摘要
@]HV:7<q 8C=Y(vPk2 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
WDiF:@^K ls6ywLP{ Q_#X*I }h>e=< 设计任务
Nu{RF H2RNekck b,G+=&6u MT#9x> ASaG }h 光栅特性与参数的严格分析
h3xX26l bah5 f 不同光栅周期的衍射效率
%2oLND}?z ~eL7=G@{ tO?*x/XC{ m=fmf( 考虑光栅周期的选择
S-yd-MtQp ( L RX #D+Fq^="P 偏振相关衍射特性
a+mq=K miHW1h[= ^ I,1kl~i foE2rV/Y 偏振相关衍射特性
,l7ty#j 1xq1te) x)vYc36H #>ci!4Gz=Z 偏振相关衍射特性
O t`}eL- S_2I8G^A %v~j10e x_Ais&Gc 基于参数优化的光栅设计
iJrscy- '}4[m>/ 具有固定周期的二维参数优化
>cMU<'& 6nGDoW# ^#^u90I 二维参数优化 - 设计#1
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U`Mo 7P|(j<JX6' 二维参数优化 - 设计#2
?QVD)JI*k o~>p=5t N{p2@_fnB <!OP b(g2 制造
公差分析 - 设计#2
'T|.<u@~ vlj|[joXw J?%D4AeS]v ]r"{G*1Q
9 不同光栅周期的
三维参数优化
tfv]AC7x (uV7N7 <1 &*)tqQeQf H#Og0gEE}5 制造公差分析
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