现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 R2f,a*>  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 I,Y^_(JW  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 (&x\,19U$  
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第一篇光学多层膜设计 Bm>(m{sX>  
第1章光学薄膜特性的理论计算 D\~$6#B>>  
1.1单色平面电磁波 PEhLzZX+  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 Q#bo!]H{t  
1.3光学薄膜特性的理论计算 D)$k{v#~  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 / UBAQ8TR  
习题 SvJ8Kl OV  
第2章光学薄膜的设计理论 U.jMK{  
2.1矢量作图法 WuXRL}!\,  
2.2有效界面法 X2kL
be  
2.3对称膜系的等效层 z1A-EeT  
2.4导纳图解技术 {D
.0_=y~2  
习题 pMrfi}esx  
第3章光学薄膜系统的设计 $\H46Ji  
3.1减反射膜 'v)+S;oB  
3.2分束镜 v)pWx0l=  
3.3高反射膜 1#RA+d(  
3.4干涉截止滤光片 RtEkd_2  
3.5带通滤光片 ?E+XD'~  
3.6特殊膜系 'm((G4  
习题 ;:1mv
 
参考文献 cne[-E  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 YR#1[fe*_  
第4章薄膜制备技术 ~qxc!k!w4  
4.1真空淀积工艺 D4T+Gk"n  
4.2光学薄膜材料 7:<>#  
4.3薄膜厚度监控艺术 nJw1Sl5  
4.4膜层厚度的均匀性 g}h0J%s
 
习题 -p~B -,  
参考文献 AIo;\35  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 3P>@ :  
5.1薄膜的形成过程 zj4JWUM2  
5.2薄膜的微观结构 B-zt(HG  
5.3薄膜的成分 C*<LVW{P  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 '1*MiFxKq  
5.5薄膜微观结构和改善 sIM`Q%  
习题 QY!A[!6h  
参考文献 1Pc'wfj  
第三篇光学薄膜检测技术 }DwXs`M7  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Jl}7]cVq#  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ]t<%>Z$  
6.2薄膜反射率的测试
h@8  
6.3薄膜反射率的测量 9bvd1bKEW  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 :oQaN[3>_  
6.5总结 bZJ
iubBRI  
习题 5$w1[}UUd  
参考文献 3e:y?hpeL  
第7章薄膜的吸收和散射测量 b*7i&q'H  
7.1激光量热计基本原理 <9vkiEo  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 'ZZ/:MvQa  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 PVQ%y  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 \:S8mDI^s  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 MDt4KD+bZ  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 b8
7d'# .  
7.7总结 R/7l2*  
习题 co|0s+%PBq  
参考文献 kM@,^`&  
第8章薄膜光学常数的测量 0&@6NW&Mu  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 z'*>Tk8h  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 "tIx$?I  
8.3薄膜波导法 FeJ5^Gh.  
8.4光学薄膜厚度的测试 Adm`s .  
8.5总结 k2a^gCBC  
习题 0rj*SC_  
参考文献 JJr<cZ4]  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 XafyI*pOX  
9.1薄膜的力学特性检测技术 7;V5hul  
9.2薄膜器件的环境试验 uq_SF.a'v  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 /:)4tIV  
9.4总结 c@
P,  
习题 aJts  
参考文献 .j },  
附录 S3r\)5%;  
附录A复数与复数运算 qYs6PLC  
A.1复数的概念 TfOZ>uR"g  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 *9PQJeyR  
A.3复数在物理中的运用 {z7{ta  
附录B矩陈及矩陈运算 mCo5Gdt  
B.1矩陈的定义 +( d2hSIF  
B.2矩陈运算 WF]:?WE%
 
附录C光的电磁理论基础 6)8']f  
C.1振动与波 Q]HRg4r  
C.2电磁波 :>5]A6Wi  
C.3麦克斯韦方程 S;C3R5*:  
C.4平面电磁波 &N#)(rQ1  
C.5平面电磁波性质 }`X$ '  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 |cacMgly  
附录D光的干涉 7g$t$cZby,  
D.1波的叠加原理 TFhj]r^{  
D.2杨氏干涉 H0S7k`.  
D.3平板的表面干涉 BdTj0{S1
u  
D.4光的空间相干性和时间相干性 BsAglem  
附录E光的偏振 N=
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E.1自然光和偏振光 t%%I.zIV7  
E.2偏振光与Jones矩陈 5D#*lMSP"'  
E.3偏振光的获得 >3JOQ;:d8  
E.4偏振光的检验 ifkA3]  
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