现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 jkvg
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光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 /g4f`$a  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 /Js7`r=Rx  

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第一篇光学多层膜设计 O &-wxJ]S  
第1章光学薄膜特性的理论计算 Nj 00W1  
1.1单色平面电磁波 S)/_muP  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 a.zpp'cEb  
1.3光学薄膜特性的理论计算 lMbAs.!  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 X<*U.=r)  
习题 _:VB}>  
第2章光学薄膜的设计理论 3F
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2.1矢量作图法 |*0<M(YXN  
2.2有效界面法 "%x<ttLl  
2.3对称膜系的等效层 y?q*WUh  
2.4导纳图解技术 0/oyf]HR  
习题 w/K_B:s  
第3章光学薄膜系统的设计 5hy""i  
3.1减反射膜 @Rw!'T  
3.2分束镜 ,YMp<C  
3.3高反射膜 `9b7>Nn<  
3.4干涉截止滤光片 lgtC|kM=  
3.5带通滤光片 s]JF0584  
3.6特殊膜系 qC?:*CXH  
习题 ~7Tc$ "I  
参考文献 ,c)uX#1  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 .uk>QMs1  
第4章薄膜制备技术 4tS.G  
4.1真空淀积工艺 =>! Y{: y(  
4.2光学薄膜材料 I}vmU^Y>  
4.3薄膜厚度监控艺术 1[vi.  
4.4膜层厚度的均匀性 v*[.a#1^  
习题 JC3m.)/  
参考文献 se>MQM5 )  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ;{%\9nS  
5.1薄膜的形成过程 :B:"NyPA  
5.2薄膜的微观结构 8UVmv=T  
5.3薄膜的成分 E0?iXSJ  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 %V ;?  
5.5薄膜微观结构和改善 o$Z6zmxO  
习题 gE?|_x#  
参考文献 d$Pab*  
第三篇光学薄膜检测技术 6 jn3`D  
第6章薄膜透射率和反射率测量 jWE:ek*  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 }dd8N5b  
6.2薄膜反射率的测试 ZXuv CI  
6.3薄膜反射率的测量 9*1,!%]  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 TBT:/Vfun  
6.5总结 9 o&`5  
习题 6gs01c,BA  
参考文献 t>$kWd{9e;  
第7章薄膜的吸收和散射测量 y;o^- O  
7.1激光量热计基本原理 SrK)t.oK  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 k>g_Z`%<  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 5w@4:$=I  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 SV~~Q_U9  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 0PrLuej
z  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 AQ[GO6$,%H  
7.7总结 !_cg\KU#  
习题 LpqO{#ZG  
参考文献 lH6OcD:kj  
第8章薄膜光学常数的测量 %Va!\#  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ^kB8F"X  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 F ;2w1S^  
8.3薄膜波导法 I\$X/t +dH  
8.4光学薄膜厚度的测试 #odIEC/  
8.5总结 n*{sTT  
习题 j+,d^!  
参考文献 "*srx]  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 K$E3QVa  
9.1薄膜的力学特性检测技术 %YC_Se7  
9.2薄膜器件的环境试验 l.NEkAYPmH  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Us0EG\Y  
9.4总结 PU^l.  
习题 $NZ-{dY{  
参考文献 ?I~()]k5  
附录 1NgCw\  
附录A复数与复数运算 |~vI3]}fx  
A.1复数的概念 1R1z  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 2-Ej4I~  
A.3复数在物理中的运用 k@
3Q|na  
附录B矩陈及矩陈运算 .G#8a1#  
B.1矩陈的定义 zPjHsulK  
B.2矩陈运算 R&BTA  
附录C光的电磁理论基础 9|gr0&#~j  
C.1振动与波 mSb#Nn6W  
C.2电磁波 A"G 1^8wvX  
C.3麦克斯韦方程 '
DL`Ee\  
C.4平面电磁波 f>UXD
 
C.5平面电磁波性质 ^!<BQP7  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ^5h]Y;tx  
附录D光的干涉 SfaQvs
tN  
D.1波的叠加原理 to DG7XN}  
D.2杨氏干涉 =06gj)8  
D.3平板的表面干涉 iA'lon  
D.4光的空间相干性和时间相干性 1]@}|  
附录E光的偏振 V`XNDNJ:  
E.1自然光和偏振光 ECrex>zr%  
E.2偏振光与Jones矩陈 eOs)_?}  
E.3偏振光的获得 yl7&5)b#9  
E.4偏振光的检验 8{^WY7.'  
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