现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 )yb+M ez  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 6=PiVwI  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 v
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第一篇光学多层膜设计 ^2M!*p&h  
第1章光学薄膜特性的理论计算 _8h8Wtif  
1.1单色平面电磁波 F}rPY:  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 af+}S9To  
1.3光学薄膜特性的理论计算 .1*DR]^
`  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 m<3v)R[>  
习题 Ew^ @Aq  
第2章光学薄膜的设计理论 7-9;PkGG.A  
2.1矢量作图法 H=zN[MU  
2.2有效界面法 2neRJ  
2.3对称膜系的等效层 ^ZQCIS-R  
2.4导纳图解技术 +~|AT+|iI  
习题 >e8JK*Blz  
第3章光学薄膜系统的设计 %f[Ep 3D  
3.1减反射膜 ?:|YGLaB  
3.2分束镜 ,\hYEup  
3.3高反射膜 /?zW<QUI  
3.4干涉截止滤光片 `h;}3r#R{  
3.5带通滤光片 6;uBZ&g  
3.6特殊膜系 1BD6l2y  
习题 ^w6eWzI  
参考文献 oG_~3Kt  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 zw:/!MS  
第4章薄膜制备技术 hrM"Zg  
4.1真空淀积工艺 S[@6Lp3q_  
4.2光学薄膜材料 {>.>7{7  
4.3薄膜厚度监控艺术 GMFc K=  
4.4膜层厚度的均匀性 iAz UaF  
习题 TJ2/?p\x  
参考文献 Io+IRK  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 PF ;YE6  
5.1薄膜的形成过程 2_olT_#  
5.2薄膜的微观结构 TSyzdnMvz  
5.3薄膜的成分 V}`M<A6:  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 pa] TeH  
5.5薄膜微观结构和改善 mvf _@2^  
习题 p6blD-v  
参考文献 q lY\*{x4  
第三篇光学薄膜检测技术 _XN~@5elrC  
第6章薄膜透射率和反射率测量 s}b*5@8|tA  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 tq E>Zx=X  
6.2薄膜反射率的测试 C
SL4P)  
6.3薄膜反射率的测量 t61'LCEis  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 s4IKSX  
6.5总结
$T)d!$  
习题 ^X;JT=r
 
参考文献 M-91 JOt~  
第7章薄膜的吸收和散射测量 Y<ElJ>A2I  
7.1激光量热计基本原理 \2eFpy(  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 <<BQYU)Ig  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 )%|r>{  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 n^Au*'  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 CI1m5g [P  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 V9$-twhu  
7.7总结 )9pBu B  
习题 5k`e^ARf  
参考文献 ?hSha)1:  
第8章薄膜光学常数的测量 wG6FS  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 bG1 ofsU  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 &x/k^p=  
8.3薄膜波导法 o(SuUGW  
8.4光学薄膜厚度的测试 0- Yeu5A  
8.5总结 w\v&3T   
习题 tYI]=:  
参考文献 M
7pvxChA  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 |x[$3R1@  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ht$ WF  
9.2薄膜器件的环境试验 B#H2RT
c  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 R^?PAHE7  
9.4总结 {G]`1Q1DR  
习题 H.;yLL=  
参考文献 Rmgxf/  
附录 9w$7VW;  
附录A复数与复数运算 jM[f[  
A.1复数的概念 dTgM"k  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 4jD\]Q="1  
A.3复数在物理中的运用 !%)L&W_  
附录B矩陈及矩陈运算 1o)=GV1  
B.1矩陈的定义 F_~6n]Sr  
B.2矩陈运算 ma`w\8a  
附录C光的电磁理论基础 :'b%5/ ^q  
C.1振动与波 8Y]}Gb!  
C.2电磁波 
_.hIv8V  
C.3麦克斯韦方程 z'v9j_\  
C.4平面电磁波 Dl@{}9  
C.5平面电磁波性质 hG[4O3jo\  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 'NRN_c9  
附录D光的干涉 -<12~HKK::  
D.1波的叠加原理 K-ju,4A  
D.2杨氏干涉 rGAFp,}-f  
D.3平板的表面干涉 3Y=,r!F.h  
D.4光的空间相干性和时间相干性 sF, uIr/  
附录E光的偏振 se"um5N-  
E.1自然光和偏振光 T=Ol`?5  
E.2偏振光与Jones矩陈 X$ejy/+.  
E.3偏振光的获得 xQ_:]\EZ  
E.4偏振光的检验 AIf[W">\  
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