摘要
]b; m~|9 ssx#|InY 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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5}Q 7`;f<QNo 建模任务
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h,pK 1阶的
参数优化
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2c S}VS@KDO 
C 5gdvJN O 1z0dHa 结果-容差分析
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EZ .3Z` KH;~VR8"/ 在
VirtualLab Fusion中查看
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T9Q3 I aqI"4v]~b VirtualLab Fusion的工作流程
`"&Nw,C ft(o-f7, •构造光栅结构
&N/t%q - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
hk4t #Km - 倾斜光栅的高级配置[用例]
? /z[Jx. •分析光栅衍射效率
(^
EuF] - 光栅级次分析器[用例]
|}
b+$J •使用参数优化优化光栅参数
R\3a Sx L •使用参数运行进行容差分析
tj@(0}pi4 - 参数运行文档的用法[用例]
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4G(7V: F =e9o*z VirtualLab Fusion技术
O[ird`/ #mu L-V 
