现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 "5ah{,  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 RG#  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 J'Gn M?M  
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第一篇光学多层膜设计 ogDyrY}]  
第1章光学薄膜特性的理论计算 GfPe0&h  
1.1单色平面电磁波 !f]F'h8  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 44($a9oa2  
1.3光学薄膜特性的理论计算 Vg&`f  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 l% K9K
e  
习题 cfa#a!Y4  
第2章光学薄膜的设计理论 NuW9.6$Jrf  
2.1矢量作图法 ;sCX_`t0E  
2.2有效界面法 2t/ba3Rfk  
2.3对称膜系的等效层 .K;*uq:0  
2.4导纳图解技术 P[aB}<1f0  
习题 1,9RfYV  
第3章光学薄膜系统的设计 <fWho%eOK  
3.1减反射膜 %\Ig{Rj;  
3.2分束镜 D("['`{  
3.3高反射膜 XOVZ'V  
3.4干涉截止滤光片 "kVN|Do  
3.5带通滤光片 5qR76iH)/  
3.6特殊膜系 Z9 }qds6 y  
习题 =}u;>[3  
参考文献 }a-i
kFQ]  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 I)O%D3wfMW  
第4章薄膜制备技术 IcI y
  
4.1真空淀积工艺 v #IC  
4.2光学薄膜材料 }DY^a'wJ-  
4.3薄膜厚度监控艺术 el5F>)  
4.4膜层厚度的均匀性 9F ).i  
习题 OA&NWAm4  
参考文献 Cf2rRH  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Nbuaw[[iz  
5.1薄膜的形成过程 UFC.!t-Z  
5.2薄膜的微观结构 &%C4rAd2  
5.3薄膜的成分 >c8zMd  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ^7~=+0cF]  
5.5薄膜微观结构和改善 JxNjyw  
习题 Xl@nv9m  
参考文献 ?(;ygjyx  
第三篇光学薄膜检测技术 eW0:&*.vMj  
第6章薄膜透射率和反射率测量 nU||Jg  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 jQ1~B1(  
6.2薄膜反射率的测试 %[Ia#0'Y@  
6.3薄膜反射率的测量 MoO jM&9  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 LHR%dt|M  
6.5总结 /,$6`V  
习题 ^5QSV\X  
参考文献 ]'DtuT?Z  
第7章薄膜的吸收和散射测量 pG:FDlR~  
7.1激光量热计基本原理 I^0bEwqZ~  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 bXC;6xZV  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 {- 7T\mj  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 RR*z3i`PP  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 'R,1Jmx
  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 v
=iz*2+X  
7.7总结 n[AJ'A{  
习题 AbcmI*y  
参考文献 DyYl97+Z?  
第8章薄膜光学常数的测量 <b{Le{QJ*  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 }NiJDs  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 71w  
8.3薄膜波导法 T[~ak"M  
8.4光学薄膜厚度的测试 2Q-kD?PO,  
8.5总结 G{YJ(6etZ  
习题 z^ KrR
 
参考文献 _+.z2} M  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 :X,1KR  
9.1薄膜的力学特性检测技术 X];a(7+2  
9.2薄膜器件的环境试验 d+ql@e]  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 po\QMe  
9.4总结 htkn#s~=  
习题 `cMa Fc-y/  
参考文献 %~}9#0h)  
附录 }V6}>!Sb  
附录A复数与复数运算 .lOEQLt  
A.1复数的概念 3#^xxEu  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 & i)p^AmM  
A.3复数在物理中的运用 -8#Of)W  
附录B矩陈及矩陈运算 Y]^[|e8  
B.1矩陈的定义 +Y'(,J  
B.2矩陈运算 ;,'eO i  
附录C光的电磁理论基础 QU8?/  
C.1振动与波 CdC&y}u  
C.2电磁波 &AoXv`l4
 
C.3麦克斯韦方程 
zG+oZ  
C.4平面电磁波 0 \
&4?  
C.5平面电磁波性质 ft?J|AG  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ^W3xw[{  
附录D光的干涉 s)8g
4Yc*  
D.1波的叠加原理 _u]Wr%D@  
D.2杨氏干涉 {CYFM[V  
D.3平板的表面干涉 l2X'4_d  
D.4光的空间相干性和时间相干性 87r#;ND  
附录E光的偏振 `:R8~>p  
E.1自然光和偏振光 $
[0  
E.2偏振光与Jones矩陈 v>;6pcp[F  
E.3偏振光的获得 ko=v
K%E[  
E.4偏振光的检验 6psK2d
0  
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