现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 Q7W>qe%4  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 bV,}Pp+/"!  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 8#vc(04(  
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第一篇光学多层膜设计 ~6p[El#tS  
第1章光学薄膜特性的理论计算 jy'13G/
b\  
1.1单色平面电磁波 IIbYfPiO  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 YpqrZWvh  
1.3光学薄膜特性的理论计算 wii
Cd  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 <>Hj ;q5p  
习题 ~
0M'7q'  
第2章光学薄膜的设计理论 ~c\e'&sc;  
2.1矢量作图法 X7rMeu  
2.2有效界面法 Hro-d1J7  
2.3对称膜系的等效层 6Oy$gW)  
2.4导纳图解技术 aTt12Sc  
习题 I"GB<oB  
第3章光学薄膜系统的设计 9g<7i  
3.1减反射膜 x9JD\vZ  
3.2分束镜 T:; 2  
3.3高反射膜 D|{jR~J)xK  
3.4干涉截止滤光片 >Z5gSs0  
3.5带通滤光片 <[-nF"Q  
3.6特殊膜系 bD?VU<)
3  
习题 1u:< 25  
参考文献 >G%o,9i  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 cI4K+  
第4章薄膜制备技术 \ZkA>oO".  
4.1真空淀积工艺 BBev<  
4.2光学薄膜材料 maNl^i
 
4.3薄膜厚度监控艺术 1]p ZrBh"E  
4.4膜层厚度的均匀性 aJ>65RJ^=  
习题 sr{a(4*\  
参考文献 /#)/;  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 $6
9oV:  
5.1薄膜的形成过程 ax<?GjpM  
5.2薄膜的微观结构 ATK_DEAu  
5.3薄膜的成分 p"KFJ  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 :s7m4!E
F  
5.5薄膜微观结构和改善 :0Rx#%u}#  
习题 6|PrX L&  
参考文献 0"pAN[=K@  
第三篇光学薄膜检测技术 GJ_7h_4  
第6章薄膜透射率和反射率测量 6V7B;tB  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 q-}Fvel u  
6.2薄膜反射率的测试 Tu).K.p:  
6.3薄膜反射率的测量 5?]hd*8  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 24z< gO  
6.5总结 75XJL;W #  
习题 ']2E {V  
参考文献 Gz,i~XX  
第7章薄膜的吸收和散射测量 xe^Gs]fm  
7.1激光量热计基本原理 7+\+DujE$  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ~?K~L~f5  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 e,W%uH>X  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 OCBgR4I  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 n(;|q&3  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 SAy=WV  
7.7总结 EK6:~  
习题 P\1L7%*lU  
参考文献 wk5s
)%V  
第8章薄膜光学常数的测量 Brf5dT49  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 (>n
GQS]H  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 n>BkTaI  
8.3薄膜波导法 `erV$( M  
8.4光学薄膜厚度的测试 jI
C_[  
8.5总结 [XEkz#{  
习题 ~?dNd  
参考文献 ,(EO'T[  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 n*[XR`r}  
9.1薄膜的力学特性检测技术 DtXrWS/
 
9.2薄膜器件的环境试验 |)(VsVG&  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 
/_I]H  
9.4总结 Rwz0poG`WG  
习题 CDQW !XHc  
参考文献 f4 P8Oz  
附录 ;f#v0W`5  
附录A复数与复数运算 ~*z% e*EL  
A.1复数的概念 4T|b Cs?e  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 v0z5j6)-1  
A.3复数在物理中的运用 6-$jkto  
附录B矩陈及矩陈运算 2$+bJJM  
B.1矩陈的定义 ,,%i;  
B.2矩陈运算 {.C!i{|  
附录C光的电磁理论基础 O}-jCW;K  
C.1振动与波 /:~\5}tW  
C.2电磁波 B+\3-q  
C.3麦克斯韦方程 IzikDc10  
C.4平面电磁波 *>7>g"  
C.5平面电磁波性质
8']M^|1  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 >3_jWFq  
附录D光的干涉 P
g,b-W?n*  
D.1波的叠加原理 oHd FMD@  
D.2杨氏干涉 I&}L*Z?`  
D.3平板的表面干涉 V58wU:li  
D.4光的空间相干性和时间相干性 Mm.
<r-b  
附录E光的偏振 x@P y>f2  
E.1自然光和偏振光 Ugu[|,  
E.2偏振光与Jones矩陈 y{ibO}s  
E.3偏振光的获得 !h"Kq>9T  
E.4偏振光的检验 Rdvk ml@@  
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