我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： <3bh-)
低真空时间: f19
i
!
0000——3.0 E0 8分钟 U
uys G\
但此时不能开启高阀 rW^&8E[
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 m8?(.BJ%
0000——8.0E-1 65分钟 b}
*cw2
高真空时间: 'K1w.hC<
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 m3D'7 *U
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） 4Zq5
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 !m;VWGl*
抽真空环境： Rl~Tw9
温度：26℃-28℃ 7~',q"4P/_
湿度：45% H{BjxZ~)
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） b6lL8KOu
可是现在不知道为什么抽不动了。 }Z6/b
_kV
主要表现在 oAL-v428
0000——3.0 E0 8分钟 ^\!p ;R
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 S92Dvw?
使用丙酮检漏没有发现漏点。 ivm.n g[
扩散泵油很好，很清亮。 cZYX[.oIB
;kbz( :wA
+[ F8>9o&
jmIP c3O0
