摘要
Lb/a_8<E? b5H[~8mf 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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XPX{c|]>. P7@qvg 设计任务
'VF9j\a T]E$H, p
r*,]=M W GH:Au 光栅特性与参数的严格分析
k,q` ^E8k ]bS\*q0Zf( 不同光栅周期的衍射效率
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{OQ sGyR? _;0:wXib= 考虑光栅周期的选择
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GU"MuW`u2 偏振相关衍射特性
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VSP[G ,J. qLPI^g, 偏振相关衍射特性
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JXvHsCd? NG b`f-:jw 偏振相关衍射特性
{O!fV<Vx 9 s]=kD
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基于参数优化的光栅设计
d5u,x.R ^(6.P)$ 具有固定周期的二维参数优化
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|r3eq4$Am 二维参数优化 - 设计#1
Rhr]ML %Cm4a49FNi
A}oR,$D- 4#=^YuKaF1 二维参数优化 - 设计#2
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`Y+p7*Qr2 "h)+fAT|, 制造
公差分析 - 设计#2
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vO"AJ`_ b},OCVT? 不同光栅周期的
三维参数优化
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rKR<R(=!= iaPY>EP1 制造公差分析
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