摘要
7D~~<45ct $p}q,f. 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
urL@SeV+$ F+D
e"^As m.5@qmQ 1. 建模任务
T#H-GOY: ?;_Mx al' 2. 干涉条纹的变化
z_(4 +}mj;3i r"VNq&v]9
3. VirtualLab Fusion概览
}_+) :<Db cw_B^f8^ 'RQEktm 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
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vrBf 设置输入场
w H`GzB" - Basic Source Models [教程视频]
],zp~yVU& 定义组件的位置和方向
[xdVuL;N - Basic Source Models [教程视频]
$>wN:uN( 正确设置通道以进行非顺序跟踪
}n,LvA@[0 - Basic Source Models [使用案例]
Nk$|nn9#' 使用
参数运行检查影响/变化
W6u(+P](" - Usage of the Parameter Run Document [用例]
bc& 5*? dL1{i,M $/E{3aT@F2 zP$"6~. 5. VirtualLab Fusion 技术
XWB#7;,R Q[T)jo,j%