现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 y=y=W5#;77  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 {~DYf*RZ  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 uG1 1~uAt  
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第一篇光学多层膜设计 m%ZJp7C  
第1章光学薄膜特性的理论计算 loVUB'OSv  
1.1单色平面电磁波 MCH
RNhb9  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 1aKYxjYM  
1.3光学薄膜特性的理论计算 910Ym!\{:  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 z)
Xf6&  
习题 ;+]9KIa_Pq  
第2章光学薄膜的设计理论 LjUBV_J  
2.1矢量作图法 1Sox@Ko  
2.2有效界面法 ?29zcuRaru  
2.3对称膜系的等效层 kR%bdN  
2.4导纳图解技术 ;\7TQ9z  
习题 BCB"&:}  
第3章光学薄膜系统的设计 65bLkR{0  
3.1减反射膜 !xoN%5!  
3.2分束镜 Ws?BAfP  
3.3高反射膜 %zE_Q  
3.4干涉截止滤光片 <{@?c  
3.5带通滤光片 $Gb] K{e  
3.6特殊膜系 Tj@}O:q7:  
习题 REnd# V2x  
参考文献 6U;pYWht  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 <>GWSW  
第4章薄膜制备技术 \&\_[y8U  
4.1真空淀积工艺 F/9]{H  
4.2光学薄膜材料 IdTeue  
4.3薄膜厚度监控艺术 "sF&WuW|  
4.4膜层厚度的均匀性 h: :'s&|  
习题 U#G[#sd> K  
参考文献 A+%oE  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 dq%N,1.F  
5.1薄膜的形成过程 AfKJaDKf  
5.2薄膜的微观结构 0gPz|v>z  
5.3薄膜的成分 QC0^G,9.  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 H=]$9ZH!  
5.5薄膜微观结构和改善 E",s]  
习题 $Ch!]lJA
 
参考文献 $Tu%dE(OF  
第三篇光学薄膜检测技术 X0 &1ICZ  
第6章薄膜透射率和反射率测量 6'W79  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 =O~1L m;  
6.2薄膜反射率的测试 {snLiCl  
6.3薄膜反射率的测量 GL&ri!,  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ?RGL0`Lg  
6.5总结 b?7?iV4  
习题 fI}Z`*  
参考文献 i'J.c4  
第7章薄膜的吸收和散射测量 M= !Fb  
7.1激光量热计基本原理 6}mbj=E`  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 p,}-8#K[  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量
& Sy0Of  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 B9|!8V  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 `),7*gn*)  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 h4H~;Wl0  
7.7总结 eKn&`\j6  
习题 \1D~4Gz6}  
参考文献 x|*v(,7b]!  
第8章薄膜光学常数的测量 E&V"z^qs_  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ,(Fo%.j  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 a`(6hL3IT  
8.3薄膜波导法 @& #df  
8.4光学薄膜厚度的测试 $s.:wc^  
8.5总结 v=nq P{  
习题 "L.)ML  
参考文献 cv;&ff2%?  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 w[\*\'Vm0  
9.1薄膜的力学特性检测技术  'vj45b  
9.2薄膜器件的环境试验 leyhiL<  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 <&TAN L  
9.4总结 O_0|Q@  
习题 z=<T[Uy  
参考文献 o
wZjQ  
附录 1B=vrGq  
附录A复数与复数运算 3;~1rw=$<  
A.1复数的概念 m8$6FN  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 +o(t5O[G  
A.3复数在物理中的运用 W%b<(T;  
附录B矩陈及矩陈运算 0z/tceW'F  
B.1矩陈的定义 Lx,"jA/  
B.2矩陈运算 hXM8`iFW5  
附录C光的电磁理论基础 xksQMS2#  
C.1振动与波 C$oY,A,  
C.2电磁波 w_pEup\`  
C.3麦克斯韦方程 MBs]<(RJZ  
C.4平面电磁波 -[i9a:eRM  
C.5平面电磁波性质 %]nYv#K  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 B)/X:[  
附录D光的干涉 Htl6Mr*{  
D.1波的叠加原理 2\l7=9 ]\3  
D.2杨氏干涉 %!%3jo0t
 
D.3平板的表面干涉 <<@\K
,=  
D.4光的空间相干性和时间相干性 Ue
vbLt1Y  
附录E光的偏振 OP]=MZP|  
E.1自然光和偏振光 A?|KA<&m#u  
E.2偏振光与Jones矩陈 /XS6X  
E.3偏振光的获得 Tk$rwTCl  
E.4偏振光的检验 k#R}^Q  
…… :G
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