现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 u~Zx9>f  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 0zD[mt  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 %5|awWo_?  
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第一篇光学多层膜设计 C*A!`Q?1Y  
第1章光学薄膜特性的理论计算 >BU"C+a8g  
1.1单色平面电磁波 <d".v  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 v8Ga@*  
1.3光学薄膜特性的理论计算 @BbqYX  
1.4光学多层膜内的电场强度分布
zS]8ma  
习题 `w@8i[2J  
第2章光学薄膜的设计理论 .(T*mk*>  
2.1矢量作图法 BeAkG_uG  
2.2有效界面法 &rY73qfP'  
2.3对称膜系的等效层 4-RzWSFbo`  
2.4导纳图解技术 &jJj6 +P\  
习题 fUy:TCS  
第3章光学薄膜系统的设计 >OP[qj  
3.1减反射膜 B%Pg:|  
3.2分束镜 p*F.WxB)4  
3.3高反射膜 XcfvmlBoD-  
3.4干涉截止滤光片 7[=MgnmuC  
3.5带通滤光片 Gw4~  
3.6特殊膜系 wxy.&a]  
习题 Bp #:sAG  
参考文献 [I*zZ`  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 0q6$KP}q  
第4章薄膜制备技术 l423+vo  
4.1真空淀积工艺 aj>
6q=R  
4.2光学薄膜材料 _ISIq3A?  
4.3薄膜厚度监控艺术 :m~R<BQ"  
4.4膜层厚度的均匀性 8|FHr,  
习题 /G}TPXA  
参考文献 \]bAXa{ p  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 #^|"dIZ_M  
5.1薄膜的形成过程 >NL4&MV:  
5.2薄膜的微观结构 VJp; XM  
5.3薄膜的成分 !% 'dyj  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 W!@*3U]2R  
5.5薄膜微观结构和改善 <kJ,E[4`  
习题 v/NkG;NWM  
参考文献 <#c/uIN  
第三篇光学薄膜检测技术 r$7zk<01  
第6章薄膜透射率和反射率测量 >"}z % #  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ZdcG6IG+  
6.2薄膜反射率的测试 U]!~C 1cmw  
6.3薄膜反射率的测量 a#Yo^"*1  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 fpESuVKr  
6.5总结 CF|4, K)  
习题 {3s=U"\  
参考文献 t@hE}R  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ?4G/f<ou  
7.1激光量热计基本原理 x=Ef0v  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ?<3wks|
C  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 $F^p5EXkc6  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ~hx__^]d  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ak_&\'P  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 aJAQ G  
7.7总结 aaa6R|>0  
习题 _VvXE572  
参考文献 ,\2w+L5TD  
第8章薄膜光学常数的测量 ~Vh< mt  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 'aLTiF+  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 3rRN~$  
8.3薄膜波导法 Tj[=E  
8.4光学薄膜厚度的测试 \xtY\q,[  
8.5总结 -UTTJnu^  
习题 }{3
XbvC  
参考文献 Qv v~nGq$  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 "2J$~2{N  
9.1薄膜的力学特性检测技术 c5vi Y|C^  
9.2薄膜器件的环境试验 "$@Wy,yp  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 }VetaO2*  
9.4总结 N^Bjw?3  
习题 d z-  
参考文献 reO^_q'  
附录 *_Sx^`"X`l  
附录A复数与复数运算 mmf}6ABYT  
A.1复数的概念 "
}91wfG9  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 UoD@ix&0  
A.3复数在物理中的运用 =zetZJg  
附录B矩陈及矩陈运算 ke~S[bL%-  
B.1矩陈的定义 .66_g@1  
B.2矩陈运算 aC2cyUuaN  
附录C光的电磁理论基础 06r-@iY.]  
C.1振动与波 S(&]?!  
C.2电磁波 >I*Qc<X91  
C.3麦克斯韦方程 =x QLf4>  
C.4平面电磁波 krt8yAkG  
C.5平面电磁波性质 <aScA`\B#  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 I7[F,xci  
附录D光的干涉 r=S6yq}  
D.1波的叠加原理 .#BWu(EYV  
D.2杨氏干涉 Pl9Ky(Q`V  
D.3平板的表面干涉 FxK2 1  
D.4光的空间相干性和时间相干性 I"_``*/1  
附录E光的偏振 +6i~Rx>  
E.1自然光和偏振光 AhNy+p{  
E.2偏振光与Jones矩陈 ^y1P~4w?  
E.3偏振光的获得 cW|M4`  
E.4偏振光的检验 ~"IjT'W3  
…… X
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