摘要
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+mKII>{ 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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e(DuJ- 设计任务
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33hP/p% m<cv3dbZo 光栅特性与参数的严格分析
TDg<&ND3 +8|Xj!!*} 不同光栅周期的衍射效率
56NDU>j$ QOJ5
2#UVpgX? %^"i\-*|S 考虑光栅周期的选择
f|s,%AU"i += gU`<\
dOgc%(kz 偏振相关衍射特性
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5P ~1,$ 偏振相关衍射特性
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+tYskx/ Di$++T8" 偏振相关衍射特性
4Xv."L 4!'4 l=jO
ukD:4sv 0? KvR``Aj 基于参数优化的光栅设计
[>QzT"= .^rsVNG 具有固定周期的二维参数优化
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"#%9dWy 二维参数优化 - 设计#1
A_J!VXq 8 }Maj
`n e9&+ Y#U0g|UDn 二维参数优化 - 设计#2
GN|xd+O_ }.<]A
dFnu&u" ;,B $lgF 制造
公差分析 - 设计#2
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+/#Lm#*nu% DwXSlsN3v 不同光栅周期的
三维参数优化
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M_;hfpJZ nh"LdHqiDB 制造公差分析
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