摘要
&gx%b*;`L0 Q hO!Ma] 白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
P@c5pc#| A6(/;+n 7J<5f) 1. 建模任务
JIq=* ' $yNS
pNmT0 2. 干涉条纹的变化
c\AfaK^KF C]A.i2o8 A2Gevj?F$
3. VirtualLab Fusion概览
3)ywX&4"L @E|}Y vyI!]p 4. VirtualLab Fusion中的工作流程
#AQV(;r7@ 设置输入场
_I5Y"o - Basic Source Models [教程视频]
@~a%/GQ#n* 定义组件的位置和方向
~Z'?LV<t - Basic Source Models [教程视频]
$~T4hv : 正确设置通道以进行非顺序跟踪
Z(CkZll - Basic Source Models [使用案例]
l+^*LqEW2 使用
参数运行检查影响/变化
t"oeQ*d% - Usage of the Parameter Run Document [用例]
8KzkB;=n }k.Z~1y e+fN6v5pU =@~Y12o?% 5. VirtualLab Fusion 技术
X!EP$! lL0APT;