[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 $rJgBN  
CM6! 1 7  
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 &fsk ESV0  
VUOe7c=  

图片:1-1ZR3110153312.png

j`+{FCB7  
5LZs_%#  
建模任务 E.*gKfL  
MdFFt:y:  

图片:1-1ZR31102241U.png

x|gYxZ  
,g4T>7`&U%  
1阶的参数优化 Dk&(QajL  
l;$FR4}d  

图片:1-1ZR3110300146.png

A]1dR\p  
e}n(mq  
结果-容差分析 3dJiu  
ArScJ\/Nwv  

图片:1-1ZR311033c64.png

I2-ue 63 ?  
T`,G57-5  
结果-容差分析 RR|X4h0.  
QpA$='  

图片:1-1ZR3110400923.png

EPA 2_  
I_e7rE0`  
在VirtualLab Fusion中查看 HXX9D&c4R  
&M tF  

图片:1-1ZR31104205S.png

=$%-RX7  
r;{ggwY&J  
VirtualLab Fusion的工作流程 A'Z!l20_  
h6bvUI+|h  
•构造光栅结构 JpZ_cb`<E'  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 2b
G92  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] p&#ju*i6z  
•分析光栅衍射效率 0:-z+`RHE  
- 光栅级次分析器[用例] NJmx(!Xsh  
•使用参数优化优化光栅参数 ] _W'-B  
•使用参数运行进行容差分析  w%::
~]  
- 参数运行文档的用法[用例] (pHJEY  
<WnIJum  

图片:1-1ZR3110443116.png

,%qP   
X]n`YF7  
VirtualLab Fusion技术 wp'[AR
}  
!&cfX/y8  

图片:1-1ZR3110554J9.png