现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 )+8r$ i  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 D
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 Ie=gI+2  

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第一篇光学多层膜设计 >hq{:m  
第1章光学薄膜特性的理论计算 q@XJ,e1A  
1.1单色平面电磁波 *icaKy3  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 _5(p=Zc  
1.3光学薄膜特性的理论计算 h"Wpb}FT  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 `'3 De(  
习题 5WxN
H}{  
第2章光学薄膜的设计理论 w2/
3[VZ}l  
2.1矢量作图法 fO^s4gWTg  
2.2有效界面法 /38I(0  
2.3对称膜系的等效层 YPq:z"`-y4  
2.4导纳图解技术 $3&XM  
习题 'NfsAE  
第3章光学薄膜系统的设计 tSoF!@6  
3.1减反射膜
KHC F
z  
3.2分束镜 ZF#n(Y?  
3.3高反射膜 !Icznou\
  
3.4干涉截止滤光片 $^czqA-&  
3.5带通滤光片 *&_cp]3-WF  
3.6特殊膜系 L\
c3D|  
习题 0raFb,6l  
参考文献 L>E{~yh  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 ^J^FGo|M  
第4章薄膜制备技术 1uG)U)y/Q  
4.1真空淀积工艺 1tiOf~)  
4.2光学薄膜材料 Y$c7uA:4  
4.3薄膜厚度监控艺术 F6Q%<p a  
4.4膜层厚度的均匀性 TqV^\C?  
习题 H]wP\m)  
参考文献 +_S0  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 A:z  
5.1薄膜的形成过程 _nxu8g]  
5.2薄膜的微观结构 N`fFYO  
5.3薄膜的成分 v.TgB)  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 *mWl=J;u  
5.5薄膜微观结构和改善 P0hr=/h4  
习题 n4 N6]W\5  
参考文献 ]>k8v6*=  
第三篇光学薄膜检测技术 Q!=`|X|:  
第6章薄膜透射率和反射率测量 bT T>  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 !^0vi3I  
6.2薄膜反射率的测试 r%X M`;bQX  
6.3薄膜反射率的测量 vJVh%l+  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 3b_/QT5!  
6.5总结 _!Tjb^  
习题 ~EXCYUp4v  
参考文献 QV\af  
第7章薄膜的吸收和散射测量 JgKhrDx  
7.1激光量热计基本原理 <u0}&/  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 dvZlkMm   
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 C|w<mryx  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 vZ$E [EG}  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 5|Z8UzL  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 cwtlOg  
7.7总结 VSV]6$~H  
习题 7j&EQm5\9  
参考文献 ;E.f%  
第8章薄膜光学常数的测量 s] ;P<  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 N1.
1  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 fB,eeT1v?h  
8.3薄膜波导法 !io1~GpKS  
8.4光学薄膜厚度的测试 WDV=]D/OE  
8.5总结 Gx}`_[-  
习题 <&#]|HGc  
参考文献 ^>Z7."uGY  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 A8ef=ljM?  
9.1薄膜的力学特性检测技术 3k(tv U+eC  
9.2薄膜器件的环境试验 AcXVfk z  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Yl"CIgt  
9.4总结 g"Ueo'd*  
习题 W ;+()vC  
参考文献 8JF<SQ  
附录 wpi$-i`  
附录A复数与复数运算 +_bxza(ma{  
A.1复数的概念 x^pt^KR;  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 e<a*@ P,  
A.3复数在物理中的运用 (&r` l&0  
附录B矩陈及矩陈运算 "%a<+D  
B.1矩陈的定义 $o\z4_I  
B.2矩陈运算 CQa8I2VF (  
附录C光的电磁理论基础 r%ebC  
C.1振动与波 d8+@K&
z|  
C.2电磁波 J=: \b  
C.3麦克斯韦方程 ~OvbMWu  
C.4平面电磁波 Kr1Y3[iNv  
C.5平面电磁波性质 -{9mctt/gE  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 =>evkaj  
附录D光的干涉 <%m1+%mA.  
D.1波的叠加原理 dPf7o   
D.2杨氏干涉 )S`[ gK  
D.3平板的表面干涉 &nI>`Q'  
D.4光的空间相干性和时间相干性 G%>[7]H  
附录E光的偏振 PUZcb+%]h  
E.1自然光和偏振光 !.t D.(XP  
E.2偏振光与Jones矩陈 tCGx]\  
E.3偏振光的获得 p8@
&(+z  
E.4偏振光的检验 S^==$TT  
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