现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 ~s[Yu!(  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 KpO%)M!/Z#  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 <%oT}K\;  

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第一篇光学多层膜设计 Zr;(a;QKs  
第1章光学薄膜特性的理论计算 l" H/PB<.  
1.1单色平面电磁波 79U7<]-!  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射
m RtE~~p  
1.3光学薄膜特性的理论计算 23`pog{n  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 0y#TGM|0D  
习题 `Y7&}/OM  
第2章光学薄膜的设计理论 1;+(HB  
2.1矢量作图法 {>#4{D00  
2.2有效界面法 ;[-y>qU0  
2.3对称膜系的等效层 jyjK~!0  
2.4导纳图解技术 !q*]_1  
习题 PPNZ(j  
第3章光学薄膜系统的设计 /?:]f  
3.1减反射膜 6z+*
H7Qz  
3.2分束镜 1Q9eS&  
3.3高反射膜 ]b@:?DX8  
3.4干涉截止滤光片 %MN>b[z  
3.5带通滤光片 bC]GL$ph9*  
3.6特殊膜系 MbC&u:@ "v  
习题 $e![^I]`  
参考文献 e+O0l  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 HoKN<w  
第4章薄膜制备技术 -ID!kZx  
4.1真空淀积工艺 iI%"]- 0@1  
4.2光学薄膜材料 aAkO>X%[  
4.3薄膜厚度监控艺术 Q,xKi|$r  
4.4膜层厚度的均匀性 ~r>
N  
习题 9Dy/-%Ut9  
参考文献 zDofe*  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 _6Fj&mw(u  
5.1薄膜的形成过程 YQ<O.E  
5.2薄膜的微观结构 YPsuG -is  
5.3薄膜的成分 9#niMv9  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 Y<-dd"\  
5.5薄膜微观结构和改善 1:lhZFZ  
习题 qnR
{'d  
参考文献 _&6&sp<n  
第三篇光学薄膜检测技术 68jq1Y Pv  
第6章薄膜透射率和反射率测量 tr\}lfK%  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 *HN0em  
6.2薄膜反射率的测试 Ot_xeg;7  
6.3薄膜反射率的测量 g4*]R>f  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 Y>[u(q&09O  
6.5总结 l]o&D))R  
习题 "5R8Zl+  
参考文献 O WVa&8O  
第7章薄膜的吸收和散射测量 bPtbU:G  
7.1激光量热计基本原理 UGJ# "9  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 .pQ4#AJ  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 &U8W(NxN  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 YWPAc>uw,  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 3pKr {U92  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 w/HGmVa  
7.7总结 YkLEK|d  
习题 rz%=qY  
参考文献 &Q"Ox{~W  
第8章薄膜光学常数的测量 Jm8#M z  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 C.$`HGv  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 )/F1,&/N`e  
8.3薄膜波导法 &Rx-zp&dJ  
8.4光学薄膜厚度的测试 sX,oJIt
 
8.5总结 bqAv)2  
习题 PO[ AP%;  
参考文献
%maLo RJ  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 RWi~34r  
9.1薄膜的力学特性检测技术 438+zU  
9.2薄膜器件的环境试验 Yg6 f  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 EV 8}C=  
9.4总结 V{[vIt*  
习题 L.z`>1  
参考文献 |:i``gFj  
附录 s:y=X$&M  
附录A复数与复数运算 K?q1I<94  
A.1复数的概念 .^S#h (A  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 b;O|-2AR  
A.3复数在物理中的运用 Y&k6Xhuao  
附录B矩陈及矩陈运算 <tbsQ3  
B.1矩陈的定义 F? kW{,*  
B.2矩陈运算 b_]14 v  
附录C光的电磁理论基础 X|F([,o  
C.1振动与波 MhZT<6  
C.2电磁波 Yl+r>+^  
C.3麦克斯韦方程 bb6J$NR  
C.4平面电磁波 YoKY&i6r}  
C.5平面电磁波性质 Y.qlY3iBp  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 0'm4 )\  
附录D光的干涉 q8;WHfGf  
D.1波的叠加原理 o5\nqw^  
D.2杨氏干涉 gNO<`9q  
D.3平板的表面干涉 UNJ]$x0  
D.4光的空间相干性和时间相干性 fRe$}KX
 
附录E光的偏振 3Q`F x  
E.1自然光和偏振光 6Uk[_)1  
E.2偏振光与Jones矩陈 W,iSN}  
E.3偏振光的获得 ?+S&`%?  
E.4偏振光的检验 L "L@4B  
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