[求助]我的镀膜机抽不动了，请达人！ [复制链接]

我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： *BOBH;s  
低真空时间: B=zMYi  
0000——3.0 E0        8分钟 $L{7%]7QC  
但此时不能开启高阀 iHz[Zw^.s  
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 }iNY_I c  
0000——8.0E-1        65分钟 g_ M-F  
高真空时间: 9*pG?3*I  
8.0E-1——4.8E-3      65分钟    epVH.u%  
4.8E-3¬——4.5E-3      20分钟（熔料） -CU,z|g+  
4.5E-3——2.5E-3      60分钟    _T~H[&Hl  
抽真空环境： XZO<dhZX:  
  温度：26℃-28℃ 2V$9ei6  
  湿度：45% 878tI3-  
  烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） 1q!sKoJ<  
可是现在不知道为什么抽不动了。 ryEvmWYu  
主要表现在 3 jh|y
,  
0000——3.0 E0        8分钟 Zr"dOj$Jf  
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 |h,FUj<r  
使用丙酮检漏没有发现漏点。 D8/sz`N7Q  
扩散泵油很好，很清亮。 l<RfRqjw  
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@3 "DBJ  
(46U|P(v  

估计机器中有较多水汽，影响抽速，建议对机器进行烘烤，并把里面的元件都重新打磨擦拭一下

真空计和表头会不会有问题,有般都喜欢在上面抹点真空脂,多了表头会有问题的

真空管，机械泵在查查啊 ！！！！！！！！！！！

真空管，机械泵在查查啊 ！！！！！！！！！！！

到3帕还不能开高阀，我看问题就是出在这里。据楼上所说的，应该和泵没多大的关系。

问题现在找出来了。故障主要原因是一台扩散泵体一处有很细裂纹，跟换扩散泵后正常

你的机台是不是扩散泵油加多那，检查一下有的用量；或是你的加热丝有问题，功率不够或是达不到！

请将你的RP的型号及厂牌告诉我，另外真空度单们是？ XWJ0=t&}  
或许我能帮你一下

可能是烘烤接线柱了漏气