现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 $0C/S5b  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 }AfPBfgC1z  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 M&T/vByTn_  
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第一篇光学多层膜设计 K?m:.ZM  
第1章光学薄膜特性的理论计算 TS8E9#1a  
1.1单色平面电磁波 dw}3B8]  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 5BO!K$6  
1.3光学薄膜特性的理论计算 2EcYO$R!  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ;xH'%W9z  
习题 aJ_Eh(cF  
第2章光学薄膜的设计理论 JNg5?V;.U  
2.1矢量作图法 VCtiZ4  
2.2有效界面法 ~:b~f]lO  
2.3对称膜系的等效层 TB[2!ZW  
2.4导纳图解技术 sO-R+G/^7  
习题 5j01Mx A  
第3章光学薄膜系统的设计 RtM.}wv;  
3.1减反射膜 ur[bh  
3.2分束镜 07Cuoqt2  
3.3高反射膜 sU!q~`; J  
3.4干涉截止滤光片 > V}NG  
3.5带通滤光片 k<hO9;#qpL  
3.6特殊膜系 _[tBLGXD  
习题 @Odu.F1e  
参考文献 s'=]a-l~  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 >c>ar>4xF  
第4章薄膜制备技术 Q>*K/%KD  
4.1真空淀积工艺 ,$[lOFs  
4.2光学薄膜材料 7+-}8&syu  
4.3薄膜厚度监控艺术 ebVfny$D  
4.4膜层厚度的均匀性 _)" 5 gv  
习题 iW$i%`>  
参考文献 ^Wz{su2  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Z|wDM^Lf  
5.1薄膜的形成过程 NVPYv#uK  
5.2薄膜的微观结构 w2V E_  
5.3薄膜的成分 
V1qHl5"  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 .}>[Kr  
5.5薄膜微观结构和改善 ]qRz!D%@^  
习题 &bx,6dX  
参考文献 HWZ*Htr  
第三篇光学薄膜检测技术 u8=|{)yL  
第6章薄膜透射率和反射率测量 h*%1Jkxu  
6.1光谱分析测试系统的基本原理
u%'22q$  
6.2薄膜反射率的测试 g8yZc}4
 
6.3薄膜反射率的测量 \bE~iz3b9  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 xGPv3TLH^  
6.5总结 xB[# a*  
习题 #2=30  
参考文献 h {btT  
第7章薄膜的吸收和散射测量 K)Ka"H  
7.1激光量热计基本原理 mL+ps x+  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 3Mt6iZW  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 }]@ "t)"  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 -fn~y1  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Iqv 5lo .  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 AU2Nmf?]%  
7.7总结 *i90[3l  
习题 ?~8V;Qn  
参考文献 W;W\L? r  
第8章薄膜光学常数的测量 T;7|d5][  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 pTd@i1%Nr  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ::w%rv  
8.3薄膜波导法 35et+9  
8.4光学薄膜厚度的测试 9m>_qWaA  
8.5总结 s3S73fNOk  
习题 fN;
y\!q5  
参考文献 :-n4!z"k  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ZN/")  
9.1薄膜的力学特性检测技术 IYPI5qCR  
9.2薄膜器件的环境试验 K[Kc'6G  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 |H49FL  
9.4总结 n"vI>_|G  
习题 aQuENsB  
参考文献 _1QNO#X  
附录 bcg)K`'N  
附录A复数与复数运算 JM0)x}]+  
A.1复数的概念 IAQ=d4V&  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ,;;~dfHm  
A.3复数在物理中的运用 pK%'S  
附录B矩陈及矩陈运算 [a2/`ywdV  
B.1矩陈的定义 H>?@nYP  
B.2矩陈运算 -lHJ\=  
附录C光的电磁理论基础 v?J2cL  
C.1振动与波 e%#f9i  
C.2电磁波 [ q}WS5Cp  
C.3麦克斯韦方程 )U?W+0[=  
C.4平面电磁波 8vCHH&`  
C.5平面电磁波性质 b $!l*r  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 G1BVI:A&S  
附录D光的干涉 wlJ_,wA  
D.1波的叠加原理 mvnK)R_  
D.2杨氏干涉 b`' ;`*AN+  
D.3平板的表面干涉 wP'`!O[W  
D.4光的空间相干性和时间相干性 YN^8s  
附录E光的偏振 p O.8>C%  
E.1自然光和偏振光 XT\;2etVL  
E.2偏振光与Jones矩陈 H}X"yLog*  
E.3偏振光的获得 6+>rf{5P7  
E.4偏振光的检验 ?hO*~w;UU|  
…… 6_7d1.wv9  
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