摘要
Cb%?s 3<88j&9 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
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:,h47'0A 1. 建模任务
l&R~I6^E U7bbJ>U_| 2. 干涉条纹的变化
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\tc4DS 3. VirtualLab Fusion概览
U3}r.9/ *yN+Xm8o &^=6W3RD 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
P:eY>~m<; 设置输入场
jQxv`H - Basic Source Models [教程视频]
$!h21 定义组件的位置和方向
O8%+5l`T! - Basic Source Models [教程视频]
l}:&} 正确设置通道以进行非顺序跟踪
8=Xy19<;t - Basic Source Models [使用案例]
80TSE* 使用
参数运行检查影响/变化
?W:YS82 - Usage of the Parameter Run Document [用例]
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