现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 $c  f?`k  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 #`}g?6VHo  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 o3}12i S  

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第一篇光学多层膜设计 AB+Zc ]  
第1章光学薄膜特性的理论计算 SLZv`  
1.1单色平面电磁波 ("mW=Ln  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 uCmdNY  
1.3光学薄膜特性的理论计算 m0
/J3  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 {`l]RIig  
习题 0#<
_:E  
第2章光学薄膜的设计理论 j:U>V7Kn3~  
2.1矢量作图法 @yobT,DXi  
2.2有效界面法 x7{,4js  
2.3对称膜系的等效层 } vcr71u  
2.4导纳图解技术 0Wv9K~F  
习题 *GD 1[:  
第3章光学薄膜系统的设计 KGK8;Q,O  
3.1减反射膜 Na3tK}x  
3.2分束镜 0@3g'TGl  
3.3高反射膜 ~oSLW
A9  
3.4干涉截止滤光片 AGrGZ7p]  
3.5带通滤光片 TSE(K
t  
3.6特殊膜系 l\MiG Na  
习题 1mA)=hu  
参考文献 o{>hOs &  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 /?2yo{Fg  
第4章薄膜制备技术 F~RUb&*/<  
4.1真空淀积工艺 X2sK<Qluql  
4.2光学薄膜材料 (Grj_p6O  
4.3薄膜厚度监控艺术 zse!t  
4.4膜层厚度的均匀性 AS4m227  
习题 ;zz"95X7  
参考文献 `Gsh<.w!7  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 x2|DI)J1'  
5.1薄膜的形成过程 I0)iC[s8;  
5.2薄膜的微观结构 oHeo]<
Fbv  
5.3薄膜的成分 hhYo9jTHW  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 (m.]0v*&c  
5.5薄膜微观结构和改善 |Zkcs]8M!  
习题 h1)p{5}H  
参考文献 i.K}(bo;b  
第三篇光学薄膜检测技术 EXb{
/4  
第6章薄膜透射率和反射率测量 /[{?zS{  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 i_gS!1Z2  
6.2薄膜反射率的测试 ,wZ[Y 3  
6.3薄膜反射率的测量 T5Pc2
R  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 }3)$aI_  
6.5总结 >@]E1Qfe  
习题 :5@7z9 >  
参考文献 Lg9ktRKK  
第7章薄膜的吸收和散射测量 |L]dJ<  
7.1激光量热计基本原理 1 4(?mM3   
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 .fQDj{  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 d@#=cvW  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 _>3GNvS  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Ep0Aogp29  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 Mc@p~5!M  
7.7总结 frGUT#9?n  
习题 9';0vrFeM  
参考文献 5Vut4px  
第8章薄膜光学常数的测量 ~ RTjcE  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 n,xK7icYNQ  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 TR ]lP<m  
8.3薄膜波导法 14zo0ANM  
8.4光学薄膜厚度的测试 D(Xv shQ  
8.5总结 a&Z|3+ZA  
习题 sH+]lTSX6{  
参考文献 QuF%m^aE  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 NK,)"WE  
9.1薄膜的力学特性检测技术 6 t A?<S  
9.2薄膜器件的环境试验 LM*9
b  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 gs0,-)  
9.4总结 >@EQarD  
习题 @^;\(If2  
参考文献 Xwx;m/  
附录 )Dq
v&^  
附录A复数与复数运算 q8[Nr3.  
A.1复数的概念 M_*w)<  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ` qt4~rD  
A.3复数在物理中的运用 u6B (f;  
附录B矩陈及矩陈运算 0*t
EuJ7  
B.1矩陈的定义 ",~3&wx  
B.2矩陈运算 (<8T*Xo  
附录C光的电磁理论基础 ?w<x_Lo  
C.1振动与波 U][.ioc  
C.2电磁波 @?e;Jp9  
C.3麦克斯韦方程 kW-5H;>  
C.4平面电磁波 $F/&/Aa  
C.5平面电磁波性质 EDnmYaa)dZ  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ;gW~+hW^  
附录D光的干涉 ;7 IVg[f  
D.1波的叠加原理 $xloB  
D.2杨氏干涉 %lV>Nc|iz=  
D.3平板的表面干涉 ]JhtO{  
D.4光的空间相干性和时间相干性 VN
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附录E光的偏振 c/g(=F__[  
E.1自然光和偏振光 -$T5@  
E.2偏振光与Jones矩陈 gHox{*hb[  
E.3偏振光的获得 MJ92S(  
E.4偏振光的检验 K-vso4@BJ  
…… -u8@ .  
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