摘要 Qg/rRiV }K9H^H@r! d d;T-wa} 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
eV~goj i@'dH3-kO
任务 t$ *0{w
E • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
T^q
0'#/ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
sR8"3b<qA A %-6`> tf G@&&%9 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 b`_Q8 J 连接建模技术：衍射光束分束器 zBH2@d3W 
DV{=n C ：
L=h'Qgk% • 相位函数设计
ET >](l9 • 结构设计
BORA(, • TEA 评估
PRT +mT • FMM 评估
^}C \zW • 高度缩放检查（用于优化/容限）
JN6B~ZNf mcok/,/ 仅相位传输设计 t >sE x: P>6{&( _a MF?Pj~m 结构设计 Qci]i)s$js 'W#D(l9nI ?hM64jI| 使用TEA进行性能评估 >i
O!*&Y> O1kl70,`R \di = 使用FMM进行性能评估 &~w}_Fjk *owU)
E!AE4B1bd 进一步的分析（优化后，容差分析） -%dCw6aX+ 
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