【光通信制造】基于白光干涉的微透镜阵列三维形貌测量：纳米级曲率精度自动化检测技术方案

文档内容主要是白光干涉仪在大规模微透镜阵列（MLA）自动化检测中的关键技术与应用：基于低相干干涉原理，白光干涉仪可实现纳米级垂直分辨率的非接触三维形貌测量，精准提取曲率半径、矢高、面型误差等关键参数，确保微透镜阵列的几何一致性。系统通过自动定位、工艺坐标导入、批量扫描和数据分析四个步骤，完成晶圆级MLA的高效自动化检测，并广泛应用于800G/1.6T光模块、VCSEL耦合、AR/VR器件等高端光通信制造领域。

适合人群：从事光通信器件制造、微光学加工、精密测量等领域的工程技术人员及质量控制人员，具备光学原理和半导体工艺基础知识者更佳。

使用场景及目标：

①实现微透镜阵列的高精度三维形貌测量与参数计算；

②支持光模块中光学耦合效率提升的质量控制；

③满足晶圆级器件批量检测的自动化需求，提高生产良率与工艺稳定性。

阅读建议：本方案强调测量精度与自动化流程的结合，建议读者重点关注曲率半径的计算方法、系统检测流程及实际应用场景，结合自身产线需求进行技术对标与优化参考。