我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： ]JM9 ^F
低真空时间: A=3 U4L
0000——3.0 E0 8分钟 0 s 4j>
但此时不能开启高阀 =Tj0dfO|"
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽
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0000——8.0E-1 65分钟 4v ?S` w:6
高真空时间: Yp;x
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 x-W0 h
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） ~p 1y+
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 [p( C:rH
抽真空环境： # \M<6n{
温度：26℃-28℃ e'?(`yW>
湿度：45% GS ^4t mc
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤）
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可是现在不知道为什么抽不动了。 }$UFc1He\J
主要表现在 2]' ozs$|v
0000——3.0 E0 8分钟 F`N *{at
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 _8`|KY
使用丙酮检漏没有发现漏点。 T<?;:MO88
扩散泵油很好，很清亮。 ~& l`"
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