摘要
h8`On/Ur_8 0>BxS9?w 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
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1. 建模任务
D#&9zR86F U*=E(l 2. 干涉条纹的变化
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3. VirtualLab Fusion概览
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U=~?ca 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
/Yy)=~t{ 设置输入场
*ai~!TR - Basic Source Models [教程视频]
"Wg,]$IvU 定义组件的位置和方向
Fa>f'VXx - Basic Source Models [教程视频]
'Eur[~k 正确设置通道以进行非顺序跟踪
%@vF% - Basic Source Models [使用案例]
OK80-/8HI 使用
参数运行检查影响/变化
Sxq@W8W - Usage of the Parameter Run Document [用例]
bHG<B bs"J]">(N ^5E9p@d"J 3LET zsJ 5. VirtualLab Fusion 技术
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