摘要 HuhQ|~C+~ u`MM K4 % jn (x-fj6R 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
^<I( ;[ <(4v$ 任务 sd%j&Su#4 • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
05d0p|}, • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
qTsy'y;Z atL<mhRz lM- 9 J?j 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 -FZC|[is 连接建模技术：衍射光束分束器 =2\2S p 
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] Q5:JV • 相位函数设计
25>R^2,LiE • 结构设计
$1yy;IyR • TEA 评估
;Y7' U rn • FMM 评估
nPyn~3 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
T^v76 3% BH:A]#_{ 仅相位传输设计 |ADf~-AY Oe5rRQ$ O o=rR^Z$G 结构设计 M7=,J;@ kL8rqv ^ _3Eo {^ 使用TEA进行性能评估 K(;qd Ir 9$)&b\D [qc1
V%g 使用FMM进行性能评估 E'x"EN 0'o[ 2, 8iI p[9~= 进一步的分析（优化后，容差分析） #pvq9fss,} 
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