现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 r=<1*u  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 0r]-Ltvl?}  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 2D4c|R@+  

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第一篇光学多层膜设计 __[bKd.  
第1章光学薄膜特性的理论计算 a<P?4tbF  
1.1单色平面电磁波 N
UX$)c  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 9a]h;r8,9z  
1.3光学薄膜特性的理论计算 'S6JpWG1  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 u>[hLXuB  
习题 S(G&{KG  
第2章光学薄膜的设计理论 B0,C!??5  
2.1矢量作图法 lSBu,UQP  
2.2有效界面法 |]]Rp  
2.3对称膜系的等效层 2E@g#:3  
2.4导纳图解技术 %QQJSake|  
习题 +7j7zpw  
第3章光学薄膜系统的设计 OD).kP}s^  
3.1减反射膜 LNF|mS\+D  
3.2分束镜 lD,;xuQ  
3.3高反射膜 6d;RtCENo  
3.4干涉截止滤光片 'y|p)r"  
3.5带通滤光片 ,b74m  
3.6特殊膜系 B4w/cIj_  
习题 -8z@FLUK-  
参考文献 PF0AU T  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 sNsWz.DLT#  
第4章薄膜制备技术 D}nIF7r2N  
4.1真空淀积工艺 j
~#v*qmDU  
4.2光学薄膜材料 Wn5xX5H C  
4.3薄膜厚度监控艺术 6gB;m$:fV  
4.4膜层厚度的均匀性 #=czqZw  
习题 sH :_sOV*  
参考文献 t ]P^6jw'  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 1!
A'mkk8  
5.1薄膜的形成过程 f# sDG  
5.2薄膜的微观结构 0134mw%jk  
5.3薄膜的成分 /8LTM|(  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 'J_6SD  
5.5薄膜微观结构和改善 #F ;@Qi3z  
习题 1.z]/cx<y  
参考文献 o| 9Mj71  
第三篇光学薄膜检测技术 htOVt\+!34  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Dj'+,{7,u  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 r^;1Sm  
6.2薄膜反射率的测试 Pk)H(,  
6.3薄膜反射率的测量 zUz j F  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 {3K`yDF  
6.5总结 $uYfy<  
习题 5`{u! QE  
参考文献 oZw#]Q@  
第7章薄膜的吸收和散射测量 (RI+4V1  
7.1激光量热计基本原理 U] av{}U  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 DUvF  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 6kdcFcV-]  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 5k`Df/  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ZW`wA2R0   
7.6薄膜导波传播衰减系数法 Z6_fI  
7.7总结 M+Eg{^ q`  
习题 H*h4D+Kxv  
参考文献 mZ#h p}\.  
第8章薄膜光学常数的测量 O.$O
LK;v  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 W|V9:A  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 @hOT< Uo  
8.3薄膜波导法 Q =4~uz|  
8.4光学薄膜厚度的测试 =4L
yE6  
8.5总结 JjnWv7W3$  
习题 a5uBQ?  
参考文献 SVqKG+{My  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 N`NW*~  
9.1薄膜的力学特性检测技术 uX~YDy  
9.2薄膜器件的环境试验 *m:'~\[u  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 yrFl,/8&G  
9.4总结 $B?IE#7S4  
习题 m" c6^)U  
参考文献 @_Es|(4  
附录 UiH5iZ<r;  
附录A复数与复数运算 I$JyAj  
A.1复数的概念 TS@U0Ror  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 -k,?cEjCs  
A.3复数在物理中的运用 F tay8m@f  
附录B矩陈及矩陈运算 %(izKJl q  
B.1矩陈的定义 ivJTE  
B.2矩陈运算 +"JQ5~7  
附录C光的电磁理论基础 30Udba+{]p  
C.1振动与波 o~ReeZ7)Zg  
C.2电磁波 c->?'h23)  
C.3麦克斯韦方程 IZ9* '0Z  
C.4平面电磁波 `l+9g"q  
C.5平面电磁波性质 bipA{VU  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 =7Sw29u<  
附录D光的干涉 "rR$2`v"  
D.1波的叠加原理 XrN]}S$N  
D.2杨氏干涉 gv/yfiA?  
D.3平板的表面干涉
N3@gvS  
D.4光的空间相干性和时间相干性 !s47A"O&B  
附录E光的偏振 ad`=A V]  
E.1自然光和偏振光 YbP}d&L  
E.2偏振光与Jones矩陈
06>+loBG  
E.3偏振光的获得 HC(o;,spO  
E.4偏振光的检验 drh,=M\F  
…… e)A{ {wD/  
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