现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 e50xcf1u  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 I:al
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 =SW<Vhtb  

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第一篇光学多层膜设计 _\@zq*E  
第1章光学薄膜特性的理论计算 X g7xy>{]  
1.1单色平面电磁波 0Nk!.gY  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 \|]+sQWQ  
1.3光学薄膜特性的理论计算 u,=?|M\  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 a7b1c!  
习题 .UN?Ak*R  
第2章光学薄膜的设计理论 0x&L'&SpN  
2.1矢量作图法 #c/K.?  
2.2有效界面法 1Z(9<M1!M  
2.3对称膜系的等效层 ?d3<GhzlR3  
2.4导纳图解技术 r4?|sAK  
习题 jQfnc:
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第3章光学薄膜系统的设计 v`qXb$YW  
3.1减反射膜 uXA}" f2  
3.2分束镜 ( YZ2&  
3.3高反射膜 olHmRJ  
3.4干涉截止滤光片 ,x3<a}J  
3.5带通滤光片 OwDwa~  
3.6特殊膜系 QPFv]^s(  
习题 @!!5el {  
参考文献 1:|o7`  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 LS-_GslE7\  
第4章薄膜制备技术 &-vHb  
4.1真空淀积工艺 #2*R0_b  
4.2光学薄膜材料 tC/+  
4.3薄膜厚度监控艺术 wr>6Go%  
4.4膜层厚度的均匀性 :$XlYJrjK  
习题 gEgd/Le  
参考文献 .\ vrBf  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 O^3XhTW^\~  
5.1薄膜的形成过程  T#Z#YMk  
5.2薄膜的微观结构 }h sR}  
5.3薄膜的成分 6>'>BamX  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 YEB7X>p#  
5.5薄膜微观结构和改善 b>} )G7b}  
习题 NR^3 1&}It  
参考文献 ')WS :\J  
第三篇光学薄膜检测技术  \5HVX/  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ' 1dhdm8  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 PFbkkQKsT  
6.2薄膜反射率的测试 {Q^ -  
6.3薄膜反射率的测量 t<^7s9r;I  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 O4^' H}*  
6.5总结 [E9_ZdBT  
习题 0^d<@\  
参考文献 c48I-{?  
第7章薄膜的吸收和散射测量 YTfi g{a  
7.1激光量热计基本原理 lvR>%I0`*  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 JUq7R%"h6  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 P (fWJ
VF7  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 >5t]Zlb`  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 MJn=  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 - C8VDjf9  
7.7总结 PoRP]Q*n  
习题 aMxM3"  
参考文献 ;_/!F}d  
第8章薄膜光学常数的测量 s}4k^NGFJ  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 anH]]  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 u*T#? W?  
8.3薄膜波导法 qMd4awB R  
8.4光学薄膜厚度的测试 1<0Z@D~F  
8.5总结 ^jk-GRD*  
习题 QC1\Sn/  
参考文献 l% {<+N  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 QghL=  
9.1薄膜的力学特性检测技术 T4;gF
6(0]  
9.2薄膜器件的环境试验 Ai`0Ud,M@  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 )s ?Hkn  
9.4总结 a0`(*#P  
习题 lQ2vQz-J  
参考文献 /!hxW}>^  
附录 T7(U6yN  
附录A复数与复数运算 W;F=7[h  
A.1复数的概念 ;a(7
%  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 {t('`z  
A.3复数在物理中的运用 "OrF81  
附录B矩陈及矩陈运算 5RKs2eV  
B.1矩陈的定义 VH~ZDZ1P  
B.2矩陈运算 ?+byRoY>&g  
附录C光的电磁理论基础 {YIVi:4q  
C.1振动与波 Et;Ubj"+  
C.2电磁波 07vzVsQ
}p  
C.3麦克斯韦方程 uA\KbA.c;U  
C.4平面电磁波 kM
76?M  
C.5平面电磁波性质 =BeJ.8$@VC  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 #\6k_toZ  
附录D光的干涉 8y]{I^z}  
D.1波的叠加原理 [tJp^?6*  
D.2杨氏干涉 f3mQd}<L  
D.3平板的表面干涉 <,&t}7M/:  
D.4光的空间相干性和时间相干性 uAV-wc  
附录E光的偏振 KN.WTaO  
E.1自然光和偏振光 m3`J9f,c/  
E.2偏振光与Jones矩陈 dF+:9iiAm  
E.3偏振光的获得 t<SCrLbz  
E.4偏振光的检验 w#>CYP`0k6  
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