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    [求助]我的镀膜机抽不动了，请达人！ [复制链接]

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    离线wsxiswu
    实习生
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    只看该作者 10楼 发表于: 2008-07-14
    油很好！！从视镜里看很清亮！
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    离线wsxiswu
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    只看该作者 11楼 发表于: 2008-07-14
    感觉还可以 ！！从油视镜里看还很清亮！！
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    离线syw1984
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    只看该作者 12楼 发表于: 2008-07-14
    你的高真空规管有没换过，或者是真空计有问题
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    离线yzhuang
    论坛版主
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    只看该作者 13楼 发表于: 2008-07-16
    我觉得如果你是机械泵加罗咨泵做前级的话，很可能是罗咨泵出了问题，因为你只是3.0 E0——8.0 E-1        这一段时间太长
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    离线wsxiswu
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    只看该作者 14楼 发表于: 2008-07-17
    1、真空管换新，不做考虑。 XY)&}u.  
    2、“很可能是罗咨泵出了问题，因为你只是3.0 E0——8.0 E-1        这一段时间太长” W<$Z=(_v  
         我现在最想解决的问题是为什么我不能在3.0E0开高阀。 !QHFg-=7  
         和厂家联系他们说漏气，但我总觉得好像是扩散泵抽气能力问题。比如铭牌是 ?NR A:t(}  
            10000L/S  ，现 在可能只有5000L/S，我现在想测测扩散泵抽速不知道各位达人 l@H  
          有没有好的办法
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    离线syw1984
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    只看该作者 15楼 发表于: 2008-07-29
    开高伐前不要开加热，高伐汽缸是否漏气
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    离线dede
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    只看该作者 16楼 发表于: 2008-07-30
    我比较赞同yzhuang的观点,罗茨泵的问题!很可能是罗茨泵的轴套与轴之间的密封圈已失效!
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    离线wo07102329
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    只看该作者 17楼 发表于: 2008-07-31
    问题解决了么？ 'u_t<F ]b  
    罗茨泵的问题，应该是的
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    离线wsxiswu
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    只看该作者 18楼 发表于: 2008-08-06
    罗茨泵已经检修，抽气时间得到提升。目前从到3.0E-3在1小时45分钟左右。 t{FlB!jv  
    但高阀开启点还是在9.0E-1左右
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    离线zzh1011
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    只看该作者 19楼 发表于: 2008-08-06
    用的什么真空仪，调零后试一试！
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