[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 6n:oEXM>  
M#.dF{%%  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 x
qpq|U  
)agrx76]3w  

图片:1-1ZR2092134500.png

:I2spBx  

j%)@f0Ng  
设计任务 2@Zw#2|
]  
fP/;t61Z  

图片:1-1ZR209220C47.png

}1mkX\wWP  
Se.qft?D%(  
光栅特性与参数的严格分析 _/NPXDL  
?BRZ){)  
不同光栅周期的衍射效率 .1f!w!ltVR  
?P;=_~X  

图片:1-1ZR209224S93.png

@ek8t2??x  
Fu>;hx]s  
考虑光栅周期的选择 zXW;W$7V4  
[ e#[j{  

图片:1-1ZR2092315557.png

XG!^[ZDs  
偏振相关衍射特性 +fN2%aC  
ge]Z5E(1  

图片:1-1ZR20923422Y.png

_LFABG=  
p{x6BVw?>  
偏振相关衍射特性 ETm:KbS  
uBw[|,yn2*  

图片:1-1ZR2092446256.png

0E7h+]bh|  
eB9F35[  
偏振相关衍射特性 i(YR-vYK  
\rY\wa  

图片:1-1ZR2092540b7.png

W/.n R[!  
ybv]wBpM:  
基于参数优化的光栅设计 n]8*yoge  
EX@Cf!GjN  
具有固定周期的二维参数优化 |\RN%w7E
8  
LX}|%- iv  

图片:1-1ZR209260I63.png

t!59upbN}3  
二维参数优化 - 设计＃1 d*$x|B|V  
`_x#`%!#2  

图片:1-1ZR209263E10.png

k- exqM2x=  
W~5gTiBZ]  
二维参数优化 - 设计＃2 E(*S]Z
[  
p.5 *`, )  

图片:1-1ZR2092F2136.png

65GC7 >[  
X=? \A{Y  
制造公差分析 - 设计＃2 uT YG/O  
I7C+XUQkQ  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

.uB[zJc  
]dT]25V  
不同光栅周期的三维参数优化 RN$q,f[#  
Q6n8,2*  

图片:1-1ZR2092Rc92.png

MfraTUxIo/  
Uv(}x7e)  
制造公差分析 PiLLUyQx  
G+WCE*  

图片:1-1ZR2092Z3633.png

bd3>IWihp  
&`_|[Y ]H  
走进VirtualLab Fusion   !lKDNQ8>["  
z'zC  

图片:1-1ZR2092924332.png

I]B9+Z?xo  
D"K!ELGW  
VirtualLab Fusion 工作流程 JEfhr  
mo]>Um'F  

图片:1-1ZR2092952P4.png

)+.AgqxI  
:(I=z6  
VirtualLab Fusion技术 /x/W>J2  
USXPa[  

图片:1-1ZR2093031446.png