现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 +A^|aQ  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 n)Cr<^j  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 <2]D3,.g.  

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第一篇光学多层膜设计 'ey62-^r6  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ,FH1yJ;Y&  
1.1单色平面电磁波 ](8F]J ,  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 L|:C
Q  
1.3光学薄膜特性的理论计算 RLL%l  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 /3tErc'  
习题 _Gaem"k|  
第2章光学薄膜的设计理论 H?a $o(  
2.1矢量作图法 Ewq@>$_!  
2.2有效界面法 HZ}Igw.Z  
2.3对称膜系的等效层 r>i95u82'  
2.4导纳图解技术 I{WP:]"Yf  
习题 Iz'Et'w8!  
第3章光学薄膜系统的设计 XGbpH<
 
3.1减反射膜 o1?-+P/  
3.2分束镜 ?*yB&(a:8  
3.3高反射膜 7:Rt) EE2  
3.4干涉截止滤光片 C984Ee  
3.5带通滤光片 Rg\4#9S JF  
3.6特殊膜系 ~e]B[>PT  
习题 pwS"BTZ  
参考文献 5GgH6  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 GoAh{=s  
第4章薄膜制备技术 *]h"J]  
4.1真空淀积工艺 `?WN*__["  
4.2光学薄膜材料 `Mbs6AJ  
4.3薄膜厚度监控艺术
d!}oS<6  
4.4膜层厚度的均匀性 Jc}6kFgO6  
习题 /{jt]8/;7  
参考文献 :8@eon}  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 &7>]# *  
5.1薄膜的形成过程 Yb_HvP  
5.2薄膜的微观结构 h(~/JW[  
5.3薄膜的成分 Skr0WQ  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 {X{S[(|  
5.5薄膜微观结构和改善 CDXN%~0h  
习题 XksI.]tfj  
参考文献 }o7-3!{L!  
第三篇光学薄膜检测技术 izGU&VeB  
第6章薄膜透射率和反射率测量 _G@Zn[v  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 L(u@%.S  
6.2薄膜反射率的测试 }7b{ZbDI  
6.3薄膜反射率的测量 3!/J!X3L  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 oYA"8ei=  
6.5总结 89GW!  
习题 &!O?h/&X3  
参考文献 1#7|au%:)  
第7章薄膜的吸收和散射测量 WAR!#E#J7  
7.1激光量热计基本原理 mAGD qz>f  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 X=Ar"Dx}}s  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 DNqV]N_W  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 5mpql[v3P  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 DEhR\
Z!  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 %e0X-tXcmX  
7.7总结 UR=s=G|  
习题 ';8 ,RTe  
参考文献 W94u7a  
第8章薄膜光学常数的测量 +;,J0,Yn  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 eq8faC5  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 bma.RCyY<  
8.3薄膜波导法 ]3,  
8.4光学薄膜厚度的测试 -!qjBK,`X  
8.5总结 u9~Ncz  
习题 F%&lM[N%  
参考文献 @NL<v-t  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 <T)0I1S  
9.1薄膜的力学特性检测技术 4g2`[<S  
9.2薄膜器件的环境试验 Mt`LOdiC_  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 qLb~^'<iD  
9.4总结 |Z2_
W/  
习题 z;e@m2.IM  
参考文献 cZF|oZ6<  
附录 eFS$;3FP1  
附录A复数与复数运算 sb3z8:r  
A.1复数的概念 yHC[8l8%  
A.2复数的三角函数及指数表示方法
7t#Q8u?  
A.3复数在物理中的运用 (G} }h  
附录B矩陈及矩陈运算 T+EwC)Ll  
B.1矩陈的定义 &=M4Z/Ao  
B.2矩陈运算 &Z!y>k%6
 
附录C光的电磁理论基础 mbX'*up  
C.1振动与波 \),f?f-m  
C.2电磁波 dMsS OP0E  
C.3麦克斯韦方程 iHc(e(CB<  
C.4平面电磁波 }:{ @nP  
C.5平面电磁波性质 >@cBDS<6R  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 p^q/u  
附录D光的干涉 }Rh%bf7,  
D.1波的叠加原理 CMbID1M3  
D.2杨氏干涉 st)v'ce,  
D.3平板的表面干涉 OgQ8yKfDB  
D.4光的空间相干性和时间相干性 6'e^np  
附录E光的偏振 -zJV(`  
E.1自然光和偏振光 *q,nALs  
E.2偏振光与Jones矩陈 g@s`PBF7`  
E.3偏振光的获得 D*VO;?D  
E.4偏振光的检验 8EdaqF  
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