现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 -y3[\zNe  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 F
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 <Zf
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第一篇光学多层膜设计 rG[2.\&  
第1章光学薄膜特性的理论计算 b{x/V9&|  
1.1单色平面电磁波 E6T=lwOZ  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 V;)+v#4{  
1.3光学薄膜特性的理论计算 L/GVQj
b  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 N6S@e\*  
习题 !Zc#E,  
第2章光学薄膜的设计理论 **1=|aa:  
2.1矢量作图法 !Bg
^-F:N  
2.2有效界面法 5*90t{#  
2.3对称膜系的等效层 B_8JwMJu3  
2.4导纳图解技术 el<[Ng[  
习题 )S#?'gt*  
第3章光学薄膜系统的设计 MA%g-}  
3.1减反射膜 Hxc>?  
3.2分束镜 +I*a=qjq  
3.3高反射膜 t
)O]0) s  
3.4干涉截止滤光片 ku>Bxau4>  
3.5带通滤光片 <@4V G
 
3.6特殊膜系 j~9Y0jz_  
习题 i_`Po%   
参考文献 pMAFZfte!x  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 ]a*26AbU+  
第4章薄膜制备技术 fNyXDCl  
4.1真空淀积工艺 +OSSgY$  
4.2光学薄膜材料 q"f7$  
4.3薄膜厚度监控艺术 *kj+6`:CPs  
4.4膜层厚度的均匀性 ew c:-2Y^  
习题 +I:/8,&-x  
参考文献 AnZy oa  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ir|L@Jj,  
5.1薄膜的形成过程 lX50JJwk  
5.2薄膜的微观结构 IkGM~3e  
5.3薄膜的成分 oIE3`\xS  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 1n.F`%YG  
5.5薄膜微观结构和改善 ^0
I"  
习题 ChNT;G<6$  
参考文献 !9V; 8g  
第三篇光学薄膜检测技术 G%}k_vi&q
 
第6章薄膜透射率和反射率测量 +*eVi3  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 &*Kk> 4  
6.2薄膜反射率的测试 oXVx9dZ  
6.3薄膜反射率的测量 |gT8QP  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 9El{>&Fs4  
6.5总结 ]&='E.f  
习题 T/hz23nH  
参考文献 F"23vG>3  
第7章薄膜的吸收和散射测量 eG
.s|0`  
7.1激光量热计基本原理 ;1r|Bx
<5  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 {t]8#[lo  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ?+{_x^  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 5+(Cp3
  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 {aU|BdATI  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 - Sn]`  
7.7总结 >I+p;V$@  
习题 [l~G7u.d  
参考文献 _0iV6Bj  
第8章薄膜光学常数的测量 ArT@BqWd  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 =C7<I   
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 .lSoC`HE  
8.3薄膜波导法 nH+wU;M  
8.4光学薄膜厚度的测试 I&% Z*H  
8.5总结 g-/ }*ml  
习题 _.m|Ml,`{  
参考文献 @)ls+}=Y  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 $L'[_J  
9.1薄膜的力学特性检测技术 2frwU~y  
9.2薄膜器件的环境试验 !_iv~Q zv  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Jgq#m~M6  
9.4总结 ~svea>Fmr  
习题 )]zsAw`/  
参考文献 *qr>x8OGp  
附录 nM!_C-
yX  
附录A复数与复数运算 jZe/h#J)[  
A.1复数的概念 J7kq
yo"  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 gL7rX aj  
A.3复数在物理中的运用 aZq7(pen  
附录B矩陈及矩陈运算 Fc^!="
H  
B.1矩陈的定义 be(hY{y`  
B.2矩陈运算 12tAx3p  
附录C光的电磁理论基础 @"aqnj>+  
C.1振动与波 E>u U6#v  
C.2电磁波 q0nIJ(  
C.3麦克斯韦方程 zXIdup@  
C.4平面电磁波 v&sl_w/tn  
C.5平面电磁波性质 fBBtS S  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 X7*fmD=Uy  
附录D光的干涉 4Q,|7@  
D.1波的叠加原理 1q|iw  
D.2杨氏干涉 L=I;0Ip9y  
D.3平板的表面干涉 zu,Yu
q  
D.4光的空间相干性和时间相干性 
e?KzT5j:  
附录E光的偏振 ]i>,oxBWe  
E.1自然光和偏振光 }LoMS<O-[  
E.2偏振光与Jones矩陈 Qs<L$"L1  
E.3偏振光的获得 NLt"yD3t  
E.4偏振光的检验 `~NjBtQ  
……
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