摘要
Why`ziks e*NnVys 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
hHnYtq BW4J> { 5U$0F$BBp 1. 建模任务
+ye3HGD "+G8d'%YV 2. 干涉条纹的变化
mCVFS=8V @*((1(q '5$b-x6 F
3. VirtualLab Fusion概览
)jP1or W/h[A3 `3N ^<2p~h0
\ 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
'~=SzO 设置输入场
&V/MmmT
- Basic Source Models [教程视频]
SE %pw9 定义组件的位置和方向
2P0*NQ - Basic Source Models [教程视频]
2\{zmc}G-0 正确设置通道以进行非顺序跟踪
s2'h - Basic Source Models [使用案例]
}o`76rDN 使用
参数运行检查影响/变化
37o;; - Usage of the Parameter Run Document [用例]
1=V-V< SO!8Di VMWf>ZU ,k3FRes3 5. VirtualLab Fusion 技术
q(84+{>B t b}V5VH