现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 nHDKe)V  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 %O#zE-H"  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 X 5}=|%Y  

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第一篇光学多层膜设计 n/*" 2  
第1章光学薄膜特性的理论计算 L aA<`  
1.1单色平面电磁波 ._A4:  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 LY)Wwl*wc  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ?q Q.Wj6Mj  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 fJ _MuAv  
习题 W)]&G}U<  
第2章光学薄膜的设计理论 [4YRyx&:++  
2.1矢量作图法 'WmjQsf  
2.2有效界面法 tl*v(ZW  
2.3对称膜系的等效层 T]1.":   
2.4导纳图解技术 <vV"abk  
习题 $0P16ZlPC  
第3章光学薄膜系统的设计 # c1LOz  
3.1减反射膜 Tmu2G/yi  
3.2分束镜 '~f*O0_  
3.3高反射膜 HOH5_E>d  
3.4干涉截止滤光片 83_mR*tGNp  
3.5带通滤光片 FYE(lEjxi  
3.6特殊膜系 _99 +Vjy  
习题 t.RDS2N|  
参考文献 aQY.96yo  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 >$CNR*}@  
第4章薄膜制备技术 a;U)#*(5|v  
4.1真空淀积工艺 @gf <%>  
4.2光学薄膜材料
/u90)x  
4.3薄膜厚度监控艺术 TxN+-< f  
4.4膜层厚度的均匀性 sh`3${  
习题 =HIKn6C<  
参考文献 ;O~FiA~`c  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 <jYyA]Zy5  
5.1薄膜的形成过程 +8\?7,FY  
5.2薄膜的微观结构 ^{0*?,-x  
5.3薄膜的成分 U1/ww-!Z  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 | a i#rU  
5.5薄膜微观结构和改善 d!Y%7LmSE@  
习题 3d1xL+  
参考文献 Zm++5b`W/[  
第三篇光学薄膜检测技术 l& sEdEA  
第6章薄膜透射率和反射率测量 47*2QL^zj  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 o.|36#Fa  
6.2薄膜反射率的测试 K%t&aRjS  
6.3薄膜反射率的测量 SJLs3iz_)  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 Q;=4']hYU  
6.5总结 A~k: m0MX  
习题 #wvGS%
 
参考文献 fMW=ss^fu-  
第7章薄膜的吸收和散射测量 }z\t}lven  
7.1激光量热计基本原理 =c#mR" 1  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 fo/sA9  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 2Z<S^9O9  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 qQo*:3/];  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Pjvb}q=  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 =Ov,7<8o  
7.7总结 F>n_k  
习题 Wie0r@5E  
参考文献 .v+J@Y a  
第8章薄膜光学常数的测量 3|G~_'`RLt  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ).u>%4=6  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 k`[>Bk%b  
8.3薄膜波导法 wk
PomTO  
8.4光学薄膜厚度的测试 9aIv|cS?  
8.5总结 HD$`ZV  
习题 8<Yv:8%B6  
参考文献 :(3'"^_NA  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 lq`7$7-4  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ~WV1t][  
9.2薄膜器件的环境试验 Y}yh6r;i  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 [-e$4^+9  
9.4总结 j 7O!uUQQ  
习题 8/,s8u  
参考文献 mN R}%s  
附录 o2]Np~`g,  
附录A复数与复数运算 -H_#et3&i  
A.1复数的概念 z [u!C/  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 X ) =-a  
A.3复数在物理中的运用 |6Iw\YU  
附录B矩陈及矩陈运算 _XrlCLp: d  
B.1矩陈的定义 0s}gg[lj  
B.2矩陈运算 _wW"Tn]  
附录C光的电磁理论基础 ?G&J_L=@Y  
C.1振动与波 PqyR,Bcx0  
C.2电磁波 ~WB-WI\  
C.3麦克斯韦方程 +>a(9r|:  
C.4平面电磁波 [fkt3fS  
C.5平面电磁波性质 B*QLKO:)i  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Xo.3OER  
附录D光的干涉 %^"i\-*|S  
D.1波的叠加原理 f|s,%AU"i  
D.2杨氏干涉 += gU`<\  
D.3平板的表面干涉 i8R2Y9Q*O  
D.4光的空间相干性和时间相干性 pm=s  
附录E光的偏振 Yc5) ^v  
E.1自然光和偏振光 1mfB6p1Z(  
E.2偏振光与Jones矩陈 `VglE?M  
E.3偏振光的获得 = P$7 "  
E.4偏振光的检验 R-f('[u  
…… ({C|(v9C7  
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