摘要
hkyO_ns 2NJ\`1HZ\ 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
9R2"(.U n*Dn{ 7v#z
Z:<an+v|5 3z, Ci$[ 建模任务
"OA{[)fw" =-_hq'il
%$kd`Rl} k0O5c[j 1阶的
参数优化
dWQB1Y*N y.I&x#(^
-ycdg'v G&Dl($ 结果-容差分析
SE43C %hv %k32:qe
qrp@ Ef?hkq7X< 结果-容差分析
Z\U r F0 <xF]ca
UKZ)Boo 8PH4v\tJEK 在
VirtualLab Fusion中查看
0ug&HEl_w JKfJ%yy |
\lm]G7h fqY'Uq$= VirtualLab Fusion的工作流程
,c^nW qljsoDG •构造光栅结构
$,]U~7S - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
9(q(;|;Hp - 倾斜光栅的高级配置[用例]
d23=WNn •分析光栅衍射效率
&^DVSVqs^ - 光栅级次分析器[用例]
Z=-#{{bv •使用参数优化优化光栅参数
("A45\5 •使用参数运行进行容差分析
e#5WX - 参数运行文档的用法[用例]
Onqapm0 <8%+-[(
~jKIuO/ j*8Ze!^ VirtualLab Fusion技术
!pe[H*Cy KX x+J}n