现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 KJCi4O&  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 y0\=F  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 f\c%G=y  
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第一篇光学多层膜设计 _v +At;Y  
第1章光学薄膜特性的理论计算 gtJCvVj>g  
1.1单色平面电磁波 _0!<iN L  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 -< }#ImTN  
1.3光学薄膜特性的理论计算 4<y|SI!  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 dY'>'1>P 9  
习题 _[8sL^  
第2章光学薄膜的设计理论 XDAwE  
2.1矢量作图法 =(Wl'iG   
2.2有效界面法 *}Nh7>d(  
2.3对称膜系的等效层 {14sI*b16  
2.4导纳图解技术 ( Y)a`[B  
习题 pb}4{]sI  
第3章光学薄膜系统的设计 ~_W>ND  
3.1减反射膜 <hzuPi@  
3.2分束镜 T8\%+3e.  
3.3高反射膜 CpdQ]Ai[
 
3.4干涉截止滤光片 D[bPm:\0M  
3.5带通滤光片 D0@d}N  
3.6特殊膜系 B6"pw0  
习题 =qFDrDt  
参考文献 A:YWXcg  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 6I~{~YvB"  
第4章薄膜制备技术 Y"'k $jS-  
4.1真空淀积工艺 #Q$`3rr  
4.2光学薄膜材料 (*dJ   
4.3薄膜厚度监控艺术 H`Ld,E2ex&  
4.4膜层厚度的均匀性 4&'_~qU  
习题 <]kifiN#  
参考文献 eKek~U&  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 $,#,yl ol  
5.1薄膜的形成过程 J&jig?t  
5.2薄膜的微观结构 B)L;ja  
5.3薄膜的成分 Cd51.Sk(l  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 W5a>6u=g,  
5.5薄膜微观结构和改善 X]AbBzy  
习题 A
lQ  
参考文献 N6*v!M+  
第三篇光学薄膜检测技术 8I|2yvhP  
第6章薄膜透射率和反射率测量
Rhil]|a/  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ?jRyw(Q  
6.2薄膜反射率的测试 'ktWKW$ D  
6.3薄膜反射率的测量 rCFTch"  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 >Gyg`L\  
6.5总结 5N4[hQrVJ  
习题 b=j]tb,  
参考文献 d( +E0  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ,1g*0W^  
7.1激光量热计基本原理 8/* 6&#-  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 M/^kita  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 'hw_ew   
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 uSi/|  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 _Q3Ad>,U  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 1F_ 1bAh$  
7.7总结 J>Uzd, /  
习题 .4-I^W"1  
参考文献 L?(% *  
第8章薄膜光学常数的测量 + s snCr  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 jboQ)NxT!,  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 "3Z<V8xB  
8.3薄膜波导法 HJ,sZ4*]]  
8.4光学薄膜厚度的测试
pr(16P  
8.5总结 wc5OK0|  
习题 k(v8zDq*  
参考文献 LYY|8)Nj2"  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 KGI0|Z]n~  
9.1薄膜的力学特性检测技术 dQ
4K^u  
9.2薄膜器件的环境试验 uKZe"wN;  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 );.q:"  
9.4总结 !B_?_ a  
习题 #815h,nP+  
参考文献 Z 7M%}V%  
附录 De*Z UN|<  
附录A复数与复数运算 (mJqI)m8  
A.1复数的概念 tT;=l[7%  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 "wPFQXU  
A.3复数在物理中的运用 a+CHrnU\;  
附录B矩陈及矩陈运算 Ur]~>-Z  
B.1矩陈的定义 )2P4EEs[  
B.2矩陈运算 o(/(`/  
附录C光的电磁理论基础 ;=.QT  
C.1振动与波 n_n0Q}du  
C.2电磁波 {&Fh$H!  
C.3麦克斯韦方程 G/Xa`4"_  
C.4平面电磁波 L:y} L  
C.5平面电磁波性质 Pb|'f(  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 !m#cn
eV  
附录D光的干涉 g&*pk5V>  
D.1波的叠加原理 y^gazr"  
D.2杨氏干涉 y/m^G=Q6g#  
D.3平板的表面干涉 {daNw>TH  
D.4光的空间相干性和时间相干性  OT9\K_  
附录E光的偏振 J(\"\
Z  
E.1自然光和偏振光 =Po!\[SBU  
E.2偏振光与Jones矩陈 ]8q5k5
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E.3偏振光的获得 X"W%(x`w  
E.4偏振光的检验 kQ$Q}3f  
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