摘要
mR$0Ij/v / 2MhP=, 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
jOZ>^5} ,{_56j^d, L s+zJ1 1. 建模任务
r{f$n &~'i,v|E 2. 干涉条纹的变化
fi%lN_Ev? {\X$vaF
U+aiH U9 3. VirtualLab Fusion概览
0}M'> G?!8T91; fKO@Qx] 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
?Zb3M 设置输入场
-s\R2_( - Basic Source Models [教程视频]
&'Xgf!x 定义组件的位置和方向
l;@bs - Basic Source Models [教程视频]
i=&]%T6Qk 正确设置通道以进行非顺序跟踪
{asq[;] - Basic Source Models [使用案例]
b5?k gY 使用
参数运行检查影响/变化
r.c:QY$ - Usage of the Parameter Run Document [用例]
rr>6; 9P*f
&da:{ Df$~=A} 5. VirtualLab Fusion 技术
{XV'C@B %'VzN3Q5V