我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： UOe@R|79q
低真空时间: )Zvn{
0000——3.0 E0 8分钟 !( _ qM
但此时不能开启高阀 |>JRJ"CFE
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 | m #"
0000——8.0E-1 65分钟 meD83,L~N
高真空时间: h?QGJ^#8
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 Vvn~G.&)
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） ?+]
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 %u?A> $Jn
抽真空环境： CT.hBz
-S
温度：26℃-28℃ SR4 m bQ:
湿度：45% P!R`b9_U
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤）
/p|L.&`U
可是现在不知道为什么抽不动了。 @Y%i`}T%(
主要表现在 _k)EqPYu@
0000——3.0 E0 8分钟 ` b)i;m
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 C61E=$
使用丙酮检漏没有发现漏点。 oJc v D
扩散泵油很好，很清亮。 g s%[Cv
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