摘要
j` {?OYD {5Q!Y&N.% 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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/2&c$9=1 9)l$ aBa 建模任务
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#]\Uk,mhZB /J]5H 1阶的
参数优化
n GC/R& on4HKeO 
]vAz Sj3+l7S? 结果-容差分析
z0 d.J1VW = }~hWL 
K%t*8
4j D, k6$` 结果-容差分析
bTI|F]^! z}.e]|b^H 
'6DBs8>1 !Lu2 在
VirtualLab Fusion中查看
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n*h)'8`Ut A[B<~ VirtualLab Fusion的工作流程
)~X2
&^orW 0Fq}
N •构造光栅结构
v_yw@ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
irZ])a - 倾斜光栅的高级配置[用例]
+5)nk} •分析光栅衍射效率
Mc) }\{J - 光栅级次分析器[用例]
W <'m: dq •使用参数优化优化光栅参数
~$ c\JKH- •使用参数运行进行容差分析
&1Ok`_plO - 参数运行文档的用法[用例]
VM ZMG$C B.=FSow 
Lw1Yvtn <]ox;-56 VirtualLab Fusion技术
wH*-(*N " d z|or9& 
