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摘要 G~;hD-D~. :6Oh ?y@ 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 yxU??#v|g "mm|0PUJ xX]92Q s=xJcLA 1. 建模任务 crdp`}} gAWrn^2L5 ;+/[<bv d" zxt&oT0Q 2. 结果 ;\5^yDv[e |:?JSi0 .`ppp!:a4 5%E.UjC :jp4 !0w M!ra3Y
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