摘要 N/%#GfXx
aqM_t
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 4 P;O8KA5y
$1?X%8V
<=inogf
T8441qo{>
建模任务 @}?D<O8#"#
V^{!d}
{6n \532@
`e9uSF:9C
1阶的参数优化 *h4m<\^U
,\M_q">npc
Q'a N|^w"f
[;=ky<K0E
结果-容差分析 V[I<9xaE
84!4Vz^
=_dd4`G&<
68c;Vb
结果-容差分析 h(8;7}K
Yy)a,clZ*$
"?{yVu~9
PbPP1G')
在VirtualLab Fusion中查看 gk z#kiGF
9Bk}g50$#
)A0&16<
[~<',,tA0|
VirtualLab Fusion的工作流程 4LjSDgA
x!~OK::o8
•构造光栅结构 _;q-+"6L;
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] ,&?q}M
- 倾斜光栅的高级配置[用例] v,+l xY
•分析光栅衍射效率 48g^~{T4O
- 光栅级次分析器[用例] J\so8uT:
•使用参数优化优化光栅参数 'r n;|K
•使用参数运行进行容差分析 \r%Vgne-g
- 参数运行文档的用法[用例] <PN;D#2bh
++!E9GU{
1:!rw,Jzl`
\.1b\\
VirtualLab Fusion技术 r65NKiQD
_A|\.(t