振光的检验 p}MH LM  
…… _>/OqYR_jQ  
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