现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 |D %m>M6  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 d;3/Vr$t=  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ccc*"_45#  

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第一篇光学多层膜设计 W=fw*ro  
第1章光学薄膜特性的理论计算 b]'Uv8fbF  
1.1单色平面电磁波 uES|jU{]b  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 U{vt9t  
1.3光学薄膜特性的理论计算 0j^QY6  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 8E:8iNbF  
习题 Zl69d4vG  
第2章光学薄膜的设计理论 I%]~]a  
2.1矢量作图法 R36BvW0X  
2.2有效界面法 ~C1lbn b  
2.3对称膜系的等效层 *C81DQ  
2.4导纳图解技术 Y40`~  
习题 =.=4P~T&  
第3章光学薄膜系统的设计 "@1e0`n Q  
3.1减反射膜 39p&M"Yo  
3.2分束镜 #-xsAKi  
3.3高反射膜
DQ'=$z  
3.4干涉截止滤光片 t$NK{Mw5_  
3.5带通滤光片 p^|IN'lx,  
3.6特殊膜系 Mu,}?%  
习题 hk =nXv2M  
参考文献 
F?UI8  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 e6E{l  
第4章薄膜制备技术 6w3z&5DY|  
4.1真空淀积工艺 ;JM%O8  
4.2光学薄膜材料 W(h].'N  
4.3薄膜厚度监控艺术 UF3g]>*  
4.4膜层厚度的均匀性 00Tm]mMQX  
习题 3/rEXKS  
参考文献 @>Y.s6a  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 !c}?u_Z/  
5.1薄膜的形成过程 4e6x1`Y{xB  
5.2薄膜的微观结构 td*1  
5.3薄膜的成分 0E*q-$P  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 X$aN:!1  
5.5薄膜微观结构和改善 !S0$W?*  
习题 PtH>I,/  
参考文献 K(&I8vAp  
第三篇光学薄膜检测技术 2YT1]x 3  
第6章薄膜透射率和反射率测量 x*
]&Ca0+  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 z+ch-L^K4  
6.2薄膜反射率的测试 =:)p\{
B  
6.3薄膜反射率的测量 !i>&z?  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 `/W6,]  
6.5总结 ;WydXQ}Q^  
习题 q"Ct=d  
参考文献 Yp*Dd}n`  
第7章薄膜的吸收和散射测量 :{:R5d(_I  
7.1激光量热计基本原理 %N jRD|  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 s"hSn_m  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 q1rBSlzN  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 G~z=,72  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 MIV<"A  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ?8ZOiY(  
7.7总结 g+g0iS  
习题 1~J:hjKQ  
参考文献 O!uZykdX4!  
第8章薄膜光学常数的测量 S511}KPbm/  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 Gi=sJV  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 T;7=05k<_  
8.3薄膜波导法 5Q)hl.<{o7  
8.4光学薄膜厚度的测试 (R'GrN>  
8.5总结 vy:-a G  
习题 ]2:w?+
T  
参考文献 XH^X4W  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ,iUWLcOM  
9.1薄膜的力学特性检测技术 '?j[hhfB-  
9.2薄膜器件的环境试验 g
u~JB  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Ge'[AhA  
9.4总结 i5PZ)&  
习题 QcW6o,  
参考文献 w
Sy|h*a,  
附录 p(B
^](?  
附录A复数与复数运算 xqZZ(jZ  
A.1复数的概念 eo#2n8I>=1  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 XZh1/b^DMN  
A.3复数在物理中的运用 )$EmKOTt:  
附录B矩陈及矩陈运算 5|nT5oS  
B.1矩陈的定义 |M8FMH[_  
B.2矩陈运算 rI'kGqU  
附录C光的电磁理论基础 |:H 9#=  
C.1振动与波 UyFvj4SU  
C.2电磁波 y cT@D/  
C.3麦克斯韦方程 O V"5:){  
C.4平面电磁波 3I"xuKxc  
C.5平面电磁波性质 [9<c;&$LU  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Q1Jw7R#?l  
附录D光的干涉 ''P
u  
D.1波的叠加原理 G+_Q7-o&d6  
D.2杨氏干涉 V4["+Y  
D.3平板的表面干涉 [:hTwBRF  
D.4光的空间相干性和时间相干性 Ihn#GzM?u  
附录E光的偏振 "c9T4=]&t  
E.1自然光和偏振光 }s@ i  
E.2偏振光与Jones矩陈 >'eY/>n{  
E.3偏振光的获得 {wp~  
E.4偏振光的检验 5WlBec@  
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