现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 )xgOl*D  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 GSzb  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 H_gY)m  

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第一篇光学多层膜设计 }7p`8?  
第1章光学薄膜特性的理论计算 y;zp*(}f$h  
1.1单色平面电磁波 zu8   
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 cMxuG'{=.  
1.3光学薄膜特性的理论计算 chw6_ctR>  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 c*o05pMS  
习题 ;a@%FWc  
第2章光学薄膜的设计理论 _P6e%O8C#  
2.1矢量作图法 t[HfaW1W  
2.2有效界面法 JC|j*x(k/  
2.3对称膜系的等效层 $ ?ayE  
2.4导纳图解技术 o+{]&V->gN  
习题 *E$&  
第3章光学薄膜系统的设计 l":\@rm`  
3.1减反射膜 a2J01B  
3.2分束镜 %K0 H?^.  
3.3高反射膜 [D/q  
3.4干涉截止滤光片 }>`rf{T  
3.5带通滤光片 3d<Z##`{4  
3.6特殊膜系 WI@l2`X  
习题 v|DgRPY  
参考文献 ft |W  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 nPlg5&E  
第4章薄膜制备技术 Y3%_IwSJ|  
4.1真空淀积工艺 mn5y]:;`  
4.2光学薄膜材料 TsiI5'tx  
4.3薄膜厚度监控艺术 90Rz#qrI*  
4.4膜层厚度的均匀性 Y!!w*G9b  
习题 2
G=prS`s  
参考文献 ck0K^o v  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 W(~7e?fO  
5.1薄膜的形成过程 6uNWL `v  
5.2薄膜的微观结构 bF_SD\/  
5.3薄膜的成分 pZeJ$3@vk  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 [S Jx\Os  
5.5薄膜微观结构和改善 Y52f8qQq  
习题 94uAt&&b(  
参考文献 } O:Y?Wq
^  
第三篇光学薄膜检测技术 EV=/'f[++  
第6章薄膜透射率和反射率测量 JU>F&g/|  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 5?] Dn k.o  
6.2薄膜反射率的测试 r Uau??  
6.3薄膜反射率的测量 x:wv#Wh:l7  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ,)u1r3@I^  
6.5总结 TwdY6E3`  
习题 92F9)S{"  
参考文献 nF"NXYa  
第7章薄膜的吸收和散射测量 (U`<r-n\n  
7.1激光量热计基本原理 OSu/!Iv\  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 7+'&(^c  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 3Gk\3iU!  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 1n3XB+*  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 8'<RPU}M  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 z^,P2kqK_  
7.7总结 5MX7V4ist  
习题 
ro}WBv  
参考文献 DH9p1)L'  
第8章薄膜光学常数的测量 
c^F@9{I  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 [8 I*lsS  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 lZ'Z
L*  
8.3薄膜波导法 8T523VI  
8.4光学薄膜厚度的测试 KA/~q"N  
8.5总结 y8.3tp  
习题 9EFQo^ E  
参考文献 ]broU%#"  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ^1w<wB\B  
9.1薄膜的力学特性检测技术 MkK6.qV\z  
9.2薄膜器件的环境试验 qsG}A  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 HrK7qLw7  
9.4总结 16-1&WuY@  
习题 tNf_,]u  
参考文献 nN'>>'@>  
附录 4R}$P1 E  
附录A复数与复数运算 &iTTal.6  
A.1复数的概念 boeIO\2}P0  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 y F;KyY{  
A.3复数在物理中的运用 49!(Sa_]j  
附录B矩陈及矩陈运算 0Qr|!B:+9)  
B.1矩陈的定义 !QsmT3  
B.2矩陈运算 VJbn/5+P  
附录C光的电磁理论基础 f\u5=!kjN  
C.1振动与波 Yu+;vjbK-  
C.2电磁波 cv7.=*Kb;  
C.3麦克斯韦方程 /P[@o  
C.4平面电磁波 dUc?>#TU  
C.5平面电磁波性质 WR zIK09@  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 /St d6B*  
附录D光的干涉 1 ~s$<  
D.1波的叠加原理 y.aeXlc[  
D.2杨氏干涉 W@t{pXwLv  
D.3平板的表面干涉 $wm8N.I3I  
D.4光的空间相干性和时间相干性 QD
*\zB  
附录E光的偏振 g0M/Sv  
E.1自然光和偏振光 )Im3';qt  
E.2偏振光与Jones矩陈 F7&Oc)f"B  
E.3偏振光的获得 H=@S+4_bK  
E.4偏振光的检验 g{e@I;F  
…… 2PViY,V|  
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