现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 o!Y7y1$  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 J(0c#}
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 dP82bk/e  

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第一篇光学多层膜设计 ).\%a h  
第1章光学薄膜特性的理论计算 =cxjb,r  
1.1单色平面电磁波 @>:r'Fmu-  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 =oBV.BST u  
1.3光学薄膜特性的理论计算 V[#jrwhA  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 YtFtU;{  
习题 8q_nOG
d  
第2章光学薄膜的设计理论 D_g+O"];P  
2.1矢量作图法 ~x2azY2DP  
2.2有效界面法 d;K,2  
2.3对称膜系的等效层 cY5h6+
_  
2.4导纳图解技术 BV|LRB}G  
习题 GujmBb  
第3章光学薄膜系统的设计 XOU 9r(  
3.1减反射膜 )Zox;}WK+  
3.2分束镜 Z<`QDBN"4  
3.3高反射膜 opd^|xx0  
3.4干涉截止滤光片 ->d3FR  
3.5带通滤光片 />H9T[3=  
3.6特殊膜系 o
l-U%J  
习题 <d8Yk>R  
参考文献 Y-v6xUc{F  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 C1hp2CW$5/  
第4章薄膜制备技术 i!(u4wTFF  
4.1真空淀积工艺 Yf1?3(0O  
4.2光学薄膜材料 H>%K}Fh  
4.3薄膜厚度监控艺术 NSZ9M%7  
4.4膜层厚度的均匀性 y-9Mm9J  
习题 Nzf 
tc  
参考文献 ,VI2dNst\  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 S3$&}I <  
5.1薄膜的形成过程 ^DD]jx  
5.2薄膜的微观结构 5y0N }}  
5.3薄膜的成分 RGsgT^  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 tw,uV)xm  
5.5薄膜微观结构和改善 ]@0C1r  
习题 ]v=A}}kS  
参考文献 !ap}+_IA7^  
第三篇光学薄膜检测技术 h:xvnyaI  
第6章薄膜透射率和反射率测量 +87|gC7B  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 I|(r1.[K  
6.2薄膜反射率的测试 Fsz;T;  
6.3薄膜反射率的测量 G0)}?5L1J  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 a[I :^S  
6.5总结 .kcyw>T`I  
习题 5<YV`T{5Kl  
参考文献 T,r?% G{XE  
第7章薄膜的吸收和散射测量 7_HFQT1.N  
7.1激光量热计基本原理 {OIB/  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 1 8%+ Hy=  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ?k@^U9?R  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 qz95)  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Lcb5^e?'Q  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 FJCs$0  
7.7总结 @q]4]U)  
习题 zncKd{Q\tP  
参考文献 g-?@a  
第8章薄膜光学常数的测量 {.eo?dQ  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 52ExRG S  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 CVE(N/&b  
8.3薄膜波导法 %tB7 &%ut  
8.4光学薄膜厚度的测试 y*=sboX  
8.5总结 T[Lz4;TRk5  
习题 FRa>cf4  
参考文献 j<'ftK
k  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 jIEntk  
9.1薄膜的力学特性检测技术 "%lIB{  
9.2薄膜器件的环境试验 L+N\B@ 0-  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 iYD5~pK8  
9.4总结 uP G\1  
习题 `R;i1/  
参考文献 -U*J5Q  
附录 $Q"D>Qf{G  
附录A复数与复数运算 F42<9)I  
A.1复数的概念 >dx/k)~~-L  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 tq}MzKI*  
A.3复数在物理中的运用  <2N{oK.  
附录B矩陈及矩陈运算 IdqCk0lVD  
B.1矩陈的定义 x$;RfK2&p  
B.2矩陈运算 <?s@-mpgN  
附录C光的电磁理论基础 p4V*%A&w  
C.1振动与波 oqAO@<dL!  
C.2电磁波 ]VL} eHZ  
C.3麦克斯韦方程 9U8x&Z]P  
C.4平面电磁波 \3OEC`  
C.5平面电磁波性质 ~UJ.A<>Fh  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 tn#cVB3  
附录D光的干涉 yDfH`]i)U  
D.1波的叠加原理 ~| b\1SR  
D.2杨氏干涉 |.VSw  
D.3平板的表面干涉 hr;^.a^
  
D.4光的空间相干性和时间相干性 )9^)t   
附录E光的偏振 qg{gCG  
E.1自然光和偏振光 f"RC(("6W  
E.2偏振光与Jones矩陈 /jNvHo^B  
E.3偏振光的获得 Qo)Da}uo20  
E.4偏振光的检验 |QS3nX<  
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