摘要
yf+)6D -9n PZ9I`P!C 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
T8g$uFo z:*|a+cy
6&x@.1('z /4Gt{ygSr 建模任务
fZF@k5*\ Xv^qVn4
Lf&kv7Wj /8S>;5hvK@ 1阶的
参数优化
y)@wjH{6 GTd,n=
77Y/!~kd bH~dJFj/ 结果-容差分析
?caSb=f y6a3tG
Zy/_
E@C}u ;Y, y 4{H3 结果-容差分析
* EH~_F fJg+ Ryo
(LCfUI6; $UwCMPs X 在
VirtualLab Fusion中查看
Zh~'9 JH guR/\z$D@C
B@ EC5Ap* Bzf^ivT3L VirtualLab Fusion的工作流程
[/r(__. uY To9A •构造光栅结构
6=C<>c%+ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
E1
2uZ$X - 倾斜光栅的高级配置[用例]
1% ` Rs
•分析光栅衍射效率
8s@3hXD& - 光栅级次分析器[用例]
PKz':_| •使用参数优化优化光栅参数
}SZd •使用参数运行进行容差分析
OyIw>Wfv - 参数运行文档的用法[用例]
(ZlU^Gw#UB sI2^Qp@O1
2=}FBA,2 ;'1d1\wiDQ VirtualLab Fusion技术
o8MZiU1Xf i|kRK7[6B