摘要
:gwM$2vv @7}]\}SR 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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^yM`$5[ 建模任务
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m-w K8]t9 u`ezQvrcy 1阶的
参数优化
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.%x1%TN 4?u<i=i 结果-容差分析
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CRh.1- 'xG:v)( 结果-容差分析
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H,Y+n)5 izvwXC 在
VirtualLab Fusion中查看
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?D,8lABkT `B%IHr VirtualLab Fusion的工作流程
}2!=1|} &BZjQK •构造光栅结构
\@eaSa - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
=-dg]Ol8 - 倾斜光栅的高级配置[用例]
kc:>[ {9 •分析光栅衍射效率
"C~Zl&3 - 光栅级次分析器[用例]
F, 39'<N[ •使用参数优化优化光栅参数
7`pK=E}+ •使用参数运行进行容差分析
~\yk{1S - 参数运行文档的用法[用例]
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voitdz K1oSoD8c VirtualLab Fusion技术
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