现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 S6<#] 6Z  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 wBJ|%mc3TA  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 "/ySHB[  
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第一篇光学多层膜设计 ^-Rqlr,F;  
第1章光学薄膜特性的理论计算 {9FL}Jrt  
1.1单色平面电磁波 u+O"c  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 h[;DRD!Z  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ~3Za"q*0s  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 zE Ly1v\"  
习题 AyNpY_B0c  
第2章光学薄膜的设计理论 >`
l^ C  
2.1矢量作图法 'ka}x~
EF  
2.2有效界面法 `An p;el  
2.3对称膜系的等效层 / */"gz%  
2.4导纳图解技术 -Q/wW4dE=  
习题 ::_
bEmk  
第3章光学薄膜系统的设计 icQQLSU5  
3.1减反射膜 1gnLKfc  
3.2分束镜 d)3jkHYEjj  
3.3高反射膜 }KYOde@  
3.4干涉截止滤光片
gCF
9XKW  
3.5带通滤光片 bk1.H@8  
3.6特殊膜系 = c1>ja  
习题 5|7<ZL3  
参考文献 vQGv4  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 Q-B/SX)!/  
第4章薄膜制备技术 +4p=a [  
4.1真空淀积工艺 oWx^_wQ-=  
4.2光学薄膜材料 ;<*%BtD?  
4.3薄膜厚度监控艺术 HRyhq;C  
4.4膜层厚度的均匀性 Z&4L///  
习题 >X*G6p  
参考文献 E`.:V<KW/  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 IEd?-L  
5.1薄膜的形成过程 d+vAm3.Dg  
5.2薄膜的微观结构 K%W;-W*'  
5.3薄膜的成分 )H`V\H[0P  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 \=P(?!v  
5.5薄膜微观结构和改善 i8KoJY"  
习题 &^w"  
参考文献 ,xR u74  
第三篇光学薄膜检测技术 Y78DYbU.  
第6章薄膜透射率和反射率测量 $ce*W9`  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 _#Lq~02 %  
6.2薄膜反射率的测试 $=X>5B
 
6.3薄膜反射率的测量 @LFB}B  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 E3(o}O  
6.5总结 ?D,j!Hy  
习题 |#{ i7>2U  
参考文献 lD->1=z  
第7章薄膜的吸收和散射测量 orYZ<,u  
7.1激光量热计基本原理 S&.xgBR  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 |3~]XN-  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 `m
I5Z*]-  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 *2}f $8  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 u\MxQIo'u  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ,
6#%+u}f  
7.7总结 .LDp.#d9r1  
习题 c<lEFk!g
 
参考文献 e2BC2K0  
第8章薄膜光学常数的测量 ay||yn:  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 K<r5jb  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 2#00<t\  
8.3薄膜波导法 z,hBtq:-$  
8.4光学薄膜厚度的测试 Qg]A^{.1  
8.5总结 S>p0{:zM  
习题 sP}u zS  
参考文献 4\nGWi{2  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 \YFM5l;IU  
9.1薄膜的力学特性检测技术 LE)$_i8gX  
9.2薄膜器件的环境试验 I-1NZgv  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 +S+=lu _  
9.4总结 H:9G/N
ev  
习题 \{!,a  
参考文献 X$@qs9?)^  
附录 [clwmx  
附录A复数与复数运算 >4-9 @i0FV  
A.1复数的概念 : 2$*'{mM  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 /u_9uJ"-K(  
A.3复数在物理中的运用 4*9t:D|}  
附录B矩陈及矩陈运算 ?Bl/bY$*h  
B.1矩陈的定义 ?FUK_]  
B.2矩陈运算 ywkRH  
附录C光的电磁理论基础 {]Cn@.TPD  
C.1振动与波 BjsTHS&  
C.2电磁波 ,Vo[mB  
C.3麦克斯韦方程 I.(@#v7T  
C.4平面电磁波 TI<3>R  
C.5平面电磁波性质 ~t/i0pKq.  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 1c429&-  
附录D光的干涉 }%jpqip  
D.1波的叠加原理 Y"r728T`K  
D.2杨氏干涉 lN8l71N^  
D.3平板的表面干涉 Jw&Fox7p  
D.4光的空间相干性和时间相干性 r:g
_mMvB  
附录E光的偏振 'ey62-^r6  
E.1自然光和偏振光 ,FH1yJ;Y&  
E.2偏振光与Jones矩陈 }@ktAt  
E.3偏振光的获得 W}2!~ep!  
E.4偏振光的检验 u<N`;s  
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