摘要
'lxLnX qwL0~I 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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H]Y#pLu| 9qnuR'BDu 建模任务
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参数优化
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d]^\w'w$ @=02 结果-容差分析
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VirtualLab Fusion中查看
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pI'8>_o #k"1wSx16 VirtualLab Fusion的工作流程
/E=h{| j:3A;r\ •构造光栅结构
R
tXF - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
L-^# 02 - 倾斜光栅的高级配置[用例]
k/$Ja; •分析光栅衍射效率
Rh wt< - 光栅级次分析器[用例]
43UJ#rF •使用参数优化优化光栅参数
:7HVBH •使用参数运行进行容差分析
n,CD4Nv - 参数运行文档的用法[用例]
wJ;9),fL 9nP*N`
wxdh?sQ :6\-9m8JM VirtualLab Fusion技术
[V!^\g\6 ?AqrlR]5