我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： AhjUFz
低真空时间: JMnk~8O
0000——3.0 E0 8分钟 c|s*(WljY
但此时不能开启高阀 @L)=epC
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 !E0zj9 [ R
0000——8.0E-1 65分钟 $h({x~Oj9
高真空时间: RnA>oKc
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 cP4K9:k
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） Ru W62QSq
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 41d,<E
抽真空环境： cvf@B_iN9
温度：26℃-28℃ Q|^TR__
湿度：45% QzzV+YG$(4
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） 0S {dnp
可是现在不知道为什么抽不动了。 5K~kzR L$r
主要表现在 b`4R`mo
0000——3.0 E0 8分钟 Or0eY#c
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 }P5zf$
使用丙酮检漏没有发现漏点。 | Q
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扩散泵油很好，很清亮。 V
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