摘要
{B4qeG5 Rb&9!z 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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:/$WeAg {tY1$}R 建模任务
Dm5 Uy^F} 8(L2w|+B<
jHn7H)F8 $/IFSB9 1阶的
参数优化
oeZuvPCl Abt<23$h
OoH-E.lp H${L F.8 结果-容差分析
S_Wq`I@b Q[rZ1z
'6&o:t f'@ L|&w 结果-容差分析
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It&CM,=t z06,$OYz 在
VirtualLab Fusion中查看
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$m2#oI'D d9;&Y?fp VirtualLab Fusion的工作流程
c:7F
2+p Y'iyfnk •构造光栅结构
6{1=3.CL - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
O=RS</01! - 倾斜光栅的高级配置[用例]
j_N<aX •分析光栅衍射效率
&TQ~!ZMOR" - 光栅级次分析器[用例]
0h*Le •使用参数优化优化光栅参数
Jl`^`Yv •使用参数运行进行容差分析
R2sG'<0B0 - 参数运行文档的用法[用例]
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"Mk8 eQu(3 sYb VirtualLab Fusion技术
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