α-BBOGlan-laser Polarizer的设计和选型格兰激光棱镜偏振镜由两个相同的双折射材料棱镜制成。 格兰激光棱镜偏振镜是格兰泰勒(Glan Taylor)型的改进,旨在减少棱镜界面处的反射损耗。 具有两个逸出窗口的偏振器允许被截止的光束从偏振器中逸出,这使其更适合于高能激光器。逸出窗口的表面质量与入射面和出射面相比,相对低一级。α-BBO Glan-Laser 格兰激光偏振棱镜
一、设计原理 1. 晶体属性 α-BBO 负单轴晶体,,透光190~3500nm,适配 193/266/355nm 紫外激光,双折射大、偏振性能优异。 2. 结构形式 两块等腰直角 α-BBO 棱镜斜面贴合,光轴相互平行,垂直端面入射。 3. 分光滤光原理 自然光分解为 o 光、e 光;利用全反射临界角设计,o 光斜面全反射被滤除,仅 e 光直线透射输出高纯线偏振光。 结构通光截面窄、光程短,专为高功率激光光路设计。 4. 结构特点 入射视场角偏小,抗激光损伤能力强,端面反射低,可承受高峰值功率激光。 二、核心设计参数 ·工作波段:190~3500nm,190nm 以下无法使用 ·消光比:标准,高精款可达 ·损伤阈值:355nm 约,同材质里抗损最优 ·视场角:典型 ±3°~±5°,窄角度入射适配 ·面形精度:常规,精密光路 ·贴合工艺 光胶:无胶层,高功率、紫外光路标配,无吸收老化 胶合:仅 400nm 以上低功率场景使用 ·通光孔径:常规 Φ6/8/10/15mm,光束预留 1.2 倍余量 三、同系列棱镜对比
四、核心光学参数(福州呈欣光电有限公司) 福州呈欣光电标准型号:GLP60系列 ·波长范围:190–3500 nm(覆盖 532/1064/1310/1550/2000 nm) ·消光比:<5×10⁻⁶(典型 10⁻⁶,200,000:1) ·半视场角:>6° ·e 光透过率 Tp:>95%(镀膜后) ·损伤阈值(脉冲):>500 MW/cm² @1064 nm, 20 ns ·损伤阈值(CW):>100 W/cm² @1064 nm ·波前畸变:<λ/4 @633 nm(Laser 级) ·光束偏移:<3 arcmin ·表面质量:20/10 S-D 五、主要应用场景 1. 高功率紫外激光系统 倍频、和频、激光刻蚀、精密打标,腔内偏振锁定与光束净化。 2. 半导体高端检测 光刻光路、掩模精密检测、激光散射缺陷扫描。 3. 非线性光学实验 偏振选频、光参量振荡、强光偏振控制。 4. 激光测距与精密干涉 抑制偏振杂光,提升测量稳定性与精度。 5. 激光隔离防护光路 阻挡反向回光,保护激光器谐振腔。 六、选型准则 1. 波长<190nm,更换 MgF₂格兰激光棱镜 2. 高峰值功率、窄光束优先选用本型号 3. 紫外强光工况必须选用光胶结构 4. 大光斑、大角度入射改用格兰汤普森型 5. 匹配对应波段增透镀膜,降低端面反射损耗 分享到:
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