现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 74</6T]^  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 -M(58/y  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 pJ<)intcbE  
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第一篇光学多层膜设计 3M5=@Fwkr  
第1章光学薄膜特性的理论计算 Tg}H < T  
1.1单色平面电磁波 vM$#m1L?  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 #EwRb<'Em  
1.3光学薄膜特性的理论计算 0.3[=a43  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ** "s~  
习题 60SenHKles  
第2章光学薄膜的设计理论 -b
G#h)yj  
2.1矢量作图法 0o\=0bH&s  
2.2有效界面法 y[Fw>g1`q  
2.3对称膜系的等效层 v:!7n  
2.4导纳图解技术 iz$v8;w  
习题  Q}`2Y^.  
第3章光学薄膜系统的设计 pRa
oR  
3.1减反射膜 lqwJ F &  
3.2分束镜 2R~=@  
3.3高反射膜 !3gpiQH{  
3.4干涉截止滤光片 ui:>eYv  
3.5带通滤光片 R _~m\P  
3.6特殊膜系 +RKE|*y  
习题 #6#BSZ E  
参考文献 Qc)RrqYNGF  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 1Rb<(%   
第4章薄膜制备技术 =Am*$wGI  
4.1真空淀积工艺 L<nkI  
4.2光学薄膜材料 2+hfbFu,1  
4.3薄膜厚度监控艺术 2v; 7ohK  
4.4膜层厚度的均匀性 ag*Hs<gi  
习题 AF{7<v>/P  
参考文献 % /wP2O<  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 _s#/f5<:B  
5.1薄膜的形成过程 B3k],k  
5.2薄膜的微观结构 AfbA.-
 
5.3薄膜的成分 y*TNJJ|  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 L M<=j  
5.5薄膜微观结构和改善 EIl$"^-  
习题 0OoO cc  
参考文献 R,b O{2O  
第三篇光学薄膜检测技术 8;dbU*  
第6章薄膜透射率和反射率测量 \Q BpgMi(  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 "YJ;-$rb  
6.2薄膜反射率的测试 bm]dz;ljh  
6.3薄膜反射率的测量 q?'gwH37  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 s9Q)6=mE  
6.5总结 eDMwY$J  
习题 <38@b ]+  
参考文献 "/]tFY%Y  
第7章薄膜的吸收和散射测量 d?+oT0pCH  
7.1激光量热计基本原理 R5~vmT5W  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 jnLo[Cf,H8  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 m"> =QP  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 R@{/$p:  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 C%7,#}[U/  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 z4%F2Czai&  
7.7总结 "a_D]D(d5  
习题 ~{tZ;YZ  
参考文献 ="nrq&2  
第8章薄膜光学常数的测量 :{='TMJ7  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 f0`rJ?us  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 }(7QJk5 j  
8.3薄膜波导法 .Yv.-A=ZIg  
8.4光学薄膜厚度的测试 ^Ypx|-Vu!  
8.5总结 ReGb.pf  
习题 X;a{J
jN  
参考文献 )jZ=/xG  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 E3C[o! 5  
9.1薄膜的力学特性检测技术 \EfwS% P  
9.2薄膜器件的环境试验 YD>>YaH_3@  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Nk~dfY<s  
9.4总结 K@u."e
aD  
习题 r{3`
zqo  
参考文献 (+v*u]w4  
附录 sNpBTG@{l  
附录A复数与复数运算 
.BB:7+  
A.1复数的概念 tcdn"]#U  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 uTt:/gm  
A.3复数在物理中的运用 8`?j*FV7kq  
附录B矩陈及矩陈运算 U[ungvU1U  
B.1矩陈的定义 $%"}N_M  
B.2矩陈运算 !rqR]nd  
附录C光的电磁理论基础 8 =Lv7G%  
C.1振动与波 }EG(!)u  
C.2电磁波 ]6[d-$#^ko  
C.3麦克斯韦方程 #\;w
::  
C.4平面电磁波 ]|BSX-V.%i  
C.5平面电磁波性质 qxr&_r  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 c\ *OId1{;  
附录D光的干涉 nAC#_\  
D.1波的叠加原理 n^)9QQ  
D.2杨氏干涉 _Cs}&Bic_  
D.3平板的表面干涉 qiryC7.E  
D.4光的空间相干性和时间相干性 |6Z MxY  
附录E光的偏振 E.bbIV6mQ  
E.1自然光和偏振光 9>>}-;$  
E.2偏振光与Jones矩陈 25[/'7_"  
E.3偏振光的获得 Bx!` UdRn  
E.4偏振光的检验 ~,1q :Kue  
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