现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 $u%7]]Y^\  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 AI#.G7'
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ]i Yp  

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第一篇光学多层膜设计 'J_`
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第1章光学薄膜特性的理论计算 bPVQ-  
1.1单色平面电磁波 5F$~ZDu  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 u#nM_UJe  
1.3光学薄膜特性的理论计算 &n~v;M  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ;}}k*< Z  
习题 :
N64FR#  
第2章光学薄膜的设计理论 8 DPn5E#M1  
2.1矢量作图法 rmJ`^6V  
2.2有效界面法 ";;Nc>-Y  
2.3对称膜系的等效层 U# U*^#  
2.4导纳图解技术 9wdl1QS  
习题 GD0Q`gWNe  
第3章光学薄膜系统的设计 +d=w%r)  
3.1减反射膜 PnZY%+[I  
3.2分束镜 jJyS^*.X  
3.3高反射膜 d8.A8<wUr  
3.4干涉截止滤光片 ^NXxMC(e+  
3.5带通滤光片 ::sk)  
3.6特殊膜系 98XlcI#  
习题 {<Y\flj{@m  
参考文献 >hO9b;F}  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 I R~szUY6  
第4章薄膜制备技术 S!
h=HE  
4.1真空淀积工艺 tL]T_]z  
4.2光学薄膜材料 SAhk`_  
4.3薄膜厚度监控艺术 :gTtWJ04]  
4.4膜层厚度的均匀性 -+y3~^EYm,  
习题 Vp
1Ff  
参考文献 Ud)2Mq1#M  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 c7A]\1 ~  
5.1薄膜的形成过程 6cXZ3;a  
5.2薄膜的微观结构 z[WdJN{  
5.3薄膜的成分 D[dI_|59a  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 /"@cv{  
5.5薄膜微观结构和改善 h^'+y1
 
习题 T 3<2ds  
参考文献 IlZ$Jd  
第三篇光学薄膜检测技术 Y2$xlqQd"  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ,c|Ai(U  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 5DL(#9F8b9  
6.2薄膜反射率的测试 #|K5ma  
6.3薄膜反射率的测量 95sK;`rE+  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 +LF`ZXe8l  
6.5总结 LoW}!,|  
习题 ^#]eCXv  
参考文献 ~uu{ v')  
第7章薄膜的吸收和散射测量 @3`Pq2
<  
7.1激光量热计基本原理 -nqq;|%  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 3&zcdwPj  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 y.gjs<y  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 [D2<)  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 xM$AhH  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 w%$J<Z^-?  
7.7总结 BBa!le9P  
习题 d "25e"(~F  
参考文献 AbIYdFXB  
第8章薄膜光学常数的测量 KM/c^a4V  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 :kvQ3E0  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 9
JJk\,  
8.3薄膜波导法 9\
>{1"a  
8.4光学薄膜厚度的测试 Rbcu5.6  
8.5总结 |%uy{
 
习题 >cH}sNHy  
参考文献 )!Zm*(  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 -'T^gEd)c  
9.1薄膜的力学特性检测技术 Z6#(83G4  
9.2薄膜器件的环境试验 a1z*Z/!5  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Bw>)gSB5$k  
9.4总结 rC6@ ]  
习题 s#FX2r3=Fg  
参考文献 wZt2%+$6m  
附录 @4Lol2  
附录A复数与复数运算 Va^(cnwa  
A.1复数的概念 MP~+@0cv  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 p21li}Iu  
A.3复数在物理中的运用 zT")!Df>'  
附录B矩陈及矩陈运算 _Zus4&'  
B.1矩陈的定义 8|tnhA]~  
B.2矩陈运算 ))I[@D1b  
附录C光的电磁理论基础 3
x>Y  
C.1振动与波 `!<#'PR  
C.2电磁波 ~YXkAS:  
C.3麦克斯韦方程 ucFfxar"  
C.4平面电磁波 6Oy6r  
C.5平面电磁波性质 36}&{A  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 c9Q_Qr0'  
附录D光的干涉 ])?
[9c  
D.1波的叠加原理 t(UdV  
D.2杨氏干涉 { T?1v*.[  
D.3平板的表面干涉 + aWcK6  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ;<#=|eD2  
附录E光的偏振 !UHX?<3r  
E.1自然光和偏振光 tc{Qd&"(  
E.2偏振光与Jones矩陈 eg"A?S  
E.3偏振光的获得 sLf~o"yb  
E.4偏振光的检验 <(l`zLf4p  
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