摘要
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^s, xe@11/F 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
TfnBPO PC)aVr?@@ )aAKxC7w 1. 建模任务
Hw1:zro ,)35Vi;. 2. 干涉条纹的变化
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rWULv 3. VirtualLab Fusion概览
yOswqhz 'Da*MGu9 jBMGm"NE 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
uA;vW\fHr 设置输入场
%3Tz%>n - Basic Source Models [教程视频]
jxqKPMf>@% 定义组件的位置和方向
B>UF dj]- - Basic Source Models [教程视频]
7'zXf)! 正确设置通道以进行非顺序跟踪
W|CZA - Basic Source Models [使用案例]
bw8[L;~%_ 使用
参数运行检查影响/变化
I%M"I0FV - Usage of the Parameter Run Document [用例]
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]114\JE wCgi@\ 5. VirtualLab Fusion 技术
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