摘要
T9YrB %/r:iD 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
[n$6T "i\^GK=
eB<R"Yvi p%+'iDb 建模任务
=GC,1WVEqV 4=l$wg~;
vSo,,~F gAK"ShOhG= 1阶的
参数优化
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CH0Nkf &iaS3x 结果-容差分析
GjX6noqT 6&"GTK
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}aH(vf 结果-容差分析
[$`%ve L1QDA}6?_Y
8M7Bw[Q1 dlioa Yc 在
VirtualLab Fusion中查看
,HK-mAH ,3Aiz|v-
Pk`3sfz 6P02= VirtualLab Fusion的工作流程
1P G"IaOb WIw*//nw •构造光栅结构
xks Me - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
3 ]pHc)p!. - 倾斜光栅的高级配置[用例]
D/Py?<n-B •分析光栅衍射效率
r"`7ezun: - 光栅级次分析器[用例]
n]jw!; •使用参数优化优化光栅参数
e. R9: •使用参数运行进行容差分析
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Yg8yAt - 参数运行文档的用法[用例]
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&W*^&0AV b[ ~-b VirtualLab Fusion技术
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