现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 *)(S}D\94  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 = yFOH~_  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 IAHQT<]  
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第一篇光学多层膜设计 i'QR-B&Z  
第1章光学薄膜特性的理论计算 B1V+CP3t  
1.1单色平面电磁波 l*$~Y0  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 :jf/$]p  
1.3光学薄膜特性的理论计算 LVNA`|>  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 2lCgUe)N  
习题 b['v0x  
第2章光学薄膜的设计理论 fm^J-  
2.1矢量作图法 L)n_  Q  
2.2有效界面法 bt};Pn{3  
2.3对称膜系的等效层 jL7r1pu5  
2.4导纳图解技术 =fy\W=c  
习题 RW<10:  
第3章光学薄膜系统的设计 %L|xmx!c  
3.1减反射膜 p'0X>>$  
3.2分束镜 0v,fY2$c  
3.3高反射膜 tVe=c  
3.4干涉截止滤光片 BM{*5Lf  
3.5带通滤光片 nMJ(tQ  
3.6特殊膜系 g%V#Z`*|  
习题 ?t/G@  
参考文献 b BiTAP  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 -<ome~|  
第4章薄膜制备技术 |)C #  
4.1真空淀积工艺 ^`[<%.  
4.2光学薄膜材料 !rF
1Remw  
4.3薄膜厚度监控艺术 N^M6*,F,J  
4.4膜层厚度的均匀性 #+N_wIP4  
习题 :-WNw n  
参考文献 44s 9\  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 '1rGsfp6In  
5.1薄膜的形成过程 2acTw#  
5.2薄膜的微观结构 C+t0Zen  
5.3薄膜的成分 ORM3o
ucP  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 2+/r~LwbK  
5.5薄膜微观结构和改善 J(K/z,4h  
习题 .^2.h  
参考文献 RU=
\eD  
第三篇光学薄膜检测技术 <5"&]! .  
第6章薄膜透射率和反射率测量 BNF*1JO  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 PJ4/E  
6.2薄膜反射率的测试 %gQUog  
6.3薄膜反射率的测量 j sD]v)LB  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 g!.piG|  
6.5总结 &uF~t |!c  
习题 teI?.M9r  
参考文献 C4qK52'2s  
第7章薄膜的吸收和散射测量 Ir-QD!!<  
7.1激光量热计基本原理 =1k%T{>  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 q7rb3d  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 5}Id[%.x  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 *~YdL7f)J  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 \#]C !JQ  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 T*gG <8  
7.7总结 o>nw~_ H\  
习题 ,(-V<>/*.|  
参考文献 ]l C2YD}  
第8章薄膜光学常数的测量 7M _ mR Vh  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 EJ>rW(s  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 *];QPi~  
8.3薄膜波导法 "dGN0i  
8.4光学薄膜厚度的测试 {* :^K\-  
8.5总结 oc]:Ty  
习题 ll1N`ke  
参考文献 `d^Q!QxE  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 \<(EV,m2  
9.1薄膜的力学特性检测技术 
C7G,M  
9.2薄膜器件的环境试验 `"}).{N]C  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 ,*dLE   
9.4总结 ,Jh#$mil  
习题 .>#O'Z&q9  
参考文献 jl>TZ)4}V  
附录 BgD3P.;[  
附录A复数与复数运算 a]7g\rg)  
A.1复数的概念 mj
?Gc
  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 /g.c(-#]  
A.3复数在物理中的运用 7V8k =  
附录B矩陈及矩陈运算 ,`RX~ H=C  
B.1矩陈的定义 I*^t!+q$  
B.2矩陈运算 @MVul_@6  
附录C光的电磁理论基础 dt@c,McN|Q  
C.1振动与波 {Q37a=;,  
C.2电磁波 j5Da53c#^  
C.3麦克斯韦方程 .D ^~!A  
C.4平面电磁波 J _dgP[  
C.5平面电磁波性质 q?Csm\
Y  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Ha|}Oj  
附录D光的干涉 h@NC#Iod  
D.1波的叠加原理 8#
lq:  
D.2杨氏干涉 8C8S)
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D.3平板的表面干涉 $pAJ$0=sw  
D.4光的空间相干性和时间相干性 GC7WRA  
附录E光的偏振 A-:k4] {%P  
E.1自然光和偏振光 yU&;\'  
E.2偏振光与Jones矩陈 g hmn3  
E.3偏振光的获得 pZlsDM/=  
E.4偏振光的检验 %Z
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