[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 ~Uxsn@nLr  
mw='dFt  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 U`Wauv&  
^V#@QPK9  
/4vG3  
J,AR5@)1  
设计任务 p TeOW9  
j4;0|zx-i  
n(L\||#+  
/C4^<
k\  
光栅特性与参数的严格分析 Vv8jEZ8  
unBy&?&p  
不同光栅周期的衍射效率 iv>SsW'p_  
Q)LM-ZJKQ  
dO4
{|(z  
D;_ MPN[  
考虑光栅周期的选择 %7gkNa  
uU:CR>=AKW  
FKT1fv[H  
偏振相关衍射特性 [&nh5|f  

Hrzf'a|^  
t$A%*JBKm  
4qYUoCR&  
偏振相关衍射特性 v0YG,)_
 
e}.^Tiwd]  
hWT[L.>k  
mGGsB5#w>  
偏振相关衍射特性 ##EYH1P]  
$pFo Rv  
7g(F#T?;'  
=<NljOR4`  
基于参数优化的光栅设计 ltD37QZQ  
Ldl5zc  
具有固定周期的二维参数优化 Ns[ym>x#2  
")!,ZD  
 R#DwF,  
二维参数优化 - 设计＃1 h<SQL97N  
ZG du|  
^4`Px/&  
v0ES;  
二维参数优化 - 设计＃2 %
B)6$!x  
sSQs#+&=[  
E4W zU  
X0M1(BJgGo  
制造公差分析 - 设计＃2 A^2Uzmzl?  
ZJ 77[  
lME)?LOI  
hwIMn33  
不同光栅周期的三维参数优化 ]Wq?H-B{  
E)9yH\$6  
DANw1_X\  
1[t=XDz/e  
制造公差分析 pmFk50`  
(Gw,2-A  
L   
H_ez'yy  
走进VirtualLab Fusion   =l0Jb#d  
NSFs\a@1  
nYt/U\n!  
fz3lV  
VirtualLab Fusion 工作流程 _"#!e{N|  
"/nNM{^  
7zv1wb  
W":PG68  
VirtualLab Fusion技术 a<A+4uXyD  
 ^_%kE%I