摘要
QBT-J`Pz K&~#@I; 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
'MM~~: l\l]9Z6%
{xb%P!o` F#C 6.`B 设计任务
U3iyuE kQiW 5
WOTu"Yj %!/liS 光栅特性与参数的严格分析
]KPg=@Q/ O5n]4)< 不同光栅周期的衍射效率
b(rBha| ^
cd5Zl
OG$iZiuf IXk'?9 考虑光栅周期的选择
F$.s6Hh. Ku,A}5-6
`Q_ R/9~ 偏振相关衍射特性
|N3CoB o_+Qer=O6
3ncvM>~g fi@+swfc 偏振相关衍射特性
jc.Uh9Kc _=$!T;}lE
l e/#J &ZFAUE,[ 偏振相关衍射特性
@V
CQ4X7T /
{bK*A!
}K]VlFR 'cc4Y~0s 基于参数优化的光栅设计
Tk=3"y+u[ +s 0Bt ' 具有固定周期的二维参数优化
<(lSNGv5N 'r <BaL
">^]^wa08 二维参数优化 - 设计#1
q2pao?aa OmuZ0@.
cr;`0 H<Taf%JT 二维参数优化 - 设计#2
8$olP:d %* ;
8m'
r:Tb{cA ]ZATER)jq 制造
公差分析 - 设计#2
KPcuGJ rNO;yL4)ey
j %0_!*#3 c<x6_H6[8 不同光栅周期的
三维参数优化
lR3^&d72? 1! [bu
uk/+
i`= V2* |j8| 制造公差分析
<plR<iI. 2=
mD
?b$zuJ] /pN2Jst 走进
VirtualLab Fusion
1qN9bwRO T+"y8#:
i(kK!7W35 uQ1;+P:L VirtualLab Fusion 工作流程
@]3Rw[%z ZEJadR
m?`Rl6!@8\ F}[;ytmUS VirtualLab Fusion技术
B)`X7uG L`
"UeNT