现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 "JT;gaEm  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 w~+aW(2  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 [m2+9MMl  

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第一篇光学多层膜设计 c`kQvXx  
第1章光学薄膜特性的理论计算 h-XY4gq/  
1.1单色平面电磁波 tXq)nfGe{  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 nSS=%,?  
1.3光学薄膜特性的理论计算 BD*G1k_q  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 )=_ycf^MC  
习题 LmLGki$w  
第2章光学薄膜的设计理论 ]gP5f@`  
2.1矢量作图法 JN[0L:  
2.2有效界面法 O<N#M{kc.  
2.3对称膜系的等效层 x';uCKWV  
2.4导纳图解技术 o`?zF+M0  
习题 EzT`,#b  
第3章光学薄膜系统的设计 ;l!`C':'  
3.1减反射膜 GozPvR^/  
3.2分束镜 n=!uNu7  
3.3高反射膜 GyC)EFd  
3.4干涉截止滤光片 2wlKBSON  
3.5带通滤光片 ,8VU&?`<}  
3.6特殊膜系 AW8'RfC.  
习题 (Hp'B))2  
参考文献 gH7z  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 8r:M*25  
第4章薄膜制备技术 .6.^G  
4.1真空淀积工艺 ;=~Xr"(/z  
4.2光学薄膜材料 G0d&@okbFC  
4.3薄膜厚度监控艺术 p2 !FcFi  
4.4膜层厚度的均匀性 ,=PKd&  
习题 kiUk4&1  
参考文献 9M-K]0S(  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 *e{PxaF!C  
5.1薄膜的形成过程 (! KG)!  
5.2薄膜的微观结构 Qvqqvk_tv  
5.3薄膜的成分 T|){<  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 I.V:q!4*  
5.5薄膜微观结构和改善 h @/;`E[  
习题 ZFxLBb:  
参考文献 ;JTt2qQKo  
第三篇光学薄膜检测技术 Qc"'8kt  
第6章薄膜透射率和反射率测量 IVjU`ij  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 B3 zk(RNZ  
6.2薄膜反射率的测试 SF<Vds}A2  
6.3薄膜反射率的测量 Xe1P- 60  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 )K]pnH|  
6.5总结 Q*ju sm  
习题 :td ~g;w  
参考文献 SW 8x]B  
第7章薄膜的吸收和散射测量 U ?b".hJ2  
7.1激光量热计基本原理 WeJ@xL  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ^k/i-%k0  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 {aOkV::  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 d8x%SQ!V  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法
|m*.LTO  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 <"tDAx  
7.7总结 ,.mBJSE3  
习题 8l+H"M&|  
参考文献 p,!$/Q+l  
第8章薄膜光学常数的测量 1~yZ T  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 B6M+mx"G  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法
1{PG>W  
8.3薄膜波导法 "v]%3i.* -  
8.4光学薄膜厚度的测试 yfj(Q s  
8.5总结 EbK0j?  
习题 P,z:Z|}8  
参考文献 9;=dxWf   
第9章薄膜非光学特性的检测技术 `!4,jd  
9.1薄膜的力学特性检测技术 Akk 3 Qx  
9.2薄膜器件的环境试验 "8<K'zeS8  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 M"Y0jQ(  
9.4总结 0Y+FRB]u  
习题 K`6z&*  
参考文献 F:g=i}7  
附录 2xxB\J  
附录A复数与复数运算 0!GAk  
A.1复数的概念 nb,2,H  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 `'4)q}bB  
A.3复数在物理中的运用 N|Cs=-+  
附录B矩陈及矩陈运算 W<,F28jI3v  
B.1矩陈的定义 N$I03m  
B.2矩陈运算 v;2CU  
附录C光的电磁理论基础 L^J-("e_  
C.1振动与波 6(V /yn~  
C.2电磁波 S]>wc yy=n  
C.3麦克斯韦方程 J7$_VP  
C.4平面电磁波 4[2_,9}  
C.5平面电磁波性质 c z'5iK  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 a\5FAkI  
附录D光的干涉 Ao.\  
D.1波的叠加原理 vZAv_8S)  
D.2杨氏干涉 B(5c9DI`  
D.3平板的表面干涉 8*a), 3aK  
D.4光的空间相干性和时间相干性 @w9{5D4  
附录E光的偏振 1Y/$,Oa5  
E.1自然光和偏振光 ]7YNIS  
E.2偏振光与Jones矩陈 -*ELLY[  
E.3偏振光的获得 _^S]gmE  
E.4偏振光的检验 I["j=r  
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