现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 wA.\
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光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 Q@HV- (A  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 g,Y/M3>(  

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第一篇光学多层膜设计 WPDyu.QD  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ?%kV?eu'  
1.1单色平面电磁波 \Og+c%  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 y> (w\K9W  
1.3光学薄膜特性的理论计算 C*lJrFpB  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 YbLW/E\T  
习题 _XT pU  
第2章光学薄膜的设计理论 -^wl>}#*T3  
2.1矢量作图法 BORA(,  
2.2有效界面法  z$Qbj  
2.3对称膜系的等效层 YoE3<[KD(  
2.4导纳图解技术 /L#?zSt  
习题 CH/rp4NeSy  
第3章光学薄膜系统的设计 &?RQZHtg  
3.1减反射膜 Ct|A:/z(  
3.2分束镜 4/)k)gLI  
3.3高反射膜 J-4:H gx  
3.4干涉截止滤光片 y!%CffF2  
3.5带通滤光片 3mni>*q7d  
3.6特殊膜系 h1(4Ic  
习题 A(N4N  
参考文献 (9h`3#  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 )_NO4`ejs/  
第4章薄膜制备技术 BPHW}F]X  
4.1真空淀积工艺 E!AE4B1bd  
4.2光学薄膜材料 -%dCw6aX+  
4.3薄膜厚度监控艺术 u-C)v*#L  
4.4膜层厚度的均匀性 xwty<?dRW1  
习题 4`R(?  
参考文献 TB^$1C  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 $mB;K]m  
5.1薄膜的形成过程 L_s:l9!r  
5.2薄膜的微观结构 hpJ-
r  
5.3薄膜的成分 :j`sr  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 D,ln
)["xm  
5.5薄膜微观结构和改善  Mc}^LDX  
习题 fxIf|9Qi`  
参考文献 ,?XCyHSgWW  
第三篇光学薄膜检测技术 MJrR[h]  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ;S*}WqP,  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 <^uBoKB/f  
6.2薄膜反射率的测试 k$7Jj-+~  
6.3薄膜反射率的测量  f V(J|  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 IqGdfL6[(  
6.5总结 xP,hTE  
习题 OUXR  
参考文献 a@*\o+Su  
第7章薄膜的吸收和散射测量 I`p;F!s  
7.1激光量热计基本原理 "wHFN>5B  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 @OHm#`~  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 BF<ikilR  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ]$_NyAoBb  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 &! ?eL  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 AzxXB  
7.7总结 C>w|a  
习题 &8 x-o,  
参考文献 6K<K  
第8章薄膜光学常数的测量 O0y_Lm\  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 Ub!(H^zu  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 "w.3Q96r  
8.3薄膜波导法 ""|Qtubv  
8.4光学薄膜厚度的测试 ?3xzd P  
8.5总结 RdML3E  
习题 }Z,x~G  
参考文献 !GGkdg*-*9  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 &JI8]JmU)  
9.1薄膜的力学特性检测技术 b>N8F^}~O  
9.2薄膜器件的环境试验 K6)j0]K1  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 3Ims6I]  
9.4总结 k)Qtfj}uij  
习题 E+w<R
NBmz  
参考文献 abLnI =W`  
附录 xK\
d4"  
附录A复数与复数运算 \;"=QmRD%:  
A.1复数的概念 u-5{U-^_  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 d;}nh2*  
A.3复数在物理中的运用 > "=>3  
附录B矩陈及矩陈运算 H DFOA  
B.1矩陈的定义 %-0t?/>  
B.2矩陈运算 2('HvH]k  
附录C光的电磁理论基础 t1y4 7fX6  
C.1振动与波 ^M>
P:~  
C.2电磁波 NPe%F+X  
C.3麦克斯韦方程 *w&Y$8c(  
C.4平面电磁波 "!%l/_p?  
C.5平面电磁波性质 fx>4  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 'y3!fN=h  
附录D光的干涉 A=wh@"2  
D.1波的叠加原理 n#OB%@]<V  
D.2杨氏干涉 %n:k#  
D.3平板的表面干涉 kq,ucU%>p  
D.4光的空间相干性和时间相干性 K
&KWN]  
附录E光的偏振 5,6"&vU,  
E.1自然光和偏振光 fDU!~/#  
E.2偏振光与Jones矩陈 exUu7&*:  
E.3偏振光的获得 X*@dj_,  
E.4偏振光的检验 EA]U50L(  
…… <3C*Z"aQ>|  
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电子文档下载：http://www.opticsky.cn/read-htm-tid-44072.html