现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 d[oHjWk  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 l<:\w.Gl  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 @4=Az1W*  

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第一篇光学多层膜设计 5em*9Ko  
第1章光学薄膜特性的理论计算 MzE1he1  
1.1单色平面电磁波 A~H@0>1  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 5 Q/yPQN  
1.3光学薄膜特性的理论计算 2yV^'o)  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 F
T\%=>{  
习题 ]Rj?OSok  
第2章光学薄膜的设计理论 yiMqe^zy  
2.1矢量作图法 J@+b_e*  
2.2有效界面法 395`Wkv  
2.3对称膜系的等效层 p
j Md  
2.4导纳图解技术 CI=M0  
习题 \|
CuTb;0  
第3章光学薄膜系统的设计 ef2)k4)"  
3.1减反射膜 N1hj[G[H"  
3.2分束镜 W0<2*7s  
3.3高反射膜 {RI)I  
3.4干涉截止滤光片 Ho1V)T
>  
3.5带通滤光片 9ePom'1f1  
3.6特殊膜系 >65\  
习题 OO\$'% y`  
参考文献 N
v6=[_D  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 Z29aRi  
第4章薄膜制备技术 Q9i[?=F:z  
4.1真空淀积工艺 q4Mv2SPT  
4.2光学薄膜材料 ij?Ww'p9>  
4.3薄膜厚度监控艺术 Z1{>"o:@  
4.4膜层厚度的均匀性 I.it4~]H  
习题 *W2o$_Hs  
参考文献 mDO! o  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 U:bnX51D4  
5.1薄膜的形成过程 9I(00t_  
5.2薄膜的微观结构 ~SS3gLv  
5.3薄膜的成分 9 dK`  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 E] rBq_S  
5.5薄膜微观结构和改善 AWd,qldv  
习题 gux?P2f  
参考文献 odn3*{c{x  
第三篇光学薄膜检测技术 `><E J'h  
第6章薄膜透射率和反射率测量 3Hi8=*  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 @@cc
/S  
6.2薄膜反射率的测试 *MQ`&;Qa,  
6.3薄膜反射率的测量 LCW}1H:Q  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 !|8"}ZF  
6.5总结 J?Oeuk~[D  
习题 z0Z1J8Qq6.  
参考文献 FH%M5RD  
第7章薄膜的吸收和散射测量 -b|"%e<'  
7.1激光量热计基本原理 {nw.bKq7  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 #H
y\lJ  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 !+]Kx
B  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 C[5dhFZ  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 <v=s:^;C0  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 6"; ITU^v  
7.7总结 !(gSXe)*  
习题 yCN?kHG  
参考文献 txE+A/>i9  
第8章薄膜光学常数的测量 dsH*9t:z  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 vM50
H
 
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 o#=C[d5BV  
8.3薄膜波导法 wB&5q!{!  
8.4光学薄膜厚度的测试 i[:cG  
8.5总结 2$v8{Y&  
习题 &x;n^W;#  
参考文献 20}w.V  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 )j\_*SoH  
9.1薄膜的力学特性检测技术 J4@-?xj=\q  
9.2薄膜器件的环境试验 ;e< TEs  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 p$uPj*  
9.4总结 }kP<zvAaw  
习题 3_`)QYU'  
参考文献 +bT[lJ2O>G  
附录 tG ZMIG_  
附录A复数与复数运算 (4Nj3x o  
A.1复数的概念 E^Q J50  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 yDWBrN._  
A.3复数在物理中的运用 .rS. >d^n  
附录B矩陈及矩陈运算 :
wG )  
B.1矩陈的定义 :(wFNK/0{  
B.2矩陈运算 t=9f:,I$  
附录C光的电磁理论基础 ^bP`Iv  
C.1振动与波 <fF|A
bC:  
C.2电磁波 K?r  
C.3麦克斯韦方程 WdlGnFAWh  
C.4平面电磁波 !0vLSF=  
C.5平面电磁波性质 bE{

YK  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 3+(lKd  
附录D光的干涉 &AWrM{e  
D.1波的叠加原理 fx>U2  
D.2杨氏干涉 53gLz_ee  
D.3平板的表面干涉 >oO]S]W  
D.4光的空间相干性和时间相干性 p|8ZHR+  
附录E光的偏振 ,aa 4Kh  
E.1自然光和偏振光 r/HTkXs I  
E.2偏振光与Jones矩陈 kD?@nx>  
E.3偏振光的获得 3W]gn8  
E.4偏振光的检验 0{ ~2mggh  
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电子文档下载：http://www.opticsky.cn/read-htm-tid-44072.html