我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： OmW|\d PU
低真空时间: 0&)4^->c
0000——3.0 E0 8分钟 : s35{K
但此时不能开启高阀 4_eq@'9-q
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 <cS1}"
0000——8.0E-1 65分钟 ,k4
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高真空时间: te_D
,
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 <_}u5E)7(
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） ]dH; +3 }
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 ? :,j9:m?
抽真空环境：
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温度：26℃-28℃ fjf\/%
湿度：45% xE:p)B-]
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） {chl+au*l
可是现在不知道为什么抽不动了。 &e{&<ZVR
主要表现在 &j $ k58mX
0000——3.0 E0 8分钟 q>?oV(sF
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 i=+ "[ h^
使用丙酮检漏没有发现漏点。 59|Tmf(dS;
扩散泵油很好，很清亮。 IcN|e4t^J+
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