摘要
Gmq/3tw `P8Vh+7u 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
isZA oYVu 846$x$G4 ZOQTINf 1. 建模任务
(v}>tb*#` -:Ia^{YN 2. 干涉条纹的变化
d)R:9M}v j/nWb`#y ?$6Y2 3. VirtualLab Fusion概览
B,@c;K N%"Y IS#FiH 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
:xh?eN& 设置输入场
bV$)!]V - Basic Source Models [教程视频]
'F_8j; 定义组件的位置和方向
i]|Yg$ - Basic Source Models [教程视频]
tdSfi<y5I 正确设置通道以进行非顺序跟踪
aP8H`^DFX> - Basic Source Models [使用案例]
Rx);7j/5 使用
参数运行检查影响/变化
-xDGH - Usage of the Parameter Run Document [用例]
MV\|e1B} 3plzHz ,x )6Ny1x+ bX*Hi#J~A 5. VirtualLab Fusion 技术
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