现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 D>
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光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 %tC[q   
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ,?IXfJ`c  

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第一篇光学多层膜设计 @<X[,Mj  
第1章光学薄膜特性的理论计算 o|c&$)m  
1.1单色平面电磁波 -o~n06p  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ZX.,<vumSy  
1.3光学薄膜特性的理论计算 z@?y(E  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 'HCRi Z<  
习题 )OucJQ  
第2章光学薄膜的设计理论 m7RyFnR2  
2.1矢量作图法 cKOXsdH?SL  
2.2有效界面法 6}0_o[23  
2.3对称膜系的等效层 kmo#jITa`  
2.4导纳图解技术 (Q ^=^s|  
习题 ?I:_FT  
第3章光学薄膜系统的设计 .6y*Z+Zg  
3.1减反射膜 z4` :n.  
3.2分束镜 g\?07@Zd|  
3.3高反射膜 g>eWX*Pa|  
3.4干涉截止滤光片 $}5M`p\&C  
3.5带通滤光片 xDSiTp=)O  
3.6特殊膜系 $uUyp8F  
习题 E[=&6T4  
参考文献 Xc^(e?L4  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 U3v~R4  
第4章薄膜制备技术 "LW\osjen  
4.1真空淀积工艺 TiZ MY:^  
4.2光学薄膜材料 6 OvH"/X4  
4.3薄膜厚度监控艺术 ZCb@!V}=  
4.4膜层厚度的均匀性 Ol<LL#<j4  
习题 'O9Yu{M  
参考文献 {{[@ X  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 h.Sbds  
5.1薄膜的形成过程 \$t{K  
5.2薄膜的微观结构 u`oJ3mS;  
5.3薄膜的成分 q$IU!I4  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 NNTrH\SU#  
5.5薄膜微观结构和改善 u:J4Az^!  
习题 ^h#A7 g  
参考文献 cIkA ~F  
第三篇光学薄膜检测技术 (Ia
:>ocE0  
第6章薄膜透射率和反射率测量 pCa~:q
*85  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 9ao?\]&t  
6.2薄膜反射率的测试 ~x_(v,NW  
6.3薄膜反射率的测量 E5c)\ D  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 }g%&}`%'  
6.5总结 9o6qN1A0g  
习题 XRyeEwA;pp  
参考文献 KBI1t$  
第7章薄膜的吸收和散射测量 %?qzP'  
7.1激光量热计基本原理 W=|'&UU Ul  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 QV*la=j/  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 CU
jRz5L  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ,'l.u?SKyd  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 U~c9PqjZ  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 L]BTX]  
7.7总结 !y!s/i&P%  
习题 -~lrv#5Q  
参考文献 _n4`mL8>kH  
第8章薄膜光学常数的测量 !ueh%V Ky  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 =FFs8&PKys  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 V2tA!II-s  
8.3薄膜波导法 4xFAFK~lx
 
8.4光学薄膜厚度的测试 c]z^(:_>  
8.5总结 wJvk  
习题 @e7_&EGR?  
参考文献 R\$6_  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 HJ!)&xT  
9.1薄膜的力学特性检测技术 I9U 8@e!X  
9.2薄膜器件的环境试验 dPgA~~  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 gK dNgU  
9.4总结 Gt!Hm(  
习题 =Q|s[F  
参考文献 i@<w"yNd_  
附录 W>P:EI1  
附录A复数与复数运算 pBQ[lPCY/  
A.1复数的概念 k<"N^+GSz  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 xu;^F  
A.3复数在物理中的运用 ~n/:a  
附录B矩陈及矩陈运算 (ijO|%?  
B.1矩陈的定义 y92<(ziaX)  
B.2矩陈运算 u/\
Ipk/  
附录C光的电磁理论基础 g)MLgjj  
C.1振动与波 /`O'eH  
C.2电磁波 j{zVVT  
C.3麦克斯韦方程 Vr&v:8:wb  
C.4平面电磁波 =)]RD%Oq  
C.5平面电磁波性质 -OfAl~ 4  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 O9{A)b!HB  
附录D光的干涉 !W=2ZlzS
 
D.1波的叠加原理 Me;Nn$'%  
D.2杨氏干涉 ab6D&  
D.3平板的表面干涉 2b:I.  
D.4光的空间相干性和时间相干性 mj y+_  
附录E光的偏振 wo^1%:@/2  
E.1自然光和偏振光 QkO4Td<  
E.2偏振光与Jones矩陈 fAvB!e  
E.3偏振光的获得 23q2u6.F`  
E.4偏振光的检验 L+)mZb&  
…… +6Vu]96=KC  
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