现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 NA=I7I@  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 F'NX  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 M&93TQU-  

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第一篇光学多层膜设计 =qg;K'M5  
第1章光学薄膜特性的理论计算 xAZ-_}'tW  
1.1单色平面电磁波 f!H~BMA+a  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 goJK~d8M*  
1.3光学薄膜特性的理论计算 c3L)!]kB  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 "A4.2  
习题 {/u}  
第2章光学薄膜的设计理论 L\GjG&Y5  
2.1矢量作图法 OrG1Mfx&2%  
2.2有效界面法 2:8p>^g=  
2.3对称膜系的等效层 fN|'aq*Pd  
2.4导纳图解技术 neLQ>WT L  
习题 ^yl)c \`  
第3章光学薄膜系统的设计 PfrzrRahb  
3.1减反射膜 8.Z9 i  
3.2分束镜 EFk9G2@_  
3.3高反射膜 $\9M6k'  
3.4干涉截止滤光片 >>>&{>}!  
3.5带通滤光片 &"R`:`XF  
3.6特殊膜系 aN^x]0P!0  
习题 ZcQ@%XY3~  
参考文献 l`mNOQ@}'  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 79yF {  
第4章薄膜制备技术 w>TlM*3D/  
4.1真空淀积工艺 (X{o =co,  
4.2光学薄膜材料 wf,B/[,d  
4.3薄膜厚度监控艺术 ?as1^~  
4.4膜层厚度的均匀性 i(9 5=t(  
习题 Y}n$s/O:u8  
参考文献 t ;-U   
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 @OB7TI_/
 
5.1薄膜的形成过程 }G3:QD  
5.2薄膜的微观结构 C1M @;  
5.3薄膜的成分 NB.
s2I7  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ^+MG"|)u~  
5.5薄膜微观结构和改善 JNx;/6'd,  
习题 #Rj&PzBe  
参考文献 \'>ZU-V  
第三篇光学薄膜检测技术
#GVf+8"  
第6章薄膜透射率和反射率测量 {gkY:$xnrG  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 C25EIIdRb  
6.2薄膜反射率的测试 `0z8J*T]  
6.3薄膜反射率的测量 7`pK=E}+  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 >u0B ~9_E  
6.5总结 H[e=^JuD  
习题 Ia%S=xU{=  
参考文献 p*Q *}V  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ETMF.-P  
7.1激光量热计基本原理 7lH.>
n  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 [vNaX%o  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 /4M~ 6LT`  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ,?KN;~t#vz  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 >S[NI<=8S  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 mh:eUFe  
7.7总结 SKdh!*G  
习题 |.~0Ulk,  
参考文献 Xf/qUa
o  
第8章薄膜光学常数的测量 ;X}!;S%K  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 8w\ZY>d  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 of<(4<T  
8.3薄膜波导法 Ni Y.OwKr  
8.4光学薄膜厚度的测试 @\}w8  
8.5总结 i[N=.  
习题 '>U&B}  
参考文献 av:9kPKm  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 9J(jbJ7p  
9.1薄膜的力学特性检测技术 [6}>
?
 
9.2薄膜器件的环境试验 277Am*2  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 1c19$KHu  
9.4总结 CGCI3Z'  
习题 Ra-%,cS  
参考文献 O
g E<bw  
附录 YCI-
p p  
附录A复数与复数运算 g7g^iLU  
A.1复数的概念 gu|cQ2xV  
A.2复数的三角函数及指数表示方法
+)U>mm,  
A.3复数在物理中的运用 VPI;{0kh  
附录B矩陈及矩陈运算 w\`u|f;Aq  
B.1矩陈的定义 4cQ|"sOzD  
B.2矩陈运算 V'm4DR#M  
附录C光的电磁理论基础 1@6FV x  
C.1振动与波 -d8U Hc  
C.2电磁波 .{-C*  
C.3麦克斯韦方程 .j l|?o  
C.4平面电磁波 V^D!\)#  
C.5平面电磁波性质 n*nsFvt%o  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 96]!*}  
附录D光的干涉 12y+g5b  
D.1波的叠加原理 {<#~Ya-  
D.2杨氏干涉 i&',g  
D.3平板的表面干涉 a%N
SL6  
D.4光的空间相干性和时间相干性 m6iQB\ \  
附录E光的偏振 5fuB((fd(  
E.1自然光和偏振光 [W
,}&  
E.2偏振光与Jones矩陈 kr{eC/Q"  
E.3偏振光的获得 g|V
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E.4偏振光的检验 (N/KP+J$n  
…… p)y'a+|7  
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