摘要
q`"gT;3S g[q1P:I@W 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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[@uL)*o_# ]wER&/v" 1阶的
参数优化
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]Tx8ImD#)A _F;(#D 结果-容差分析
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.px*.e s Fwm{oypg% 在
VirtualLab Fusion中查看
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&&+ VirtualLab Fusion的工作流程
1YTnOiYS1 "6gu6f •构造光栅结构
n,wLk./` - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
I'`Q_5s5 - 倾斜光栅的高级配置[用例]
lw\OsB$ •分析光栅衍射效率
DCACj-f - 光栅级次分析器[用例]
|FS79Bv •使用参数优化优化光栅参数
/E2/3z •使用参数运行进行容差分析
DQ?'f@I&* - 参数运行文档的用法[用例]
HfFP4#C, 9} :n
zRx-xWo `9(TqcE VirtualLab Fusion技术
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