现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 9J-!o]f .b  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 Z-? Iip{  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 |1_
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第一篇光学多层膜设计 Y\z^\k  
第1章光学薄膜特性的理论计算 =`7#^7Q9  
1.1单色平面电磁波 T!=20!I  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 5CH-:|(;=  
1.3光学薄膜特性的理论计算 oP|pOs\$p  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 .236d^l  
习题 )|{1&F1  
第2章光学薄膜的设计理论 <tu[cA>  
2.1矢量作图法 ]AFM Y<mB  
2.2有效界面法 p5twL  
2.3对称膜系的等效层 ;EE&~&*w  
2.4导纳图解技术 M0;t%*1  
习题 gJcXdv=]2  
第3章光学薄膜系统的设计 <6}f2^  
3.1减反射膜 HdY3DdC%q  
3.2分束镜 4t%:O4 3e  
3.3高反射膜 W[1f]w3  
3.4干涉截止滤光片 m>Z\ rqOK  
3.5带通滤光片 !7Yt`l$$z  
3.6特殊膜系 0bnVIG2q  
习题 2d>d(^  
参考文献 xnhDW7m  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 !F7EAQn{(  
第4章薄膜制备技术 lkSz7dr@  
4.1真空淀积工艺 Ye\*b?6  
4.2光学薄膜材料 t_zY0{|P  
4.3薄膜厚度监控艺术 Oc"'ay(g  
4.4膜层厚度的均匀性 Q#J>vwi=  
习题 jOm&yX  
参考文献 cmr6,3_  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 "zeJ4f  
5.1薄膜的形成过程 WDH[kJ  
5.2薄膜的微观结构 08K.\3  
5.3薄膜的成分 FB=  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 +Qi52OG  
5.5薄膜微观结构和改善 1EAVMJ  
习题 Zjp5\+hHV  
参考文献 ku[=QsMv  
第三篇光学薄膜检测技术 @]ptY*   
第6章薄膜透射率和反射率测量 d4/`:?w  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 }ygb
gyLa  
6.2薄膜反射率的测试 zfr(dQ  
6.3薄膜反射率的测量 _OknP2E  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 j$mt*z L  
6.5总结 !s[j1=y  
习题 *09
\\ G  
参考文献 V=l Q}sBY  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ev;5?9\E  
7.1激光量热计基本原理 'De'(I  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 tEWj}rX   
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 lc$@Jjg9  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 6ImV5^l  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 G|P
IH#  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 l=-dK_I?  
7.7总结 HDW\S#  
习题 |E_+*1lq.  
参考文献 8#Z\}gGz  
第8章薄膜光学常数的测量 YZ%f7BUk  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 pqQdr-aR
=  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 #Mem2cz  
8.3薄膜波导法 Kt* za  
8.4光学薄膜厚度的测试 4Utx 9^  
8.5总结 7dg 5HH  
习题 RY/ Z~]  
参考文献 &A5[C{x  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 h&)vdCCk  
9.1薄膜的力学特性检测技术 MTITIecw=  
9.2薄膜器件的环境试验 _OxnHf:|
 
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 fN*4(yw  
9.4总结 |z7Crz  
习题 n%ArA])_&  
参考文献 yA
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附录 piiQ  
附录A复数与复数运算 1d@^,7MF-  
A.1复数的概念 >'1Q"$;  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 M"$RtS|h  
A.3复数在物理中的运用 L pi_uK  
附录B矩陈及矩陈运算 z#E,96R
 
B.1矩陈的定义 sImxa`kb  
B.2矩陈运算 |xgCV@  
附录C光的电磁理论基础 QsF<=b~  
C.1振动与波 /h.3<HI."*  
C.2电磁波 fi4/@tV?$L  
C.3麦克斯韦方程 q}A3"$-F  
C.4平面电磁波 }?qnwx.  
C.5平面电磁波性质 ?>\]%$5o  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 tAu|8aL  
附录D光的干涉 UUEDCtF)  
D.1波的叠加原理 fUWm7>6VA>  
D.2杨氏干涉
l'{goyf  
D.3平板的表面干涉 0_zSQn9c  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ]aW.b_7<9  
附录E光的偏振 /G{3p&9  
E.1自然光和偏振光 [Z Gj7  
E.2偏振光与Jones矩陈 yExyx?j.  
E.3偏振光的获得 H=BR -  
E.4偏振光的检验 v*]Xur6e}  
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电子文档下载：http://www.opticsky.cn/read-htm-tid-44072.html