现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 rkiT1YTY  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ih?^t(i  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 #:T-hRu  

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第一篇光学多层膜设计 E}%hz*Q)(  
第1章光学薄膜特性的理论计算 uEc<}pV  
1.1单色平面电磁波 $gBd <N9|c  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 Y(.OF Q  
1.3光学薄膜特性的理论计算 WyP W*  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 [ sd;`xk  
习题 {'16:dTJ  
第2章光学薄膜的设计理论 }I`a`0/  
2.1矢量作图法 FKe,qTqa  
2.2有效界面法 5NJ4  
2.3对称膜系的等效层 oD}uOC}FS{  
2.4导纳图解技术 ]Qm]I1P  
习题 NBb6T V}j  
第3章光学薄膜系统的设计 eT2*W$  
3.1减反射膜 ?xK,mbFgl  
3.2分束镜 S*AERm  
3.3高反射膜 "`6n6r42  
3.4干涉截止滤光片 AIA6yeaU  
3.5带通滤光片 K'#E3={tt  
3.6特殊膜系 tGB@$UmfU  
习题 0ZQ'_g|%  
参考文献 ktDC/8
  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 +l=r#JF  
第4章薄膜制备技术 4Jx"A\5*G  
4.1真空淀积工艺 YJ(*wByM  
4.2光学薄膜材料 A)ipFB 6K  
4.3薄膜厚度监控艺术 t43)F9!  
4.4膜层厚度的均匀性 r,_?F7  
习题 %'0TXr$  
参考文献 Pz$R(TV  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 a1Qv@p^._b  
5.1薄膜的形成过程 M
Qin"\  
5.2薄膜的微观结构 
C*nB  
5.3薄膜的成分 %v2R.?F8  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 \=>H6x]q  
5.5薄膜微观结构和改善 %Qk/_ R1  
习题 JmEj{K<3I  
参考文献 l3 DYg  
第三篇光学薄膜检测技术 y!]CJigpZ  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ,]b~t0|B  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 }jill+]  
6.2薄膜反射率的测试 WOh|U4vt  
6.3薄膜反射率的测量 &HSq(te  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 8b0d]*q  
6.5总结 QNDHOo>v  
习题 {&Q9"C  
参考文献 F5o+kz$;  
第7章薄膜的吸收和散射测量 " LJq%E  
7.1激光量热计基本原理 ? R>h `  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 LY+|[qka  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 "n*~Mj Ny  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 vB+ '  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 *-
xU2  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 CW<N: F.9  
7.7总结 2U-3Q]/I}  
习题
@Vu(XG  
参考文献 c_elShK8#  
第8章薄膜光学常数的测量 bu51$s?B  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 \(%Y%?dy  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 B-l'
vVx  
8.3薄膜波导法 YM DMH"3  
8.4光学薄膜厚度的测试 H'HSD,>(  
8.5总结 Uo2GK3nT  
习题 tY <Z'xA?  
参考文献 t:fFU
1x  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ~RWktv  
9.1薄膜的力学特性检测技术 'MY/*k7:  
9.2薄膜器件的环境试验 xpOg8u5  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 _2N$LLbg  
9.4总结 O eL}EVs8=  
习题 Onwp-!!.  
参考文献 Y/7 $1
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附录 im @h -A]0  
附录A复数与复数运算 \m1~jMz*>k  
A.1复数的概念 !A%<#Gjt  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ?@V[#.  
A.3复数在物理中的运用 t#2(j1  
附录B矩陈及矩陈运算 &~W:xg(jN  
B.1矩陈的定义 q&d~ \{J  
B.2矩陈运算 i'\T R|qd  
附录C光的电磁理论基础 KIWe@e  
C.1振动与波 QV\eMuNy  
C.2电磁波 aE2.L;Tk?  
C.3麦克斯韦方程 NQ6sGL  
C.4平面电磁波 NC38fiH_N  
C.5平面电磁波性质 F;]%V%F.X  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 {D=@n4JO  
附录D光的干涉 I(XOE$3  
D.1波的叠加原理 A
F%@VLf  
D.2杨氏干涉 L`24?Y{  
D.3平板的表面干涉 ^#sU*trr  
D.4光的空间相干性和时间相干性 )P+7PhE{J  
附录E光的偏振 8-O)Xx}cU  
E.1自然光和偏振光 S9
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E.2偏振光与Jones矩陈 qT^I?g"!  
E.3偏振光的获得 uS^Ipxe\  
E.4偏振光的检验 bcYF\@};  
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