现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 {3K]Q=  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 )u]=^  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 G@T_o4t  
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第一篇光学多层膜设计 V;)+v#4{  
第1章光学薄膜特性的理论计算 L/GVQj
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1.1单色平面电磁波 P-yVc2YH  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 !Zc#E,  
1.3光学薄膜特性的理论计算 -sDl[  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 GH3RRzp r  
习题 ka(3ONbG  
第2章光学薄膜的设计理论 Y(T$k9%}+  
2.1矢量作图法 ?LvU7  
2.2有效界面法 5s4x%L (~}  
2.3对称膜系的等效层 MA%g-}  
2.4导纳图解技术 Hxc>?  
习题 2sEG#/Y=  
第3章光学薄膜系统的设计 !g|[A7<|  
3.1减反射膜 BPOT!-  
3.2分束镜 Y$|KY/)H)  
3.3高反射膜 3(*vZ  
3.4干涉截止滤光片 m|]"e@SF2  
3.5带通滤光片 dV*9bDkM/  
3.6特殊膜系 h*Mi/\  
习题 (58r9WhS  
参考文献 3fYfj  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 }h3[QUVf%  
第4章薄膜制备技术 or7l}X  
4.1真空淀积工艺 Y10  
4.2光学薄膜材料 ~0Zy$L/D  
4.3薄膜厚度监控艺术 :Z83*SPc  
4.4膜层厚度的均匀性 !<X/_+G\  
习题 R.GDCGAL  
参考文献 E=,fdyj.  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 *N6sxFs  
5.1薄膜的形成过程 DD>n-8M@>  
5.2薄膜的微观结构 M3JV^{O/DV  
5.3薄膜的成分 ,d^HAg^j  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 )hVn/*mH  
5.5薄膜微观结构和改善 n%QWs1 b  
习题 aHitPPlq  
参考文献 ybIqn0&[  
第三篇光学薄膜检测技术 #??[;xjs!  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ,,S 2>X*L  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 /}eb1o  
6.2薄膜反射率的测试 $o)}@TC  
6.3薄膜反射率的测量 <Y;w I#C  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 usi3z9P>n  
6.5总结 Tg=P*HY6  
习题 \t=#MzjR  
参考文献 PHH,vO[eO  
第7章薄膜的吸收和散射测量 yi-0CHo  
7.1激光量热计基本原理 S]&aDg1y}  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 25W #mh,'  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 A9GSeW<  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 UzV78^:,iD  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ;j<#VS-]  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 X
&M04  
7.7总结 <:StZ{o;  
习题 _X{ GZJm  
参考文献 <?Z]h]C^o  
第8章薄膜光学常数的测量 iBKH\em/  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ^i@0P}K<  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 7eF
FKl  
8.3薄膜波导法 '_91(~P  
8.4光学薄膜厚度的测试 +7y#c20  
8.5总结 L/N%ft]!T  
习题 y (%y'xBP  
参考文献 Q>G% *?  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 JEeXoGKd  
9.1薄膜的力学特性检测技术 vI"BNC*Q1  
9.2薄膜器件的环境试验 z6Nz)$!_i  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 )3 '8T>^<K  
9.4总结 "|E'E"_1  
习题 +'[/eW  
参考文献 iBY16_q  
附录 hN\Q&F!  
附录A复数与复数运算 VLbbn  
A.1复数的概念 .k,,PuP
  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 12tAx3p  
A.3复数在物理中的运用 @"aqnj>+  
附录B矩陈及矩陈运算 E>u U6#v  
B.1矩陈的定义 q0nIJ(  
B.2矩陈运算 zXIdup@  
附录C光的电磁理论基础 v&sl_w/tn  
C.1振动与波 fBBtS S  
C.2电磁波 X7*fmD=Uy  
C.3麦克斯韦方程 xi)$t#K"  
C.4平面电磁波 zS`KJVm  
C.5平面电磁波性质 xg'xuz$U  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 K[Vj+qdyl  
附录D光的干涉 ZT<VDcP{  
D.1波的叠加原理 1%";|  
D.2杨氏干涉 nJwP|P_  
D.3平板的表面干涉 G4\|bwh  
D.4光的空间相干性和时间相干性 l,UOP[j  
附录E光的偏振 E<@N4%K_Q  
E.1自然光和偏振光 Q5Epq sKyC  
E.2偏振光与Jones矩陈 BxaGBK<k  
E.3偏振光的获得 /^WOrMR  
E.4偏振光的检验 oE,TA2  
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