摘要 %-nYK3
\C{Dui)F
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 a *hWODYn
xX !`0T7Y
%w$\v"^_Y
z`}<mY
E
建模任务 f6of8BOg
!g`^<y!
+6zW(Ql/
)a7nr<)aU
1阶的参数优化 s'7PHP)LOJ
c*m7'\
.8GX8[t
&b__/o
结果-容差分析 '3i,^g0?t0
mBwM=LAZ
&g;&=<#I
~M c'~:{O
结果-容差分析 {+3
`{34e
~cf*Oq
]\JLlQ}#H
-$ VP#%
在VirtualLab Fusion中查看 " jBc5*
&g.do?
|#b]e|aP
cj64.C
VirtualLab Fusion的工作流程 ?5IF;vk
>fq]c
•构造光栅结构 6*aU^#Hz6
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] w=QlQ\
- 倾斜光栅的高级配置[用例] CyV2=o!F w
•分析光栅衍射效率 '+s ?\X4VC
- 光栅级次分析器[用例] W?:e4:Q
•使用参数优化优化光栅参数 [yhK4A
•使用参数运行进行容差分析 FUO 9jX
- 参数运行文档的用法[用例] j&N {j_M
d :vuRK4+
c:[8ng 2v
#FhgKwx
VirtualLab Fusion技术 U [R[VY7
sU$<v( `"