我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： Y]C; T
低真空时间: % &^Q(f
0000——3.0 E0 8分钟 &EAk
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但此时不能开启高阀 v"z (JF
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 x}tKewdOSe
0000——8.0E-1 65分钟 H4M{_2DO
高真空时间: s~S?D{!
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 z>4 D~HX
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） Tr}R`6d$
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 c]A
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抽真空环境： m)s
xotgXf
温度：26℃-28℃ No:^hY:F8
湿度：45% )-=2w-ZX
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） `.{U-U\
可是现在不知道为什么抽不动了。 ?n!lU r$:y
主要表现在 @Z?7E8(
0000——3.0 E0 8分钟 WK
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真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 Y4QLs^Id B
使用丙酮检漏没有发现漏点。 's)fO#
扩散泵油很好，很清亮。 ; ;<J
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