现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 On.{!:"I/  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 l0m-$/  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 D|p9qe5%  

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第一篇光学多层膜设计 <w9JRpFY  
第1章光学薄膜特性的理论计算 9
YyLf;  
1.1单色平面电磁波 (gU!=F?#m  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 S Lj!v&'  
1.3光学薄膜特性的理论计算 $6 9&O  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 y9GoPC`z  
习题 hEH?[>9  
第2章光学薄膜的设计理论 c_pr  
2.1矢量作图法 5m 4P\y^a  
2.2有效界面法 5PJhEB  
2.3对称膜系的等效层 =v&hWjP  
2.4导纳图解技术 uyWunpT  
习题 mdDOvm:&  
第3章光学薄膜系统的设计 _8J.fT$${  
3.1减反射膜 ((;!<5-`s  
3.2分束镜 -f^tE,
-  
3.3高反射膜 q~o<*W  
3.4干涉截止滤光片 $( kF#  
3.5带通滤光片 9:|{6_Y  
3.6特殊膜系 &h)yro  
习题 rJ4S%6w  
参考文献 v{N`.~,^  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 ]Q1yNtN  
第4章薄膜制备技术 %)1?TU  
4.1真空淀积工艺 G~[x 3L'  
4.2光学薄膜材料 3(N$nsi  
4.3薄膜厚度监控艺术 @*XV`_!h  
4.4膜层厚度的均匀性 ?e4YGOe.  
习题 |SSSH  
参考文献 JFmC\  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 lfgq=8d  
5.1薄膜的形成过程 gZXi]m&  
5.2薄膜的微观结构 8kIks
y  
5.3薄膜的成分 ? :%@vM  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 3;9^  
5.5薄膜微观结构和改善 +TL%-On  
习题 JPHL#sKyz  
参考文献 ~G&dqw/.-U  
第三篇光学薄膜检测技术 Dml;#'IF3  
第6章薄膜透射率和反射率测量 u c)eil  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 Wvh#:Z  
6.2薄膜反射率的测试 d7y[0<xM  
6.3薄膜反射率的测量 RbnVL$c  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 =y*IfG9b  
6.5总结 jB2[(  
习题 nR~@#P\  
参考文献 ;igIZ$&  
第7章薄膜的吸收和散射测量 h(dvZ= %  
7.1激光量热计基本原理 (%6P0*  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 9$
w.9`Py  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 5C]x!>kX  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ;[DU%f  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 !f[_+CD  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 \gaw6S>n}  
7.7总结 ]%H`_8<gc  
习题 ]_gU#,8  
参考文献 U7F!Z( 9  
第8章薄膜光学常数的测量
#
trK^(  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数  mq.`X:e  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 0s[Hkhls  
8.3薄膜波导法
!Ai@$tl[S  
8.4光学薄膜厚度的测试 2%m BK  
8.5总结 X+9>A.92  
习题 3nQ`]5.Q w  
参考文献 wn%A4-%{  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 
U8?mc  
9.1薄膜的力学特性检测技术 f$$/H>MJ  
9.2薄膜器件的环境试验 TD0 B%  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 =dKtV.L  
9.4总结 C1)!f j=  
习题 wP@(?z  
参考文献
N4!O.POP  
附录 n7[V&`e_  
附录A复数与复数运算 
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A.1复数的概念 6cX
yJW  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 a1lh-2xX  
A.3复数在物理中的运用 ?6U0PChy  
附录B矩陈及矩陈运算 NXrlk  
B.1矩陈的定义 *GPiOA a  
B.2矩陈运算 }Sv:`9=  
附录C光的电磁理论基础 #\OA)`U  
C.1振动与波 h2R::/2.  
C.2电磁波 ZFL~;_r  
C.3麦克斯韦方程 #*
Ctwl,T  
C.4平面电磁波 ;.980+i1  
C.5平面电磁波性质 F JyT+  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 57c8xk[.2  
附录D光的干涉 4tBYR9|  
D.1波的叠加原理 kffcm/  
D.2杨氏干涉 e\L8oOk#r  
D.3平板的表面干涉 ^1.By^ $  
D.4光的空间相干性和时间相干性 .ioEIsg  
附录E光的偏振 F)eelPZ+,  
E.1自然光和偏振光 4kx N<]  
E.2偏振光与Jones矩陈 ;i+jJ4  
E.3偏振光的获得 &^jXEz;  
E.4偏振光的检验 L!xi  
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