摘要
+TA(crD 7H++ pOF 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
Z9 }qds6 y A&)P_B1|
4- N># Q(E$;@
建模任务
Su6ZO'[) hFyN|Dqhds
c[@>#7p`o 6D_4o&N 1阶的
参数优化
SQW A{f X
NnsMl
9O~1o?ni Z;SRW92@ 结果-容差分析
0XvMaQXQF SL>>]A,E<`
~)Ny8Dh GVCyVt[!- 结果-容差分析
/$]dVvhX% )u'oI_
IeZ}`$[H ;{j:5+' 在
VirtualLab Fusion中查看
Kx ?}%@b DTAEfs!ZW
laKMQLtv wC..LdSR VirtualLab Fusion的工作流程
,K8PumM_ VCkhK9(N •构造光栅结构
6aXsRhQ~ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
/!d,f4n - 倾斜光栅的高级配置[用例]
bXC;6xZV •分析光栅衍射效率
Q3_ia5 `O - 光栅级次分析器[用例]
~|R"GloUw •使用参数优化优化光栅参数
-Y2h vC •使用参数运行进行容差分析
,`S"nq - 参数运行文档的用法[用例]
dD@T}^j *| M@
! {m
%fK"g2: 'hg, W] VirtualLab Fusion技术
?v8B;="#w nke[}Hqf