摘要 ^yo~C3 r~ _#]/d3*Z} 96 F S-` 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
@ = M:RA da/Tms`T 任务 - .EH?{i • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
;9rS[$ ^$O • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
byTTLs,}d bYKe5y= nPU=n[t8O 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 ~l@
h 连接建模技术：衍射光束分束器 ?' :v): J} 
q Xw^y ：
EIrAq!CA • 相位函数设计
L]kd.JJvy • 结构设计
1X pG7 • TEA 评估
=+z +`ot • FMM 评估
8%ea(|Wjg • 高度缩放检查（用于优化/容限）
f)x(sk ^P}jn`4 仅相位传输设计 !K[UJQ s\ + ;LO|! {T L.2 结构设计 x=M% QFe u _mtdB' >2t.7UhDI 使用TEA进行性能评估 }B e;YIhG 90 [6PSXk R0 g^0K. 使用FMM进行性能评估 kfV}ta'^S n muzTFs= >'1 [Bh 进一步的分析（优化后，容差分析） 5(=5GkE)> 
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