摘要
\14"B gj1 **rA/*Oc 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
OYGh!sW ./@!k[ %dTkw+J .gNWDk0$Y 建模任务
.3Nd[+[ YV*s1t/ -|mWi -;_`>OU{ 1阶的
参数优化
}LS:f,1oGp G l+[|?N =whZ?,u1 gnmKh>0@6o 结果-容差分析
<@FOqi{o{ V,bfD3S3 <,d .`0:y HlqvXt\ 结果-容差分析
'v^CA} ]]{$X_0n \P]w^ e&f9/rfx 在
VirtualLab Fusion中查看
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#X <=8REA? ~dfc VirtualLab Fusion的工作流程
[-!
x[7jm"Pz •构造光栅结构
<}-[9fW - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
T^u ][I3* - 倾斜光栅的高级配置[用例]
e2Sm.H ' •分析光栅衍射效率
zVe@`gc - 光栅级次分析器[用例]
zCKZv|j6 •使用参数优化优化光栅参数
z]ZhvH7- •使用参数运行进行容差分析
([zt}uf - 参数运行文档的用法[用例]
pv&:N,p }^WQNdws56 oK&LYlU 98h,VuKVaB VirtualLab Fusion技术
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