我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： PS[+~>%
低真空时间: 0|a(]a}V*j
0000——3.0 E0 8分钟 |>#{[wko
但此时不能开启高阀 :$n=$C -wp
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 + ~ >Aj
0000——8.0E-1 65分钟 F F|F U<
高真空时间: *m#Za<_Gv
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 w'm;82V:P-
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） gntxNp[9T
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 @w?P7P<O`
抽真空环境： PF53mUs4
温度：26℃-28℃ .dav8n*
湿度：45% %oO4|JkJX
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） HBMhtfWW
可是现在不知道为什么抽不动了。 `tn{ei
主要表现在 vMm1Z5S/
0000——3.0 E0 8分钟 | y2w9n0D
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 3h *!V6%q
使用丙酮检漏没有发现漏点。 6#HK'7ClL
扩散泵油很好，很清亮。 v~^{{O
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