摘要
+hRAU@RA Y dmYE$ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
$+)SW{7 3Qfj=;
4
G0|j3y9$ :03w k) 设计任务
'q8T*|/ =M)+O%`*6
)VID
;l;4 N)03{$WM 光栅特性与参数的严格分析
yNP
M- S
v$%-x^t 不同光栅周期的衍射效率
lW1Al>dW< YgCJ s;
g>A*kY \vXo~ _-& 考虑光栅周期的选择
f+j\,LJ %,E\8{I+
0{j]p^'< 偏振相关衍射特性
/\hybx' +LCpE$H
HP^<2?K oQ1>*[e<u 偏振相关衍射特性
>fJY |TatRB3>
$a>,sL&; LWuciHfd+ 偏振相关衍射特性
z;JyHC) 5fMVjd
w
xKlBx7 u+a"
'* 基于参数优化的光栅设计
8e:J{EG~ \3LP@;Phn 具有固定周期的二维参数优化
{b6| wQ\ f^b.~jXSR}
V}o`9R@tx} 二维参数优化 - 设计#1
8i/5L=a"` sygxV
=VFi}C/ 'hN_H}U 二维参数优化 - 设计#2
:rd{y`59>& T^> ST
@k['c
E1 IT>_ 制造
公差分析 - 设计#2
m r"b/oM{ /N.xh
CT,P Q Oo^kV:.) 不同光栅周期的
三维参数优化
RC'4%++Nz Cp4 U`]
5]pvHc Z;Q2tT/F 制造公差分析
$p:RnH\H1 BdBwfH%:
_)-t#Ve C{(&Yy" 走进
VirtualLab Fusion
*?bOH5$@Nw T% 74JRQ
Iv])s ]Fi_v?42x VirtualLab Fusion 工作流程
'.
5&Z uH*moVw@5
ac >NLG"[\ VirtualLab Fusion技术
3v\69s Qw>~]d,Z