现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 L`th7d"  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ,gL9?Wz  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 F:6SPY y  
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第一篇光学多层膜设计 ""s]zN
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第1章光学薄膜特性的理论计算 7\ nf:.  
1.1单色平面电磁波 Rq[ M29  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ID
.n1i3  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ?<6CFH]  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 u_7~TE3W  
习题 lg047K   
第2章光学薄膜的设计理论 0flg=U9  
2.1矢量作图法 'R&uD~Q  
2.2有效界面法 ,;M4jc{  
2.3对称膜系的等效层 xQw7 :18wQ  
2.4导纳图解技术 O@?kT;B  
习题 q5>v'ZSo  
第3章光学薄膜系统的设计 8ssJ<
LP  
3.1减反射膜 RxMH!^  
3.2分束镜 >Z1q j>  
3.3高反射膜 Fu^^i&  
3.4干涉截止滤光片 1^i Pji/  
3.5带通滤光片 Fq9Q+RNMZL  
3.6特殊膜系 8u!
"#S#>a  
习题 o[E_Ge}g8  
参考文献 }8;[O 9  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 XJ2^MF2BU  
第4章薄膜制备技术 `GXkF:f=  
4.1真空淀积工艺 e[Abp~@M1  
4.2光学薄膜材料 5wUUx#  
4.3薄膜厚度监控艺术 6rS$yjTX!  
4.4膜层厚度的均匀性 g@\fZTO  
习题 sl2@umR7%(  
参考文献 aTf`BG{kw  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 =}PdH`S  
5.1薄膜的形成过程 WW~+?g5  
5.2薄膜的微观结构 7z~_/mAI  
5.3薄膜的成分 5XLs}:  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 Gn;@{
x6  
5.5薄膜微观结构和改善 Ew3ibXD  
习题 *'"^NSJ  
参考文献 w1;hy"zPsj  
第三篇光学薄膜检测技术 #[#KL/i)$  
第6章薄膜透射率和反射率测量 A{B/lX)  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 Py{<bd  
6.2薄膜反射率的测试 7mm1P9Z  
6.3薄膜反射率的测量 #lU9yv  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 1,5E`J  
6.5总结 )*c>|7
G  
习题 T)\"Xj  
参考文献 1He{v#  
第7章薄膜的吸收和散射测量 U?.9D  
7.1激光量热计基本原理 +{]xtQB=,{  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 [%&ZPJT%i  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 5JhdVnT_  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 >[6{LAe~hp  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 'H7x L  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 .G o{1
[  
7.7总结 TY(bPq  
习题 wb Iq&>p  
参考文献 r < cVp^  
第8章薄膜光学常数的测量 tTU=+*Io  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 DS|KkTy3  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Mc!Xf[  
8.3薄膜波导法 ZtHm\VTS  
8.4光学薄膜厚度的测试 ~zHg[X*  
8.5总结 9_sA&2P{uV  
习题 >&!RWH9*q  
参考文献 Lr`
1TH,  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 Dz./w  
9.1薄膜的力学特性检测技术 5Zw1y@k(  
9.2薄膜器件的环境试验 cQ:"-!ff  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 9Ct`  
9.4总结 OCy0
#aPRS  
习题 XhsTT2B  
参考文献 n4lutnF  
附录 c]B$i*t  
附录A复数与复数运算 WL+]4Wiz  
A.1复数的概念 hp"L8w  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 *-s,. F+c  
A.3复数在物理中的运用 Nm):9YQ/  
附录B矩陈及矩陈运算 [31p&FxM  
B.1矩陈的定义 ) _ I,KEe  
B.2矩陈运算 e?bYjJq  
附录C光的电磁理论基础 s(
<uo{  
C.1振动与波 LI)!4(WH  
C.2电磁波 w:'dhr':  
C.3麦克斯韦方程 %P;Q|v6/|  
C.4平面电磁波 -*2Mf Mh  
C.5平面电磁波性质 c#N<"cy>  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 1009ES7*  
附录D光的干涉 oUQ07z\C  
D.1波的叠加原理 4em;+ >D6  
D.2杨氏干涉 $;G{Pyp  
D.3平板的表面干涉 ceGa([#!\_  
D.4光的空间相干性和时间相干性 e"r)R8  
附录E光的偏振 fFjH "2WD  
E.1自然光和偏振光 d3^OEwe  
E.2偏振光与Jones矩陈 jEXW  
E.3偏振光的获得 HyiFy7j  
E.4偏振光的检验 !6&W,0<  
…… )EyI0R]5  
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