摘要
:i0uPh\0 u0JB\)(-/h 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
8r*E-akuyr T;Lkaxsn
ui<N[ 8H%;WU9- 设计任务
p)KheLiZ D#_3^Kiawj
2~Kgv|09 tIWmp30S 光栅特性与参数的严格分析
ew>XrT=Zm JB%',J 不同光栅周期的衍射效率
$h+1u$po OSRp0G20k\
X:A^<L
~ \Z?9{J 考虑光栅周期的选择
prWk2_D;* ] ]u
s %
/
kF) 偏振相关衍射特性
w^\52 qLO4#CKCL6
p\ Q5,eg MU($|hwiL 偏振相关衍射特性
Q7HRzA^- Uf1!qP/H?
zykT*V ^7w+l @ 偏振相关衍射特性
RFi
S@.7 lS"T4 5
0CWvYC%e q;B4WL} 基于参数优化的光栅设计
_?-E7:Sw -z
ID x 具有固定周期的二维参数优化
.u)X3..J BnX0G1|#
3$jT*OyG# 二维参数优化 - 设计#1
Q0)#8Rcm xzdf^Ce
Z&G+bdA>, ]tim,7s 二维参数优化 - 设计#2
`}D,5^9] c/:b.>W
o8 IL$: R8Wr^s>' 制造
公差分析 - 设计#2
U#0Q) lXx=But
?so=;gh 4(#'_jS 不同光栅周期的
三维参数优化
]vz%iv_ 7z%L*z8V
5us:adm[pD %@<8<6&q 制造公差分析
VRVO-Sk |O{m2Fi
m~w[~flgZ /{EP*,/* 走进
VirtualLab Fusion
o5u3Fjz3 >Ifr [
ZAW^/bo< df*#!D7oz VirtualLab Fusion 工作流程
OstQqV%@ 48J@CvU
aH yx_B Wt*cIZ VirtualLab Fusion技术
*zaQx+L jqz ux[6{