摘要
R`!x<J }yK_2zak5i 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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&r/a\t,8n ;oH%d;H 建模任务
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?E 1阶的
参数优化
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l{\~I d Am(uJ 结果-容差分析
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5d*k[fZ a4 O 结果-容差分析
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z X2BJ T&tCXi 在
VirtualLab Fusion中查看
(SkI9[1\@3 &t5pJ`$(Cy
5owUQg,W K0g<11}(Yg VirtualLab Fusion的工作流程
Fwm{oypg% "m3u}!`3 •构造光栅结构
,xn+T)2I - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
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- 倾斜光栅的高级配置[用例]
=xS(Er`r •分析光栅衍射效率
#hH "g - 光栅级次分析器[用例]
kbI:}b7H •使用参数优化优化光栅参数
1WfN_JKB5 •使用参数运行进行容差分析
@Vr?)_0 - 参数运行文档的用法[用例]
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l$}h1&V7 ;k9s@e#a VirtualLab Fusion技术
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