摘要 flb3Iih 8vUP{f6 { ;1eu8N8 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
bfa5X< 8 DJ<e=F! 任务 $_)f|\s • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
4+ 4? 0R • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
/M'b137 0@xuxm/i t_j.@|/FZ 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 8# oF7eE 连接建模技术：衍射光束分束器 gW*ee 
W<9G wMU ：
j5ui • 相位函数设计
)}6:Ke) • 结构设计
w=f8UtY9@A • TEA 评估
m+vwp\0 • FMM 评估
+ osY
iP5 • 高度缩放检查（用于优化/容限）
5 -&P4 :;|x'[JoE? 仅相位传输设计
,p 'M@[ Dxu )by NtT)Wl 结构设计 XRNL;X%}7 :m+:%keK (m,O!935f 使用TEA进行性能评估 $MsM$]~ gr-%9=U q h{Tn vI/" 使用FMM进行性能评估 |%M%j'9 U O [p 'dht5iI;Yw 进一步的分析（优化后，容差分析） )<Yy.Z_:DC 
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