摘要
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^ {o'(_.{ 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
`,FA3boE 3kr.'O i @M^l`w 1. 建模任务
}uD*\. cor!S a> 2. 干涉条纹的变化
f#38QP-T {Y+e|B0 z/o&r`no
3. VirtualLab Fusion概览
YqKQm+G $*fEgU% c x'i~o' 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
J"eE9FLM 设置输入场
UZJs!#P - Basic Source Models [教程视频]
mg3YKHNG 定义组件的位置和方向
@ uL4'@Ej - Basic Source Models [教程视频]
nwJub$5 正确设置通道以进行非顺序跟踪
IYr4 - Basic Source Models [使用案例]
lA,[& 使用
参数运行检查影响/变化
2j^8{Agz - Usage of the Parameter Run Document [用例]
:2t?0YR 1OFrxSg _P_R`A)" gfXit$s 5. VirtualLab Fusion 技术
Wsw/ D #FGj)pu