现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 b:'8_jL  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 p>kny?AJ  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 (SQGl!Lai0  
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第一篇光学多层膜设计 Xs|d#WbX  
第1章光学薄膜特性的理论计算 :R +BC2x  
1.1单色平面电磁波 g]JRAM  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 @`+\v
mfD  
1.3光学薄膜特性的理论计算 [kpQ:'P3
 
1.4光学多层膜内的电场强度分布 *~4<CP+"0  
习题 M:(.aEe  
第2章光学薄膜的设计理论 /eU\B^k  
2.1矢量作图法 {>vgtkJ  
2.2有效界面法 ?7TmAll<.s  
2.3对称膜系的等效层 k%u fgHl!  
2.4导纳图解技术 uH?4d!G  
习题 ctHQZ#.[(  
第3章光学薄膜系统的设计 L4T\mP7D7*  
3.1减反射膜 = 03G~7B>  
3.2分束镜 1u5^a^O(|  
3.3高反射膜 nC !NZ  
3.4干涉截止滤光片 7p\&D?  
3.5带通滤光片 ^tSwAanP\  
3.6特殊膜系 -dF (_ %C  
习题 h4itXJy52B  
参考文献 (e~9T MY  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 "M+I$*]  
第4章薄膜制备技术 g18zo~LZ  
4.1真空淀积工艺 6AdUlPM  
4.2光学薄膜材料 )Ghw!m  
4.3薄膜厚度监控艺术 ,SIGfd  
4.4膜层厚度的均匀性 /=l!F'  
习题 "[k>pzl6  
参考文献 op2Zf?Bx{+  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 kG9aHWw  
5.1薄膜的形成过程 Vv5T(~  
5.2薄膜的微观结构 /&G|.Cx  
5.3薄膜的成分 LttA8hf5q?  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 6C<GYzzo  
5.5薄膜微观结构和改善 Y1>OhHuN  
习题 c;]^aaQ+>  
参考文献 b;*'j9ly  
第三篇光学薄膜检测技术 _<2{8>EVf  
第6章薄膜透射率和反射率测量 E}F-*go  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 TG8U=9qt  
6.2薄膜反射率的测试 gaNe\  
6.3薄膜反射率的测量
hT_Q_1,  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 S76MY&Vx23  
6.5总结 3?`TEw~'  
习题 :/6aBM?  
参考文献 X{i>Q_8>  
第7章薄膜的吸收和散射测量 'byTM?Sp{  
7.1激光量热计基本原理 R}3th/qf  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 =d<~
:!)  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 Ktt(l-e+  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 .X(qs1  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 K
hv}q.)F  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 C2zKt/)A  
7.7总结 M&q~e@P  
习题 xL<c/B`-:  
参考文献 F\&^(EL  
第8章薄膜光学常数的测量 ;gu4~LQw  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 FqGMHM\J  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ~#VDJ[Z  
8.3薄膜波导法 7@e}rh?N-|  
8.4光学薄膜厚度的测试 kef%5B  
8.5总结 z<^LY]  
习题 1 |)
CQ  
参考文献 tQxxm=>  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 %|:j=/_  
9.1薄膜的力学特性检测技术 kEAF1RP:  
9.2薄膜器件的环境试验 wL]#]DiE  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 ~Al3Dv9x  
9.4总结 5A5t
 
习题 8yDsl  
参考文献 Hd7Vp:KM  
附录 T%Cj#J&L  
附录A复数与复数运算 ?UIW&*h}  
A.1复数的概念 8'qlg|{!~  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 9&Y|,&W  
A.3复数在物理中的运用 Z-_Xt^N  
附录B矩陈及矩陈运算 =;Co0Q`  
B.1矩陈的定义 UA]T7r@  
B.2矩陈运算 Pf?&ys6  
附录C光的电磁理论基础 (|<+yQ,@>  
C.1振动与波 ypemp=+(r  
C.2电磁波 p/7'r  
C.3麦克斯韦方程 +eKL
wM  
C.4平面电磁波 qkp0'f*}  
C.5平面电磁波性质 =(P$P  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 umAO&S.+M  
附录D光的干涉 {]0T  
D.1波的叠加原理 ySDo(EI4  
D.2杨氏干涉 p15dbr1  
D.3平板的表面干涉 m]Qs BK  
D.4光的空间相干性和时间相干性 Ly2!(,FB.  
附录E光的偏振 WD[jEWMV7D  
E.1自然光和偏振光 m
MWhUr  
E.2偏振光与Jones矩陈 }y J,&N'p  
E.3偏振光的获得 SdMLO6-  
E.4偏振光的检验 6CGk*s  
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