现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 #f[yp=uI:  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 w/R^Vwq  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 -V\33cA  

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第一篇光学多层膜设计 Qr/?tMALc  
第1章光学薄膜特性的理论计算 +}^
  
1.1单色平面电磁波 =zsXa=<  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 EV9m\'=j  
1.3光学薄膜特性的理论计算 }MoCUN)I  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 |(wx6H:  
习题 } nQHP4'  
第2章光学薄膜的设计理论 6A%Y/o
U+2  
2.1矢量作图法 sh0O~%]g  
2.2有效界面法 j"f]pzg&  
2.3对称膜系的等效层 -V9Cx_]y  
2.4导纳图解技术 {MIs%w.G  
习题 NY_Oo!)3  
第3章光学薄膜系统的设计 /q]WV^H  
3.1减反射膜 (\]_/ W  
3.2分束镜 '
:HV9]k  
3.3高反射膜 }JI5,d  
3.4干涉截止滤光片 HGPbx$!  
3.5带通滤光片 k|w6&k3  
3.6特殊膜系 fd(>[RP?  
习题 k(s3~S2h  
参考文献 h.DQ6!?;s  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 pPh$Jvo]  
第4章薄膜制备技术 BV<LIrAS  
4.1真空淀积工艺 pt<84CP  
4.2光学薄膜材料 wTOB'  
4.3薄膜厚度监控艺术 Bs^W0K$uBO  
4.4膜层厚度的均匀性 E;%{hAD{  
习题 D@mDhhK_  
参考文献 O^LzS&I*  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 1y 6H2  
5.1薄膜的形成过程 ak<?Eu9rV  
5.2薄膜的微观结构 '?#e$<uS-  
5.3薄膜的成分 vq x;FAqZ  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 B [03,zVf  
5.5薄膜微观结构和改善 ~fr1O`8  
习题 bvAO(`  
参考文献 .sCo,  
第三篇光学薄膜检测技术 Q7i^VN  
第6章薄膜透射率和反射率测量 eE1w<] Eg  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 eGZIdv1  
6.2薄膜反射率的测试 w)hJ0k  
6.3薄膜反射率的测量 +-5CM0*&  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 N-lXC"{)  
6.5总结 N@*v'MEko%  
习题 R\6#J0&Y-  
参考文献 9erTb?@S  
第7章薄膜的吸收和散射测量 #t9&X8:U  
7.1激光量热计基本原理 +>{{91mN  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 {R&F_51)V  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 0^zu T  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 \\BblzGMR  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 24]O0K  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ZcIwyh(`  
7.7总结 0YW<>Y`6  
习题 P oC*>R8  
参考文献 i_I`Y  
第8章薄膜光学常数的测量 ^-rb&kW@:  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 s}UP
e)Vu  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 RKRk,jRL  
8.3薄膜波导法 E+csK
*A7  
8.4光学薄膜厚度的测试 Gh|q[s*k  
8.5总结 `[[ A7  
习题 P3);R>j  
参考文献 KK/~W  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 =p ^Sn
,t  
9.1薄膜的力学特性检测技术 0!\pS{$zB  
9.2薄膜器件的环境试验 yG{'hx6H  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 iw<+rh*C  
9.4总结 8q}`4wC
D$  
习题 yn"8Ma*  
参考文献 Q;Xb-\\  
附录 -g_PJ.Hk  
附录A复数与复数运算 /id(atiF^  
A.1复数的概念 nQb{/ TqC'  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 3/P
2&m  
A.3复数在物理中的运用 ps^Z)x`GV  
附录B矩陈及矩陈运算 t d-EB&i\  
B.1矩陈的定义 ?tg(X[h{S  
B.2矩陈运算 6E85mfFS  
附录C光的电磁理论基础 Cz8
=G;\  
C.1振动与波 89?AcZ.D  
C.2电磁波 D'c,z[  
C.3麦克斯韦方程 _L<IxOZh+  
C.4平面电磁波 utfD$8UI  
C.5平面电磁波性质 ?kISAA4x  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 gVEW*8  
附录D光的干涉 [$ vAjP  
D.1波的叠加原理 q>?uB4>^  
D.2杨氏干涉 S3A OT  
D.3平板的表面干涉 ="JLUq*]s  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ldO6W7G|h  
附录E光的偏振 ~;9B\fE`  
E.1自然光和偏振光 H<Ed"-n$I<  
E.2偏振光与Jones矩陈 5W(G~m?jC6  
E.3偏振光的获得 rs`H':a/  
E.4偏振光的检验 ~f;d3dJ]/  
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