摘要
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>&3l 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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:pRF*^eU l';pP^.q 设计任务
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9 CB\n |XRImeF'd 光栅特性与参数的严格分析
_pW_G1U PY?8[A+ 不同光栅周期的衍射效率
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/t*YDWLg iwU[6A 考虑光栅周期的选择
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'f+NW& 偏振相关衍射特性
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9cG<hX9`F T/l1qcf`wT 偏振相关衍射特性
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1oty*c (u&`Ij9 偏振相关衍射特性
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?qmp_2:WU +Rwx%= 基于参数优化的光栅设计
ys8Q.oBv_` U%>'" 具有固定周期的二维参数优化
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gmP9j)V6 二维参数优化 - 设计#1
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)h_8vO2 o&SSvW 二维参数优化 - 设计#2
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QJGKQ2^ n Q.Aa{d9e 制造
公差分析 - 设计#2
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b5a.go 2C=Q8ayvX 不同光栅周期的
三维参数优化
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b:W-l? G`0V)S 制造公差分析
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