摘要
>Sb3]$$ oqzWL~ 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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?P/73p e$&n)>% 建模任务
#$}A$ sm LCuz_LTFq{ yI^7sf7k A r<!F/ 1阶的
参数优化
yD@1H(yM *Rxn3tR7 8\jsGN.$JZ #7KR`H 结果-容差分析
R*r"}; %"WhD'*z} RiFUa
$ $VF$Ok> 结果-容差分析
kdaq_O:s qd<I;*WV {d.K)8\ "8~PfLJ+ 在
VirtualLab Fusion中查看
<j3|Mh_(I >]uu?!PU EV7lgKM^ Ys|SacWC VirtualLab Fusion的工作流程
CTxP3a9] 2jxIr-a1G •构造光栅结构
G,<l}(tEG - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
:zNNtv iA - 倾斜光栅的高级配置[用例]
M27H{}v •分析光栅衍射效率
qh6rMqq - 光栅级次分析器[用例]
Ey=}bBx •使用参数优化优化光栅参数
F!p;]B •使用参数运行进行容差分析
dGz4`1(> - 参数运行文档的用法[用例]
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