现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 , &
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光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 1z0|uc
 
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 *}T|T%L4)  

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D[}^G5  
第一篇光学多层膜设计 TD%L`Gk  
第1章光学薄膜特性的理论计算 @WJ\W`P  
1.1单色平面电磁波 zG8g}FrzG;  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ?#fm-5WIi  
1.3光学薄膜特性的理论计算 KV8<'g+2?  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 W-gu*iZ6&  
习题 *A4eYHn@  
第2章光学薄膜的设计理论 8Lgm50bs  
2.1矢量作图法 w^("Pg`  
2.2有效界面法 0igB pHS  
2.3对称膜系的等效层 ly35n`  
2.4导纳图解技术 r;MFVj{  
习题 t72rCq QC  
第3章光学薄膜系统的设计 [~X&J#  
3.1减反射膜 $4~Z]-38#A  
3.2分束镜 ^\kH^  
3.3高反射膜 $d!Vxm  
3.4干涉截止滤光片 >\3\&[#"  
3.5带通滤光片 tK/.9qP  
3.6特殊膜系 U]w"T{;@.)  
习题 k#u)+e.'  
参考文献 Jp%5qBS^
 
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 z1 MT@G)S$  
第4章薄膜制备技术 + d
3  
4.1真空淀积工艺 <VQ)}HW;k  
4.2光学薄膜材料 uv<_.Jq]  
4.3薄膜厚度监控艺术 .Gvk5Wn  
4.4膜层厚度的均匀性 hqlQ-aytS  
习题 i;s;:{cn  
参考文献 Xx%<rsA>F  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Jj\lF*B  
5.1薄膜的形成过程 &6 <a<S  
5.2薄膜的微观结构 [p~,;%  
5.3薄膜的成分 H0sTL#/L\  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 QxGcRlpLK  
5.5薄膜微观结构和改善 __
FEdO  
习题 NdSuOkwwt  
参考文献 EpyMc+.Ze'  
第三篇光学薄膜检测技术 kP^A~ZO.  
第6章薄膜透射率和反射率测量 mo] l_'  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 >C!^%e;m  
6.2薄膜反射率的测试 Hk@Gkx_  
6.3薄膜反射率的测量 {V[}#Mf  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 tq3Rc}  
6.5总结 %2\tly!{ %  
习题 'P" i9j  
参考文献 o kA<  
第7章薄膜的吸收和散射测量 l"1D'Hk  
7.1激光量热计基本原理 CswKT9  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 a!-J=\>9  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 FKu8R%9xn%  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 N$IA~)  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ,7c Rd}1Y  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 %Nvw`H  
7.7总结 #vxq|$e  
习题 ]d@>vzCO  
参考文献 )RvX}y-  
第8章薄膜光学常数的测量 X?wZ7*'1  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 l v hJ  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 1' v!~*af  
8.3薄膜波导法 z\A ),;  
8.4光学薄膜厚度的测试 KX
K5\#+L  
8.5总结 `&7tADFB  
习题 m,!SDCq  
参考文献 9A} *  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 h_S>
Q  
9.1薄膜的力学特性检测技术 D\9-/p  
9.2薄膜器件的环境试验 &JqaIJh
 
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 ,xVAJ6_#  
9.4总结 megTp  
习题 i2c|_B  
参考文献 c>{QTI:]  
附录
t4G$#~  
附录A复数与复数运算 y^}uL|=  
A.1复数的概念 *wj5(B<y  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ktx| c19  
A.3复数在物理中的运用 <?5|(Q"@:  
附录B矩陈及矩陈运算 Q=xXj'W-  
B.1矩陈的定义 dCTyfXou[=  
B.2矩陈运算 Yg3nT:K_Y&  
附录C光的电磁理论基础 #0[^jJ3J  
C.1振动与波 j;Z?q%M{6  
C.2电磁波 qJrKt=CE  
C.3麦克斯韦方程 9g5h~Ma  
C.4平面电磁波 qx[c
0X!  
C.5平面电磁波性质 z<vh8dNl  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 lYJSg70P  
附录D光的干涉 U|%
}B(  
D.1波的叠加原理 WEif&<Y  
D.2杨氏干涉 & rab,I"  
D.3平板的表面干涉 VDbbA\  
D.4光的空间相干性和时间相干性 tMX$8W0 c  
附录E光的偏振 y"q>}5  
E.1自然光和偏振光 vBl:&99[/  
E.2偏振光与Jones矩陈 60u_,@rV  
E.3偏振光的获得 7\,9Gcv1  
E.4偏振光的检验 [%N?D#;  
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