摘要
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\V wH c"QkE* 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
3& fIO e$FAhwpon ^R8U-V8: 1. 建模任务
)$Dcrrj pJ)+}vascR 2. 干涉条纹的变化
{YO%JTQ uZ=UBir jU3;jm.)
3. VirtualLab Fusion概览
XeIUdg4>R 6|"!sW`%N b[&,%Sm+6 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
U`8^N.Snrp 设置输入场
9 z8<[> - Basic Source Models [教程视频]
7/U<\(V!g 定义组件的位置和方向
N8MlT \+r - Basic Source Models [教程视频]
3Q!J9t5dc 正确设置通道以进行非顺序跟踪
n'&`9M['%d - Basic Source Models [使用案例]
+{=_|3( 使用
参数运行检查影响/变化
)68fm\t( - Usage of the Parameter Run Document [用例]
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PRuSk-f 9,EaN{GM 5. VirtualLab Fusion 技术
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