现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 /M c"K  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 V\8 5  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 X{5DPhB,  
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第一篇光学多层膜设计 kEDZqUD  
第1章光学薄膜特性的理论计算 xb_:9  
1.1单色平面电磁波 . zMM86c  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 QX3![;0F  
1.3光学薄膜特性的理论计算 Kt7x'5  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 &x5ZEe4  
习题 s3%8W==rBW  
第2章光学薄膜的设计理论 `lOoT  
2.1矢量作图法 V zx(J)  
2.2有效界面法 &H>dE]Hq,  
2.3对称膜系的等效层 cf3c+.o  
2.4导纳图解技术 { qx,X.5$  
习题 'GoeVq  
第3章光学薄膜系统的设计 FDC{8e  
3.1减反射膜 -k{R<L  
3.2分束镜 6KTY`'I  
3.3高反射膜 2^lT!X@  
3.4干涉截止滤光片 />7/S^  
3.5带通滤光片 .T
X& X  
3.6特殊膜系 4V3 w$:,  
习题 6-YR'ikU  
参考文献 1qN9bwRO  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 T+"y8#:  
第4章薄膜制备技术 T#f@8 -XUE  
4.1真空淀积工艺 mR@X
t#  
4.2光学薄膜材料 ><7`$2Or  
4.3薄膜厚度监控艺术 J8DbAB4X  
4.4膜层厚度的均匀性 K
n\(Xd.>  
习题 J>PV{N  
参考文献 *s4!;2ZhsU  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Br!&Y9  
5.1薄膜的形成过程 }w8AnaC  
5.2薄膜的微观结构 zPc;[uHT  
5.3薄膜的成分 7y7y<`)I5  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 }d]8fHG  
5.5薄膜微观结构和改善 3%a37/|~y  
习题 Zi)8KO[/0  
参考文献 m(P)oqwM  
第三篇光学薄膜检测技术 0-HE, lv  
第6章薄膜透射率和反射率测量 v[ '5X  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 #|i{#~gxM  
6.2薄膜反射率的测试 #OTsD+2Za=  
6.3薄膜反射率的测量 h)`vc#"65k  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 #4u; `j"4=  
6.5总结 *p!dd?
8  
习题 \ChcJth@o<  
参考文献 ge8zh/`  
第7章薄膜的吸收和散射测量 NR@Tj]`k  
7.1激光量热计基本原理 [40 YoVlfM  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 TI
 
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 b1o(CG(}*  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 k 'b|#c9c  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 !:e qPpz  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 6vA5;a@  
7.7总结 NBYE#Uih  
习题 /B7 GH5  
参考文献 RGLqn{<V  
第8章薄膜光学常数的测量 #!Fs
[A5%  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 N-]n>E  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 |L&V-f&K  
8.3薄膜波导法 [_-K  
8.4光学薄膜厚度的测试 K_}acU  
8.5总结 P|U>(9;P,  
习题 ')V5hKb^  
参考文献 +pm8;&  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 w>s  
9.1薄膜的力学特性检测技术 rl=_ "sd=  
9.2薄膜器件的环境试验 s qKkTG3  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 4+gA/<  
9.4总结  &i!]  
习题 c`QsKwa  
参考文献 y;jyfc$ `  
附录 8<xy*=%  
附录A复数与复数运算 f7s.\  
A.1复数的概念 Vi_|m?E  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 @Q!
j7I  
A.3复数在物理中的运用 \m!."~%  
附录B矩陈及矩陈运算 "/"k50%  
B.1矩陈的定义 5EUkp6Y  
B.2矩陈运算 AF-.Nwp  
附录C光的电磁理论基础 [PT_y3'%  
C.1振动与波 O.dNhd$  
C.2电磁波 KWo)}m*6  
C.3麦克斯韦方程 4`F*] Ft  
C.4平面电磁波 8Bvjj|~ (@  
C.5平面电磁波性质 `L>'9rbZO  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 9P$'ON'"  
附录D光的干涉 %XeU4yg\e  
D.1波的叠加原理 3a0C<hW
 
D.2杨氏干涉 7>LhXC  
D.3平板的表面干涉 voxlo>:  
D.4光的空间相干性和时间相干性  lzuZv$K  
附录E光的偏振 I"1\R8 R  
E.1自然光和偏振光 "=;&{N~8U  
E.2偏振光与Jones矩陈 k*Kq:$9"  
E.3偏振光的获得 :EjIV]e  
E.4偏振光的检验 hbK+\X  
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