现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 RJ@e5A6_  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 AFm*60C  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 TNPGw!  
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第一篇光学多层膜设计 8DS5<  
第1章光学薄膜特性的理论计算 n,Mw# r?y  
1.1单色平面电磁波 ?xTeio44  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 pYhI{  
1.3光学薄膜特性的理论计算 Bzy=@]`  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ]'ApOp  
习题 I{g2q B$6  
第2章光学薄膜的设计理论 sImxa`kb  
2.1矢量作图法 |xgCV@  
2.2有效界面法 QsF<=b~  
2.3对称膜系的等效层 /h.3<HI."*  
2.4导纳图解技术 fi4/@tV?$L  
习题 q}A3"$-F  
第3章光学薄膜系统的设计 }?qnwx.  
3.1减反射膜 ?>\]%$5o  
3.2分束镜 . ;@)5"  
3.3高反射膜 UUEDCtF)  
3.4干涉截止滤光片 fUWm7>6VA>  
3.5带通滤光片 #/v_h6$  
3.6特殊膜系 >93{=+  
习题 uy-Ncy  
参考文献 .W+4sax:  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 n]{}C.C=  
第4章薄膜制备技术 o-CJdOS  
4.1真空淀积工艺 2u;fT{(  
4.2光学薄膜材料 Vq7 kA "  
4.3薄膜厚度监控艺术 ? A#z~;X@  
4.4膜层厚度的均匀性 oJu4vGy0  
习题 %C][E^9  
参考文献 
x w83K  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 wkpVX*DfRE  
5.1薄膜的形成过程 U)%u`C
0  
5.2薄膜的微观结构 ~u`! Gi  
5.3薄膜的成分 !<PTsk F  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 qmyZbo|8&  
5.5薄膜微观结构和改善 ,H(vD,54g  
习题 `IRT w"  
参考文献 25
7;@;  
第三篇光学薄膜检测技术 g(r'Y#U  
第6章薄膜透射率和反射率测量 dZYJ(7%  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 VM|)\?Q  
6.2薄膜反射率的测试 z'K7J'(R  
6.3薄膜反射率的测量 1'pQ,  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ^[z\KmUqt  
6.5总结 %7wzGtM]ps  
习题 5.HztNL  
参考文献 8A]q!To  
第7章薄膜的吸收和散射测量 W",jZ"7  
7.1激光量热计基本原理 61wG:  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 iw;Alav"x  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量  !3M!p&  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 F7Yuky  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 cW/~4.v$  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 'u%;6'y  
7.7总结 L`@&0Zk  
习题 s"F,=]HQ!G  
参考文献 &|FG#.2yw  
第8章薄膜光学常数的测量 `CouP-g.  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 Y k6WSurw  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 h4xdE0  
8.3薄膜波导法 sh3}0u+  
8.4光学薄膜厚度的测试 }33Au-%*  
8.5总结 Ds5&5&af  
习题 8>+eG
z|  
参考文献 mYRR==iDL  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 B>L^XGq  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ky"7 ^  
9.2薄膜器件的环境试验 au~gJW-  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 yf>,oNIAg  
9.4总结 o%Q'<0d  
习题 r 24]2A  
参考文献 OVK(:{PwS  
附录 hrxASAfg6  
附录A复数与复数运算 ?I
r6*ZyY  
A.1复数的概念 r|$g((g  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 Y
Wd(xm"4  
A.3复数在物理中的运用 L)"w-
,zy  
附录B矩陈及矩陈运算 goWt!,&f  
B.1矩陈的定义 R dzIb-  
B.2矩陈运算 :P'5_YSi  
附录C光的电磁理论基础 cW>`Z:6{K  
C.1振动与波 SK2pOZN  
C.2电磁波 p{u}t!`!d  
C.3麦克斯韦方程 7P(:!ce4-  
C.4平面电磁波 P
kO(Y!  
C.5平面电磁波性质  KX@Fgs  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 _J`M>W)8  
附录D光的干涉 0(.C f.B~  
D.1波的叠加原理 v0pEN\  
D.2杨氏干涉 e=C,`&sz  
D.3平板的表面干涉 *V+fRN4 W  
D.4光的空间相干性和时间相干性 <CdO& xUY  
附录E光的偏振 Cq'r 'cBZ  
E.1自然光和偏振光 _z<q9:  
E.2偏振光与Jones矩陈 HKf3eC  
E.3偏振光的获得 aUQq<H'R  
E.4偏振光的检验 {rr\hl-$  
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