现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 <#:Ebofsn  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 %jYQ  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 EG8%~k+R  
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第一篇光学多层膜设计 OLhWkN,qA  
第1章光学薄膜特性的理论计算 iPR!JX _  
1.1单色平面电磁波 11^ {WF  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 /@xr[=L  
1.3光学薄膜特性的理论计算 .2 N_?
  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 eHfG;NsV/  
习题 b7F3]W<`&  
第2章光学薄膜的设计理论 nA{ncTg1\  
2.1矢量作图法 2`q^Q  
2.2有效界面法 I\F=s-VVY  
2.3对称膜系的等效层 tIgCF?  
2.4导纳图解技术 +3~Gc<OO  
习题 N7Z(lI|a;  
第3章光学薄膜系统的设计 =X%R*~!#Of  
3.1减反射膜 =]2RC1#}e  
3.2分束镜 4q@9  
3.3高反射膜 A1=$kzw{UH  
3.4干涉截止滤光片 umHs"d  
3.5带通滤光片 _mI:Lr#dT  
3.6特殊膜系 3>:zo:;  
习题 lhW#IiX  
参考文献 nFf\tf%8  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 7!` C TE  
第4章薄膜制备技术 F(J!dG5#  
4.1真空淀积工艺 )=SYJ-ta<  
4.2光学薄膜材料 I_Mqh4];  
4.3薄膜厚度监控艺术 D=pI'5&  
4.4膜层厚度的均匀性 p1`'1`.3  
习题 n<"a+TTU  
参考文献 G3^n_]Jb  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 _,-M8=dL%*  
5.1薄膜的形成过程 cvLcre% >A  
5.2薄膜的微观结构 v'
2OHb#  
5.3薄膜的成分 ED
=BZR  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 UdM5R [  
5.5薄膜微观结构和改善 ,a?\i JNb  
习题 3\U,Kg  
参考文献 L^ jC& dF  
第三篇光学薄膜检测技术 IB]VPj5  
第6章薄膜透射率和反射率测量 BOl
$UJ|K  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 iTBhLg,  
6.2薄膜反射率的测试 B#V4  
6.3薄膜反射率的测量 =*)O80oaW  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 x@bl]Z(ne/  
6.5总结 [ QL<&:s&  
习题 `5 v51TpH  
参考文献 0R!}}*Ee>q  
第7章薄膜的吸收和散射测量 `?S?)0B  
7.1激光量热计基本原理 `LHfAXKN  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 >~bj7M6t  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 Q9'p3"yoE  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 M&\?)yG  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 1Qe!  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 N)I T?  
7.7总结 kp>Z/kt  
习题 25@j2K(  
参考文献 r#w_=h)  
第8章薄膜光学常数的测量 q>oH(A  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 59J$SE  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 qO3BQ]UF  
8.3薄膜波导法 (c|qX-%rC  
8.4光学薄膜厚度的测试 N'BctKL  
8.5总结 < 3+&DV-<N  
习题 :mHtK)z~  
参考文献 Lj1 @yokB  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 "@?kxRn!  
9.1薄膜的力学特性检测技术 LsZ!':LN  
9.2薄膜器件的环境试验 uiEA=*axp  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 /<(ik&%N  
9.4总结 ? Z fhz  
习题 Yf`.Cq_:  
参考文献 &bgi0)>  
附录 =0yJ2[R7Do  
附录A复数与复数运算 zW`koRH@  
A.1复数的概念 !#s7 F  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 Y rnqi-P  
A.3复数在物理中的运用 ?t P/VL  
附录B矩陈及矩陈运算 eE_X
wLE  
B.1矩陈的定义 [mvHa;-w  
B.2矩陈运算 &bK$!8Z  
附录C光的电磁理论基础 %"fKZ  
C.1振动与波 P;/wb/  
C.2电磁波 K8c#/o  
C.3麦克斯韦方程 Y &+/[[  
C.4平面电磁波 hkI);M+@6  
C.5平面电磁波性质 HN@)/5BY  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 umn^QZ,  
附录D光的干涉 N\&;R$[9:  
D.1波的叠加原理 S6X<3L`FfH  
D.2杨氏干涉 ~riw7"  
D.3平板的表面干涉 dq(L1y870  
D.4光的空间相干性和时间相干性 AE _~DZ:%c  
附录E光的偏振 5~0;R`D  
E.1自然光和偏振光 Mp=+*I[  
E.2偏振光与Jones矩陈 S`
KCVQ>V  
E.3偏振光的获得 Xy&#}S}9  
E.4偏振光的检验 X\RTHlw']  
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