摘要
JEL.*[/ L*(!P4S%} 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
J<9;Ix8R v1R t$[ *3!#W|#=]N 1. 建模任务
9K:ICXm j^T
i6F>f 2. 干涉条纹的变化
s7Z+--I)L {W' 9k x :? EL)(
3. VirtualLab Fusion概览
H
%bXx- [uLpm*7 UhX)?'J 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
.4cVX|T 设置输入场
EyDH-}Y - Basic Source Models [教程视频]
fG,)`[eD!_ 定义组件的位置和方向
7Eo;TNbb - Basic Source Models [教程视频]
<*3#nA-O>i 正确设置通道以进行非顺序跟踪
lJJ`aYDp - Basic Source Models [使用案例]
xt zjFfq 使用
参数运行检查影响/变化
VkD}gJY - Usage of the Parameter Run Document [用例]
x4N*P K})w Zsto8wuf# dcH@$D@~S 5. VirtualLab Fusion 技术
4(%LG)a4S T1U8ZEK<iu