摘要
k@k&}N0{ 8|l\EVV6 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
w=T\3(%j %D\[* 7%x[q} 1. 建模任务
fof TP1 + |n*b 2. 干涉条纹的变化
?kbiMs1;u KUlp"{a`,K
f'EuY17w 3. VirtualLab Fusion概览
jtW!"TOY RAgg:3^ T[UN@^DP( 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
H4&lb} 设置输入场
)<h*eS{ - Basic Source Models [教程视频]
3KlbP 定义组件的位置和方向
"Q@ronP(~ - Basic Source Models [教程视频]
~j}cyHg 正确设置通道以进行非顺序跟踪
g| I6'K!< - Basic Source Models [使用案例]
[+n*~ 使用
参数运行检查影响/变化
keL&b/@ - Usage of the Parameter Run Document [用例]
v$?+MNks 7:plQ!7^
3Q.#c,`jV 7&jTtKLj 5. VirtualLab Fusion 技术
n|9-KTe7|* 5YE'L.