现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 Z~?1xJ&  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 y:m ;_U,%c  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 2@A%;f0Q  

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第一篇光学多层膜设计 c\J?J>x
z  
第1章光学薄膜特性的理论计算 SJ4+s4!l <  
1.1单色平面电磁波 LA837P  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 7gk}f%,3P  
1.3光学薄膜特性的理论计算 KE~l#=S  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 |[ )e5Xhd  
习题 #[uDVCM  
第2章光学薄膜的设计理论 E.'v,GYe
 
2.1矢量作图法 1iiQW  
2.2有效界面法 BidTrO  
2.3对称膜系的等效层 @MoBR.  
2.4导纳图解技术 'o!{YLJ fM  
习题 MR?5p8S#g  
第3章光学薄膜系统的设计 AgBXB%).  
3.1减反射膜 1Zh4)6x  
3.2分束镜 `<"@&N^d  
3.3高反射膜 ki8;:m4  
3.4干涉截止滤光片 G[bWjw86O  
3.5带通滤光片 vGX}zzto  
3.6特殊膜系 js$L<^7  
习题 v
>[U*E  
参考文献 '&;s32']}  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性
wDvG5  
第4章薄膜制备技术  UZV\]Y  
4.1真空淀积工艺 NKSK+ll2  
4.2光学薄膜材料 _oILZ,  
4.3薄膜厚度监控艺术 @mJ#~@*(  
4.4膜层厚度的均匀性 YcmLc)a7  
习题 ,\Q^[e!m~  
参考文献 1^HmM"DD  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 
N|N#-  
5.1薄膜的形成过程 R^ln-H;  
5.2薄膜的微观结构 t/kMV6
 
5.3薄膜的成分 %3:[0o={d  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 2}BQ=%E!'  
5.5薄膜微观结构和改善 >x3$Ld  
习题 !1
b4q/  
参考文献 # h/#h\  
第三篇光学薄膜检测技术 9'5`0$,|^  
第6章薄膜透射率和反射率测量 blk4@pg  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 QyEGK  
6.2薄膜反射率的测试 jR_o!n~5  
6.3薄膜反射率的测量 "C/X#y   
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 7;i [  
6.5总结 <NYf!bx  
习题 T!yI+<  
参考文献 zgnZ72%  
第7章薄膜的吸收和散射测量 wyi%!H  
7.1激光量热计基本原理 qk *b,`;  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 *
q$O6B-  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 !!\x]
$v  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 SqosJ}K  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 }ZKG-~  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 KB$SB25m  
7.7总结 Tp[-,3L  
习题 ?s-Z
3{k  
参考文献 `:Bm@eN  
第8章薄膜光学常数的测量 2gM/".|{  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 wxc24y  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 NRI@M5  
8.3薄膜波导法 JGRL&MG4  
8.4光学薄膜厚度的测试 ; "K"S[  
8.5总结 +td]g9Ie  
习题 zAkF:^#Y  
参考文献 6>Z)w}x^  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ecsQshR  
9.1薄膜的力学特性检测技术 c.eUlr_{  
9.2薄膜器件的环境试验 Jmml2?V-c  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 8t5o&8v  
9.4总结 8-&c%h 1  
习题 X? l5}  
参考文献 Rh,a4n?W  
附录 RA$%3L[A!  
附录A复数与复数运算 8n"L4jb(:  
A.1复数的概念 _C
54l  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 nXT/zfS  
A.3复数在物理中的运用 &~KAZ}xu  
附录B矩陈及矩陈运算 : =f!>_r+  
B.1矩陈的定义 eD,'M  
B.2矩陈运算 _PPn =kuMa  
附录C光的电磁理论基础 #;])/8R%  
C.1振动与波 QF4)@ r{2x  
C.2电磁波 X8\UTHT&0  
C.3麦克斯韦方程 V)Sw\tS6g  
C.4平面电磁波 Ial"nV0>0  
C.5平面电磁波性质 p~3 (nk<+  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 1'YUK"i  
附录D光的干涉 3]li3B'  
D.1波的叠加原理 ;-Ki`x.oJ  
D.2杨氏干涉 2Bz\Tsp  
D.3平板的表面干涉 Lyq[gQjr  
D.4光的空间相干性和时间相干性 L-DL)
8;`  
附录E光的偏振 E"zC6iYZ;  
E.1自然光和偏振光 :Xs3Vh,V  
E.2偏振光与Jones矩陈 yXT.]%)  
E.3偏振光的获得 *_sSM+S  
E.4偏振光的检验 TXS{=  
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