现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 P`Ku. ONQ  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 SEzjc ~@3  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 \^dse  
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第一篇光学多层膜设计 SQK82/  
第1章光学薄膜特性的理论计算 pIK:$eN!/  
1.1单色平面电磁波 *Ts$Hj[  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 \a;xJzc9  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ]m 3cm  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 Q<V1`e  
习题 8o|C43Q_  
第2章光学薄膜的设计理论 ZJ2 MbV.6  
2.1矢量作图法 dX1jn;7  
2.2有效界面法 T=-UcF  
2.3对称膜系的等效层 m\jjj^f a  
2.4导纳图解技术 ZXb{-b?[`  
习题 U'" #jT  
第3章光学薄膜系统的设计 D^%IFwU^  
3.1减反射膜 lJFy(^KQG,  
3.2分束镜 ^rq\kf*]  
3.3高反射膜 3h.,7,T  
3.4干涉截止滤光片 d6t
v4Cf  
3.5带通滤光片 |33t5}we  
3.6特殊膜系 L{jx'[C  
习题 B6IKD  
参考文献 .gC.T`/m  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 9Xg7=(#  
第4章薄膜制备技术 *l =f=  
4.1真空淀积工艺 k6(</uRj  
4.2光学薄膜材料 dYD;Z<l  
4.3薄膜厚度监控艺术 T$u
'+* Xx  
4.4膜层厚度的均匀性 dI%jR&.e;  
习题 $-UVN0=  
参考文献 084Us s  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 fNAW4I I}  
5.1薄膜的形成过程 %JSRC<,a  
5.2薄膜的微观结构 qZ[HILh!  
5.3薄膜的成分 /Q7q2Ne^*  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 di
u"Nt  
5.5薄膜微观结构和改善 4s:M}=]N  
习题 -V4{tIQY  
参考文献 Hm>cKPZ)  
第三篇光学薄膜检测技术 )N- '~<N  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ,|yscp8  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 [8Y7Q5Had  
6.2薄膜反射率的测试 |LC"1 k  
6.3薄膜反射率的测量 IYq#|^)5+  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 Fl($0}ER  
6.5总结 baG_7>Q9H  
习题 a"YVr'|  
参考文献 GO2q"a  
第7章薄膜的吸收和散射测量 <S7SH-{_\  
7.1激光量热计基本原理 WynTU?  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ?F]P=S:x  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 D1-w>Y#  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 bK#ZY  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 iB W:t  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 oh$"?N7n1  
7.7总结 '"7b;%EN'  
习题 3,v/zcV  
参考文献 E)m \KSwh  
第8章薄膜光学常数的测量 ?/MkH0[G=  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ~cp=B>*(  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 tgCp2`n  
8.3薄膜波导法 #FAW@6QG  
8.4光学薄膜厚度的测试 [I%
eRo[  
8.5总结 [Uq`B&F:  
习题 XQ[\K6X5  
参考文献 ] +%`WCr9  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 yw+]S  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ZGH 7_K  
9.2薄膜器件的环境试验 [>GblL  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 1WqCezI  
9.4总结 nT=%3_.
 
习题 %KO8i)n  
参考文献 a'Cny((
 
附录 |*J;X<Vm  
附录A复数与复数运算 N9d^;6;i  
A.1复数的概念 y_[VhZ%  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 <HJLs+C  
A.3复数在物理中的运用 ;8vB7|54.  
附录B矩陈及矩陈运算 "Y^Fn,c  
B.1矩陈的定义 ~2hzyEh  
B.2矩陈运算 7^rT-f07  
附录C光的电磁理论基础 sV5k@1Y  
C.1振动与波 \2El>>  
C.2电磁波 dbEXlm  
C.3麦克斯韦方程 EmUt/]  
C.4平面电磁波 E%E`\mFD  
C.5平面电磁波性质 7lF;(l^Z>}  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Kk=>"?&  
附录D光的干涉 I&15[:b=-  
D.1波的叠加原理 emJZ+:%  
D.2杨氏干涉
`R (N3  
D.3平板的表面干涉 +K'YVB U}  
D.4光的空间相干性和时间相干性 +ah4 K(+3  
附录E光的偏振 l8+1{6xP  
E.1自然光和偏振光 C<:wSS^@1  
E.2偏振光与Jones矩陈 ={o4lFe3v(  
E.3偏振光的获得 /-lW$.+{?  
E.4偏振光的检验 n@kJ1ee'  
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