我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： N j;5iy
低真空时间: c=,HLHpFO(
0000——3.0 E0 8分钟 }W)b
但此时不能开启高阀 &@K6;T
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 d.|*sZ&3p
0000——8.0E-1 65分钟 nW)?cQ
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高真空时间: ZIN1y;dJ
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 /!?b&N/d)
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） EXMW,
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 u*f`\vs
抽真空环境： X1HEeJ|
温度：26℃-28℃ -Ew>3Q
湿度：45% C7O8B;
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） Lk) I;;
可是现在不知道为什么抽不动了。 4a0Ud !Qcs
主要表现在 +e^ CL#Gs
0000——3.0 E0 8分钟 z3Yi$*q <
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 qV9}N-sS
使用丙酮检漏没有发现漏点。 DIABR%0
扩散泵油很好，很清亮。 _@i- ?Q
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