我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： +u25>pX
低真空时间: V~e1CZ(2X
0000——3.0 E0 8分钟 Hvor{o5|tB
但此时不能开启高阀 )m5<gp `
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 ,I Sq7*%F
0000——8.0E-1 65分钟 3%|<U51
高真空时间: #c/v2
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 vbwEX 6
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） =bv8W < #
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 r \=p.cw<
抽真空环境： H,3 $TNX y
温度：26℃-28℃ @J"
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湿度：45% / HaS.
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） 1{";u"q
可是现在不知道为什么抽不动了。 )#* c|.
主要表现在
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0000——3.0 E0 8分钟 z^B!-FcIz>
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 rD$7;
使用丙酮检漏没有发现漏点。 YWq[)F@0G
扩散泵油很好，很清亮。 i1aS2gFi_
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