[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 QDmYSY$  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 ^s/  
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任务 r4 dOK] 0  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 t2{~bzq1X  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 ~[PKcEX  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 |BU+:+
 
连接建模技术：衍射光束分束器 kMxazx1  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 o@E/r.uK  
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将传输函数转化为结构 xBnbF[  
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衍射光束分束器表面 N]/!mo?  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM Fw4*  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 MFit
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LX+5|u  
设计与评估结果： 0Ce]V,i6C>  
• 相位函数设计 7hNb/O004  
• 结构设计 7LZ^QC  
• TEA 评估 B33$ u3d  
• FMM 评估 ]hw-Bu\{  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） 0&Gl@4oZ"  
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仅相位传输设计 MLVB^<qkeH  
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结构设计 6)RbPPeE  
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使用TEA进行性能评估 {
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使用FMM进行性能评估 =5]n\"/  
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进一步的分析（优化后，容差分析） _cqy`p@"  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 qojXrSb"y  
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MV50 y  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 PBqy F  
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!|{IVm/J  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 V-W'RunnW