[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 @8'LI8 \/  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 Xo~kB)|,  
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任务 T96M=?wh!  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 2)47$eu  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 /H<tv5mXJ  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 ck K9@RQ  
连接建模技术：衍射光束分束器 gtw?u b  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 QsH?qI&2jp  
g,d'&r"JWt  
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将传输函数转化为结构 X UcM~U-  
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衍射光束分束器表面 f`"@7-N  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM S# sar}-I  
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R\,qL-Br  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 V[baGNe  
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设计与评估结果： <)ltvo(  
• 相位函数设计 rv;is=#1  
• 结构设计 Nr:%yvk%s  
• TEA 评估 |&0zAP"\  
• FMM 评估 mVdg0  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） a7wc>@9Q,  
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仅相位传输设计 LP:F'Q:<  
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结构设计 \2NT7^H#  
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使用TEA进行性能评估 eL{6;.C  
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使用FMM进行性能评估 `sPH7^R  
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进一步的分析（优化后，容差分析） 6R+EG{`  
qjI.Sr70  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 &n-)Alx  
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)2mvW1M=7;  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 drK &  
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3KN>t)A#  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 :Wl`8p4]