《现代
光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术,由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术,包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术,涵盖真空设备、薄膜
材料、制备
参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观
结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科,涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。
a `R%\@1 光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程,涉及光在传播过程中,通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。
puC91 为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要,增加了一个附录,主要介绍几个数学物理基础理论。
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pE5v~~9Ikv v-1}&K 第一篇光学多层膜设计
4Z)s8sD KW 第1章光学薄膜特性的理论计算
#CC5+ 1.1单色平面电磁波
[;u#79aE 1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射
\vA*dQ- 1.3光学薄膜特性的理论计算
npdljLN 1.4光学多层膜内的电场强度分布
nuce(R 习题
W7S~~ 第2章光学薄膜的设计理论
T}#iXgyx 2.1矢量作图法
EwP2,$; 2.2有效界面法
$h#sb4ek 2.3对称膜系的等效层
T`&zQQ6F' 2.4导纳图解技术
n Nt28n@ 习题
<Riz!(G 第3章光学薄膜
系统的设计
2e`}O 3.1减反射膜
&`r/+B_W 3.2分束镜
-> cL) 3.3高反射膜
C96/ 3.4干涉截止滤光片
KF.{r 3.5带通滤光片
y\?ey'o 3.6特殊膜系
n4K!Wv&u 习题
HlGSt$woX 参考文献
R;< q<i_l 第二篇薄膜制备技术和微结构特性
Yuvi{ 0 第4章薄膜制备技术
X6Ha C+P 4.1真空淀积工艺
Su#0F0 4.2光学薄膜材料
]~TsmR[ 4.3薄膜厚度监控艺术
9d5$cV 4.4膜层厚度的均匀性
cQU/z"?+ 习题
^CkMk 1 参考文献
4 PK}lc 第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响
QaWS%0go 5.1薄膜的形成过程
XM$~HG 5.2薄膜的微观结构
)^j_O^T5 5.3薄膜的成分
z(|^fi( 5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响
`w@:h4f 5.5薄膜微观结构和改善
')m!48 习题
t<H"J__& 参考文献
K`4lL5oH 第三篇光学薄膜检测技术
?.~1%l ! 第6章薄膜透射率和反射率测量
Ln+l'&_nb 6.1光谱分析测试系统的基本
原理 B8@mL-Z-; 6.2薄膜反射率的测试
M(-)\~9T 6.3薄膜反射率的测量
Uj!3MF 6.4利用
激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗
fLDrit4_Q 6.5总结
|L2>|4 习题
'a~@q~! 参考文献
<FT7QO$I 第7章薄膜的吸收和散射测量
7({)ou x 7.1激光量热计基本原理
aacy5E 7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收
vm [lMx 7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量
=?i?-6M 7.4散射光的矢量理论和角分布测量
;4F6
$T'I 7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法
VvhfD2*T 7.6薄膜导波传播衰减系数法
,-UF5U 7.7总结
u?^V4 +V 习题
\6b~$\~B 参考文献
UK =ELvt] 第8章薄膜光学常数的测量
RT[p!xL 8.1从透射、反射
光谱确定薄膜的光学常数
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V 8.2其他薄膜的光学常数测试方法
=ZgueUz, 8.3薄膜波导法
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