摘要 w" Y'I$ ]Y3s5#n q>m[vvt" 非傍轴
衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
p:xVi 0 ,"f2-KC4h 任务 ~:N 1[ • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
BOme`0A • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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q@"qnr O+=C8 }LryRcrD-n 模拟与设置：工具简介与整体流程概览 U98e=57 N 连接建模技术：衍射光束分束器 V1\Rj0#G 
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cg^=F_h • 相位函数设计
z,(.` %h • 结构设计
F87c?Vh)K • TEA 评估
Rl n% Y • FMM 评估
cnj32H^+ • 高度缩放检查（用于优化/容限）
$8>II0C. [" 15~9 仅相位传输设计 !wH'dsriD b&* N &)!4rABn 结构设计 O T .bXr~ '? d5L+ 9 t_ id/ 使用TEA进行性能评估 MC%!>,tC HEF\TH9 !YX_ k<1E 使用FMM进行性能评估 :*eJ*(M b
4A1M [I78<IJc 进一步的分析（优化后，容差分析） S>y}|MG 
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