摘要
~t:b<'/ 99 !{[gOv 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
IPO[J^#Me fl"y@;;#h 2\w=U,;( 1. 建模任务
u!uDu,y A&P1M6Of 2. 干涉条纹的变化
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&'7"i~pC 3. VirtualLab Fusion概览
,z1!~gIal 7I(t,AKJ UNQRtR/ 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
JQ_gM._3 设置输入场
~RXpz-Ye - Basic Source Models [教程视频]
TJXraQK-= 定义组件的位置和方向
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- Basic Source Models [教程视频]
x~;EH6$5'/ 正确设置通道以进行非顺序跟踪
z`/.v&<>V - Basic Source Models [使用案例]
jAK{<7v4U 使用
参数运行检查影响/变化
`XxG"k\/S - Usage of the Parameter Run Document [用例]
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8( 5. VirtualLab Fusion 技术
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