[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 4jX@m  
^n&]HzT`y  
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 <rX\LwR  
]6{(Hjt  
7~wFU*P1  
s~=KhP~  
建模任务 )o#6-K+b  
]<27Sw&yaG  
EI1W .V>@  
5/B#)gm  
1阶的参数优化 K,f* SXM  
9ZDVy7m\i-  
& u$(NbK  
VK2@2`$  
结果-容差分析 { p1lae  
nJFk4v4:2  
>u=%Lz"J  
[ rQMD^:M$  
结果-容差分析 EKZA5J7kn  
|DN^NhtE  
w4\BD&7V  
X=v~^8M7%  
在VirtualLab Fusion中查看 t< sp%zXZ  
tm(v~L%$>]  
?gLR<d_  
UT3bd,,  
VirtualLab Fusion的工作流程 C,o:  
/~40rXH2C
 
•构造光栅结构 pw@`}cM=  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] [6AHaOhR'  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] 8r,9OM  
•分析光栅衍射效率 !*&4< _  
- 光栅级次分析器[用例] Hx$.9'Oq\Q  
•使用参数优化优化光栅参数 A-Mj|V  
•使用参数运行进行容差分析 B@-|b  
- 参数运行文档的用法[用例] ?4^};wDb2  
N99[.mErU  
p-.Ri^p   
4~!Eje!  
VirtualLab Fusion技术 6\NvG,8  
"tqnx?pM