现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 +c--&tBo  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 Ql8bt77eI-  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 tmO`|tn&  
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第一篇光学多层膜设计 iCP~
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第1章光学薄膜特性的理论计算 IxOc':/jY  
1.1单色平面电磁波 dFW.}"^c  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 $e }n  
1.3光学薄膜特性的理论计算 GKZN}bOm\  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 :_xh(W+2<  
习题 /ylc*3e'4  
第2章光学薄膜的设计理论 _7"5wB?|+  
2.1矢量作图法 n*<v]1  
2.2有效界面法 qM",( Bh  
2.3对称膜系的等效层 Qqc]aVRF  
2.4导纳图解技术 d]SYP  
习题 ZSB?Y1wG  
第3章光学薄膜系统的设计 ?qmp_2:WU  
3.1减反射膜 +Rwx%=  
3.2分束镜 E"qFXA>  
3.3高反射膜 X:EEPGE  
3.4干涉截止滤光片 };b1ahaG  
3.5带通滤光片 HbM0TXo  
3.6特殊膜系 }Cj8  
习题 .TpsJXF  
参考文献 U]R~gy}#  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 ab.tH$:<  
第4章薄膜制备技术 <41ZZ0<EwY  
4.1真空淀积工艺 `)Ky0&?  
4.2光学薄膜材料 $4m*kQ  
4.3薄膜厚度监控艺术  )h_8vO2  
4.4膜层厚度的均匀性 Elb aFbr  
习题 IRW^ok.'b!  
参考文献 n?xTkkr0  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 [syj#  
5.1薄膜的形成过程 j}f[W [2  
5.2薄膜的微观结构 (=u'sn:s  
5.3薄膜的成分 }^%xvmQ\]  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 Z9K})47T  
5.5薄膜微观结构和改善 ?X9UTOx  
习题 :Ht;0|[H  
参考文献 r.yK,  
第三篇光学薄膜检测技术 @Jn!0Y1_3  
第6章薄膜透射率和反射率测量 F #`=oM$5  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 <RXwM6G2  
6.2薄膜反射率的测试 w7TJv4_  
6.3薄膜反射率的测量 rD &D)w  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ezm&]F`  
6.5总结 7DD&~ZcD  
习题 f&KdlpxKv  
参考文献 =QOg 6  
第7章薄膜的吸收和散射测量 )[Z!*am  
7.1激光量热计基本原理 %,P>%'0  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 `3cCH  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 
4hs)b  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ravyiOL  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 viX +|A4gJ  
7.6薄膜导波传播衰减系数法
P8Qyhc  
7.7总结 K> g[k_  
习题 =r2]uW9  
参考文献 jgv`>o%<W  
第8章薄膜光学常数的测量 x;s0j"`Jb  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 % Zjdl  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ?)D^~/ A  
8.3薄膜波导法 YJV%a  
8.4光学薄膜厚度的测试 dT|vYK}\  
8.5总结 |{>ER,<-  
习题 yx38g ca  
参考文献 3SttHu0X  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 !69&Ld  
9.1薄膜的力学特性检测技术 I:98$r$  
9.2薄膜器件的环境试验 $g0+,ll[6  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 o5U(
i  
9.4总结 X{xBYZv4  
习题 W/$Zvl  
参考文献 yLE7>48  
附录 942lSyix  
附录A复数与复数运算 Pe73g%  
A.1复数的概念 SRIA*M.B}  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 2Os1C}m  
A.3复数在物理中的运用 j$7|XM6  
附录B矩陈及矩陈运算 B;>{0 s  
B.1矩陈的定义 Zdc63fllM  
B.2矩陈运算 k <iTjI*N  
附录C光的电磁理论基础 uo%P+om_}  
C.1振动与波 EOj"V'!  
C.2电磁波 "hxN!,DEZ  
C.3麦克斯韦方程 !E8X~DJ  
C.4平面电磁波 '7^M{y/dU  
C.5平面电磁波性质 soA|wk\A  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 nAIo{ F  
附录D光的干涉 f5AjJYq1  
D.1波的叠加原理 .IBp\7W!?E  
D.2杨氏干涉 Ysq'2  
D.3平板的表面干涉 `]Fx.)C#  
D.4光的空间相干性和时间相干性 EP'h@zdz  
附录E光的偏振 S{pXs&4O  
E.1自然光和偏振光 58\&/lYW  
E.2偏振光与Jones矩陈 W&*f#
E  
E.3偏振光的获得 g9D^)V  
E.4偏振光的检验 #6Fez`A  
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