摘要
.RH }/D :,y V?E6] 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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9s6, &' oa t*ORL 建模任务
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ueZ `+g~gg k4'rDJfB 1阶的
参数优化
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@fRB0m"3 v )!Rir5 结果-容差分析
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pq #Hca[ ueD G1) 结果-容差分析
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!h}x,=`z/ >1T=Aw2Z. 在
VirtualLab Fusion中查看
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[m Jc c :R{Xd{? VirtualLab Fusion的工作流程
|s+[489g'6 PZKKbg2 S •构造光栅结构
A &~G - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
'D-eFJ5 - 倾斜光栅的高级配置[用例]
NjMbQ M4 •分析光栅衍射效率
`]#D dJ_| - 光栅级次分析器[用例]
epJVs0W •使用参数优化优化光栅参数
&`0y<0z •使用参数运行进行容差分析
9(QY~F - 参数运行文档的用法[用例]
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L:IaJ? +? 5Z ] `n VirtualLab Fusion技术
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