现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 o*artMkG  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 aM xd"cTzx  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 $bD`B'5  

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第一篇光学多层膜设计 *Ojl@N  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ^Z
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1.1单色平面电磁波 FrUqfTi+W  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 "G-h8IN^O  
1.3光学薄膜特性的理论计算 0WfnX>(C7R  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 E]8uj8K3]  
习题 MRw4?HqB  
第2章光学薄膜的设计理论 ;Xa N  
2.1矢量作图法 <[D>[  
2.2有效界面法 $.t>* Bq  
2.3对称膜系的等效层 *7-rm  
2.4导纳图解技术 REgM  
习题
vBJxhK-  
第3章光学薄膜系统的设计 0{uaSR  
3.1减反射膜 o<iU;15  
3.2分束镜 \m~p;B  
3.3高反射膜 :8j7}'  
3.4干涉截止滤光片 L&y"oAp<  
3.5带通滤光片 ?G,gP
b  
3.6特殊膜系 ZjMnGRP  
习题 4;W{#jk  
参考文献 _G-y{D_S&  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 #
Q)r6V:  
第4章薄膜制备技术 ~ +>ehU  
4.1真空淀积工艺 \K~wsu/?`  
4.2光学薄膜材料 dHTx^1  
4.3薄膜厚度监控艺术 ;2\6U;  
4.4膜层厚度的均匀性 "/RMIS K[;  
习题 4Ngp  -  
参考文献 c|`$ h  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Zhv%mUj~  
5.1薄膜的形成过程 m(?{#aaq  
5.2薄膜的微观结构 79cM_O  
5.3薄膜的成分 YvcV801Go  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 F81EZ/  
5.5薄膜微观结构和改善 R|'W#"{@  
习题 $.kJBRgV*  
参考文献 K6 >\4'q  
第三篇光学薄膜检测技术 8Z_ 4%vUBg  
第6章薄膜透射率和反射率测量 j)Ak:l%a  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 |,5|ZpgL  
6.2薄膜反射率的测试 zRD-[Z/-  
6.3薄膜反射率的测量 A7%/sMv  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ZZZ9C#hK^9  
6.5总结 wBwTJCX  
习题 9M3"'^ {$  
参考文献 /5/gnpC  
第7章薄膜的吸收和散射测量 3(\D.Z  
7.1激光量热计基本原理 G`kz 0Vk  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 W+6
3B8)4  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ;*t#:U*  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 8{/.1:  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 6 iMJ0  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 5qW>#pTFVV  
7.7总结 A9 g%>  
习题 ]uypi#[  
参考文献 YS){N=g&'  
第8章薄膜光学常数的测量 .?Y"o3  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 xlJWCA*>  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 _p%n%Oce
 
8.3薄膜波导法
P "IR3=  
8.4光学薄膜厚度的测试 ;>jEeIlT  
8.5总结 ;h+~xxu=X  
习题 sH;_U)ssH  
参考文献 ?#xm6oe#aH  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 \>Rfa+  
9.1薄膜的力学特性检测技术 aK -x{  
9.2薄膜器件的环境试验 1S!}su,uH  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 1n!:L!,`  
9.4总结 '!`\!=j-`  
习题 [bP^RY:  
参考文献 V0_
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附录 @WS77d~S  
附录A复数与复数运算 <A8>To<  
A.1复数的概念 IF0!@f  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 [V:~j1{3  
A.3复数在物理中的运用 &xN+a{&  
附录B矩陈及矩陈运算 &`v?oN9$  
B.1矩陈的定义 l;@+=uVDHm  
B.2矩陈运算 {~F|"v  
附录C光的电磁理论基础 F[Mwd &P@  
C.1振动与波 CAC4A
  
C.2电磁波 S\N1qux{  
C.3麦克斯韦方程 z5]6"v-  
C.4平面电磁波 `sT;\  
C.5平面电磁波性质 -'d:~:1f  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 0LH6G[  
附录D光的干涉 czD"mI!  
D.1波的叠加原理 y< *-&  
D.2杨氏干涉 ;Go^)bN ;  
D.3平板的表面干涉 94ruQ/   
D.4光的空间相干性和时间相干性
Oa~ThbX7  
附录E光的偏振 2vjkThh`I  
E.1自然光和偏振光 ~W8Xg)  
E.2偏振光与Jones矩陈 >lUPOc  
E.3偏振光的获得 "nu]3zcd  
E.4偏振光的检验 O%\cRn8m  
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