现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 4{vd6T}V!  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 f0D Ch]  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 44W3U~1  
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第一篇光学多层膜设计 6#KI? 6  
第1章光学薄膜特性的理论计算 *cf"l  
1.1单色平面电磁波 2YN`:"  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 }=|ZEhtOp  
1.3光学薄膜特性的理论计算 %b{!9-n}  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 q9 ;\B&  
习题 7k\7G=  
第2章光学薄膜的设计理论 Q jBCkx]g  
2.1矢量作图法 ltrSTH,kL  
2.2有效界面法 `{wku@  
2.3对称膜系的等效层 1}BNG,n  
2.4导纳图解技术 pMB=iS<E  
习题 $0
*47+f  
第3章光学薄膜系统的设计 +zD'r5  
3.1减反射膜 %8*d)AB:  
3.2分束镜 )j6>b-H  
3.3高反射膜 \Zv =?\  
3.4干涉截止滤光片 h]Oplp4\W  
3.5带通滤光片 5
qr!OEF2  
3.6特殊膜系 hX_p5a1t  
习题 {@#L'i|  
参考文献 84!4Vz^  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 =_dd4`G&<  
第4章薄膜制备技术 68c;V
b  
4.1真空淀积工艺 h(8;7}K  
4.2光学薄膜材料 Yy)a,clZ*$  
4.3薄膜厚度监控艺术 /a(zLHyz)  
4.4膜层厚度的均匀性 2SJh
6U  
习题 LgNNtZ&F  
参考文献 be/1-=m  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响  7q:bBS  
5.1薄膜的形成过程 N1!5J
(V4  
5.2薄膜的微观结构 >>bYg  
5.3薄膜的成分 5dp#\J@  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 5)zB/Ta<  
5.5薄膜微观结构和改善 fE*I
+pe  
习题
DjIswI1I  
参考文献 !5OMAWNU@  
第三篇光学薄膜检测技术 |I}+!DDuv  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Kk98FI0]  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 "
|'`'W  
6.2薄膜反射率的测试 VQ?H:1R  
6.3薄膜反射率的测量 />[6uvy#Q  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 %9/)  
6.5总结 02^(z6K'&?  
习题
NydW9r:T  
参考文献 I=%sDn  
第7章薄膜的吸收和散射测量 (bt]GAxb1  
7.1激光量热计基本原理 )Zf}V0!?+  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ,:(leWeA9  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 dO4#BDn"=  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ,;P`Mf'YC  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 uHro%UAd  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 c'+r[rSn1  
7.7总结 >
v_5xd9  
习题 +Jka:]MW!  
参考文献 gqD^Bs'VF  
第8章薄膜光学常数的测量 ]GtR8w@w  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 C)
96/k  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 PBs<8xBx^  
8.3薄膜波导法 c;rp@_ULG?  
8.4光学薄膜厚度的测试 0bxvM  
8.5总结 `VFl|o#H  
习题 C9g~l}=$&  
参考文献 '}`hY1v  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 n{Qh8"  
9.1薄膜的力学特性检测技术 a^T4\  
9.2薄膜器件的环境试验 Wx|6A#cg!  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 lMzCDx!m  
9.4总结 .(dmuV9  
习题 C$RAJ  
参考文献 #oroY.o  
附录 :$cSQ(q9a  
附录A复数与复数运算 HA.NZkq.tV  
A.1复数的概念 gqd
B!l4  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 u4#~ i0@  
A.3复数在物理中的运用 ~:}XVt0%8  
附录B矩陈及矩陈运算 \m~\,em  
B.1矩陈的定义 y5Wqu9C\Io  
B.2矩陈运算 ck
jVa\  
附录C光的电磁理论基础 ;Q>3N(  
C.1振动与波 9Oo*8wvGG  
C.2电磁波 ]b~2Dap  
C.3麦克斯韦方程 ioY\8i  
C.4平面电磁波 {8Jk=)(md  
C.5平面电磁波性质 V0'p1J tD  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 `^bvj]>l  
附录D光的干涉 SeZT4y*=  
D.1波的叠加原理 c7l!G~yx'  
D.2杨氏干涉 (-'0g@0UA  
D.3平板的表面干涉 -m'3L7:  
D.4光的空间相干性和时间相干性 #:vDBP05.m  
附录E光的偏振 R#7+  
E.1自然光和偏振光 (LT\ IJSM  
E.2偏振光与Jones矩陈 tY$ty0y-e  
E.3偏振光的获得 n#^?X  
E.4偏振光的检验 zsMw5
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