现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 Wu:vO2aw8  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 s`GSc)AI  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 > NK?!!A_  

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第一篇光学多层膜设计 ma?569Z8~0  
第1章光学薄膜特性的理论计算 GVn7#0x  
1.1单色平面电磁波 nN/v7^^  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 op&,&  
1.3光学薄膜特性的理论计算 =4+UX*&i?.  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 )!p=0&z@{  
习题 =F8uuYX%m  
第2章光学薄膜的设计理论 (/Z~0hA[Q  
2.1矢量作图法 az
0( 54M  
2.2有效界面法 j08|zUe  
2.3对称膜系的等效层 )d0&iE`@  
2.4导纳图解技术 )^g}'V=vIr  
习题 BP*
gnXj  
第3章光学薄膜系统的设计 e+4p__TmZ  
3.1减反射膜 duV|'ntr  
3.2分束镜 qs 52)$  
3.3高反射膜 BalOph4M[  
3.4干涉截止滤光片 Rm)vY}v  
3.5带通滤光片 hG&RGN_<6+  
3.6特殊膜系 m-> chOu~|  
习题 F)5QpDmqb  
参考文献 8+v6%,K2  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 8p>%}LX/  
第4章薄膜制备技术 BAg*zYV7  
4.1真空淀积工艺 @MAk/mb&  
4.2光学薄膜材料 @l>\vs<  
4.3薄膜厚度监控艺术 ]Fl+^aLS  
4.4膜层厚度的均匀性 DV*8Mkzg  
习题 6SlE>b9tA  
参考文献 VXR.2C  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响  U7tT  
5.1薄膜的形成过程 o(C({]UO/  
5.2薄膜的微观结构 m{(D*Vuqd  
5.3薄膜的成分 +J_A*B  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 1\kOjF)l  
5.5薄膜微观结构和改善 zZki9P   
习题 u%VO'}Gz  
参考文献 (3c,
;koRR  
第三篇光学薄膜检测技术 burEo
.=  
第6章薄膜透射率和反射率测量 1Qhx$If~  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 'rp(k\pY  
6.2薄膜反射率的测试 wL5IAkq  
6.3薄膜反射率的测量 n*@^c$&P  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 zu^?9k  
6.5总结 \qV5mD]"M  
习题 /$&~0pk  
参考文献 T*-*U/  
第7章薄膜的吸收和散射测量 4xe:+sA.N  
7.1激光量热计基本原理 </:f-J%U/  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 >OZ+k(saL  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ,^:Zf|V  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 V4/P  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 7$,["cJX  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 DtXXfp@;  
7.7总结 w v9s{I{P  
习题 h7[V
XE  
参考文献 1K09iB  
第8章薄膜光学常数的测量 J U}XSb  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 JWlH(-U4|  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 >`'#4!}G5j  
8.3薄膜波导法 iDp]lu  
8.4光学薄膜厚度的测试 pb_mW;JVu  
8.5总结 .Z'CqBr[:  
习题 }@!d(U*  
参考文献 q6\z]8)  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 (@uQ>dR:  
9.1薄膜的力学特性检测技术 )&se/x+  
9.2薄膜器件的环境试验 H Y.,f_m  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 jWUN~#p!  
9.4总结 7{v0K"E{  
习题 (gl CTF9v  
参考文献 R:0Fv9bwS  
附录 kOFEH!9&  
附录A复数与复数运算 L.l"'=M  
A.1复数的概念 Jj
yQ  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 \EUc1
7  
A.3复数在物理中的运用 \
eI )(,A  
附录B矩陈及矩陈运算 K ,f1c}  
B.1矩陈的定义 qaG%PH}a  
B.2矩陈运算 1
#aOgvf  
附录C光的电磁理论基础 b0ri
iF  
C.1振动与波 @l$cZie  
C.2电磁波 AN$}%t"  
C.3麦克斯韦方程 =Ky1v$<  
C.4平面电磁波 1S
0GjR  
C.5平面电磁波性质 FL(gwfL  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 , $78\B^  
附录D光的干涉 "aB]?4  
D.1波的叠加原理 =WJ*$j(  
D.2杨氏干涉 h9>~?1$lz  
D.3平板的表面干涉 YPf&y"E&H  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ,UH`l./3DX  
附录E光的偏振 42
U3>  
E.1自然光和偏振光 d3 fE[/oU  
E.2偏振光与Jones矩陈 67/hhO  
E.3偏振光的获得 75Jh(hd(  
E.4偏振光的检验 ~Jp\'P7*  
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