现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 ],|
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光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 nd)`G$gL  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 .22}=z  
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第一篇光学多层膜设计 {fxytiH8  
第1章光学薄膜特性的理论计算 '>Uip+'  
1.1单色平面电磁波 [P3 Z"&  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 g0k{b  
1.3光学薄膜特性的理论计算 lEC91:Jyt  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 g{e@I;F  
习题 2PViY,V|  
第2章光学薄膜的设计理论 +5N09$f;R  
2.1矢量作图法 9xRor<  
2.2有效界面法 OV`#/QL  
2.3对称膜系的等效层 oTb4T=  
2.4导纳图解技术 {s
3j}&  
习题 \~#$o34V  
第3章光学薄膜系统的设计 GmdS~Fhp  
3.1减反射膜 AcIw; c:  
3.2分束镜 P"s7}cl  
3.3高反射膜 28,g'k!  
3.4干涉截止滤光片 U&OE*dq  
3.5带通滤光片 ?UBhM,;XK  
3.6特殊膜系 "%dok@v  
习题 I,7n-G_'  
参考文献 E
>&oe&`o'  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 qM9> x:V  
第4章薄膜制备技术 4*
?JU v  
4.1真空淀积工艺 VI;)VJbq  
4.2光学薄膜材料 87OX:6  
4.3薄膜厚度监控艺术 ~+anI  
4.4膜层厚度的均匀性 MB"<^ZX  
习题 te b/  
参考文献 F2C v,&'  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 lQt* LWd[  
5.1薄膜的形成过程 deqL  
5.2薄膜的微观结构 I`[s(C>3@  
5.3薄膜的成分 8]A`WDO3  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 !^IAn  
5.5薄膜微观结构和改善 D`@*udn=  
习题 ^ jT1q_0  
参考文献 Wu U_RE  
第三篇光学薄膜检测技术 JAS!eF  
第6章薄膜透射率和反射率测量 0
ChdFf7  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 9Fh1rZD<  
6.2薄膜反射率的测试 YnwP\Arfq  
6.3薄膜反射率的测量 95^-ptO{1`  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 g6(u6%MD  
6.5总结 tRmH6  
习题 $|H7fn(r  
参考文献 l3;MjNB^V  
第7章薄膜的吸收和散射测量 }NF7"tOL  
7.1激光量热计基本原理 ]V.0%Ccw;.  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 >@i{8AD  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 "V:E BR  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 |s{[<;  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 g/jlG%kI}  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 r|JZU  
7.7总结 Bw*
6X`'Q  
习题 =7 ${bp!  
参考文献 .>+jtp}  
第8章薄膜光学常数的测量 x L]Z3"p%  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 vw
/X  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 U Y')|2y 5  
8.3薄膜波导法 XZ1WY(  
8.4光学薄膜厚度的测试 p<AzpkU,A  
8.5总结 YfUUbV  
习题 "bk'#?9  
参考文献 }@NT#hD  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 a!*K)x,"<  
9.1薄膜的力学特性检测技术 |c3Yh,Sv  
9.2薄膜器件的环境试验 [y1 x`WOk9  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 vGI?X#w3  
9.4总结 UWW_[dJr  
习题 Ilv
_.  
参考文献 <s(<ax30  
附录 B4ky%gF4  
附录A复数与复数运算
qFg"!w  
A.1复数的概念 zx=AT
 
A.2复数的三角函数及指数表示方法 [" nDw
<U  
A.3复数在物理中的运用 O"~BnA`dJ  
附录B矩陈及矩陈运算 :}}~ $$&  
B.1矩陈的定义 ZX03FJL7u  
B.2矩陈运算 *u?N{LkqS  
附录C光的电磁理论基础 )1 =|\  
C.1振动与波 >2@ a\  
C.2电磁波 z9IJ%=R  
C.3麦克斯韦方程 q+}
Er*r  
C.4平面电磁波 QP0[  
C.5平面电磁波性质 G2e0\}q  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 eK'ztqQ  
附录D光的干涉 v#o<. Ig  
D.1波的叠加原理 H_+F~P5RC  
D.2杨氏干涉 Q2 @Ugt$  
D.3平板的表面干涉 OX*5 yT{  
D.4光的空间相干性和时间相干性 }~3 %KHT  
附录E光的偏振 :c^9\8S  
E.1自然光和偏振光 2$%E:J+2:$  
E.2偏振光与Jones矩陈 u=9)A9  
E.3偏振光的获得 _Vf0MU;3f+  
E.4偏振光的检验 EABy<i  
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