现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 ;e_dk4_  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 MRwls@z=  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 %M2.h;9]*\  

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第一篇光学多层膜设计 r :{2}nE  
第1章光学薄膜特性的理论计算 2Vxr  
1.1单色平面电磁波 N)K};yMf  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 <*3{Twa1T  
1.3光学薄膜特性的理论计算 B.-5$4*s  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 :DXkAb2  
习题 16_HO%v->  
第2章光学薄膜的设计理论 LYhgBG,
 
2.1矢量作图法 q(M[ij  
2.2有效界面法 pk%I98! Jy  
2.3对称膜系的等效层 5"u-oE&
 
2.4导纳图解技术 =QHW>v  
习题 7Vr .&`l  
第3章光学薄膜系统的设计 =;-/( C  
3.1减反射膜 &?IOrHSv!  
3.2分束镜 8>RGmue
 
3.3高反射膜 Q#wASd.  
3.4干涉截止滤光片 .Qg!_C  
3.5带通滤光片 z9}rT<hy  
3.6特殊膜系 Q.7Rv XNw8  
习题 [yM{A<\L  
参考文献 $~`a,[e<  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 1_%jDMYH  
第4章薄膜制备技术 [X ]\^   
4.1真空淀积工艺 2+M(!FHfy  
4.2光学薄膜材料 O@{ JB  
4.3薄膜厚度监控艺术 >d!w&0z>
 
4.4膜层厚度的均匀性 Vy.A`Hz  
习题 m3C&QdjRp  
参考文献 l~!Tnp\M  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ;n$j?n+|  
5.1薄膜的形成过程 A8&yB;T$y  
5.2薄膜的微观结构 M`Jj!  
5.3薄膜的成分 [wG?&l$.KB  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 $6}siU7s4  
5.5薄膜微观结构和改善 =B4U~|k  
习题 ;W]NT4p  
参考文献 hSS
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第三篇光学薄膜检测技术 ]|18tVXc  
第6章薄膜透射率和反射率测量 9a9<I  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 BoYWx^VHx^  
6.2薄膜反射率的测试 V|zz
j[c  
6.3薄膜反射率的测量 +Gqh  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ;Xg6'yxJ  
6.5总结 wUHuykF  
习题 5|f[evQj<S  
参考文献 1,=U^W.G  
第7章薄膜的吸收和散射测量 aF2eGh  
7.1激光量热计基本原理 !;.i#c_u  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 y?GRxoCD"e  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ^Crl~~Gk`  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量  /s.sW l  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 dFD0l?0N  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 hPF9y@lh  
7.7总结 p/>}{Q )Y  
习题 $J"}7+  
参考文献 I&Q.MItW  
第8章薄膜光学常数的测量 y5B4t6M(  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 P$S>=*`n U  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 dDbPM9]5  
8.3薄膜波导法 6DqV1'  
8.4光学薄膜厚度的测试 :]iV*zo_
 
8.5总结 #X'!wr|-  
习题 34_:.QK-  
参考文献 <^6|ZgR  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 = q9>~E{}  
9.1薄膜的力学特性检测技术 }&sF \b  
9.2薄膜器件的环境试验 !q=ej^(S  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 KArt4+31  
9.4总结 cJj4qXF  
习题 ; S7 %  
参考文献 fQRGz\r*k  
附录 ^dFdw\  
附录A复数与复数运算 !:t}8  
A.1复数的概念 tNg}:a|J  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ,!_$A}@0 ^  
A.3复数在物理中的运用 M@EML @~  
附录B矩陈及矩陈运算 {rQ6IV3=  
B.1矩陈的定义 +168!Jw;  
B.2矩陈运算 XBe!9/'k>  
附录C光的电磁理论基础 ax0RtqtR&  
C.1振动与波 s9svuFb  
C.2电磁波 &Q 7Q1`S  
C.3麦克斯韦方程 e}Cp;c]=  
C.4平面电磁波 +F$c_ \>  
C.5平面电磁波性质 4<fKB&  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ku3Vr\s  
附录D光的干涉 q|BR-0yi  
D.1波的叠加原理 f{MXH&d 1\  
D.2杨氏干涉 d|CSWcU  
D.3平板的表面干涉 ]+\;pb}bq  
D.4光的空间相干性和时间相干性 %
Ez=  
附录E光的偏振 V`qHNM/t  
E.1自然光和偏振光 d?^bCf+<  
E.2偏振光与Jones矩陈 4<g,L;pUU  
E.3偏振光的获得 )!J0e-T-8O  
E.4偏振光的检验 udVEOn$  
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