摘要
iM64,wnA hZNEv| 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
J35l7HH ~Y/z=^ <~%t$: 1. 建模任务
2Yyb#Ow wt7.oKbW 2. 干涉条纹的变化
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?N^>zie Ww87
3. VirtualLab Fusion概览
u"F;OT\>g rqvU8T7A K
M]Wl_z 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
R/N<0!HZ 设置输入场
[w%#<5h - Basic Source Models [教程视频]
8)Tj
H' 定义组件的位置和方向
'=%i, - Basic Source Models [教程视频]
gv` h-b 正确设置通道以进行非顺序跟踪
O~Uw&Bq - Basic Source Models [使用案例]
6bL"LM`s 使用
参数运行检查影响/变化
&y3B)#dIJ - Usage of the Parameter Run Document [用例]
E2yz=7sv5 6IF|3@yD ._BB+G Rk[8Bd?
5. VirtualLab Fusion 技术
gO{W#% A[Cg/
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