摘要
&o$Pwk\p/ m6oaO9"K 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
MUfhk)" BR [3i}Ud aZ{]t:] 1. 建模任务
O$,MdhyXC BNe6q[ )W~ 2. 干涉条纹的变化
sHQ82uX 0O:')R&
+*aZ9g 3. VirtualLab Fusion概览
;VAHgIpx; oWo/QNw9 kL1StF#p 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
Vy7o}z` 设置输入场
5g(`U+,*( - Basic Source Models [教程视频]
YXr" 定义组件的位置和方向
U4*Q;A# - Basic Source Models [教程视频]
Gn8'h
TM 正确设置通道以进行非顺序跟踪
_#]/d3*Z} - Basic Source Models [使用案例]
lmRdl> 使用
参数运行检查影响/变化
1SGLA"r - Usage of the Parameter Run Document [用例]
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#WT K7CrRT3>6
|kXx9vGq@ E 'O[E= 5. VirtualLab Fusion 技术
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