[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 sW`iXsbWM>  
UM^hF%  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 &G,v*5N8$K  
-0){C|,6  
L7="!I  
n8C {Okr  
设计任务 \05C'z3]  
aa3YtNpP  
3p#^#1/_  
iKO~#9OF  
光栅特性与参数的严格分析 ,FPgs0rrS  
$>`8'I  
不同光栅周期的衍射效率 +eat,3Ji  
xBd%e-r  
wQ95tN  
O3^@"IY  
考虑光栅周期的选择 @g?z>n n  
c9K\K~bk  
0(.C f.B~  
偏振相关衍射特性 I!%@|[ Ow  
E$baQU hKS  
U_04QwhK7  
ON^u|*kO  
偏振相关衍射特性 C_;6-Q%V  
;!Mg,jlQ  
Z.:A26  
9EQ,|zf'  
偏振相关衍射特性 <]J5AdJ  
{K}+$jzGVt  
OTm"Iwzu@  
R2gax;  
基于参数优化的光栅设计 >m46tfoM  
83|/sWrvh  
具有固定周期的二维参数优化 w}0P
tzOe  
0_)\e  
i;7jJ(#V  
二维参数优化 - 设计＃1 5 [*jfOz  
x-EAu3=V  
Z$gY}Bz  
[ ff.R  
二维参数优化 - 设计＃2 pwQ."2x  
"^%Il  
Z7/lFS'~N  
CK%W+";  
制造公差分析 - 设计＃2 q1j[eru  
7eyh9E!_I  
_7VU ,  
Si(?+bda0c  
不同光栅周期的三维参数优化 B;$5*3D+  
UHwrssX&3  
SX.v5plhc  
IbC)F> Dq  
制造公差分析 ]y/:#^M+  
/fEXAk  
xae
7#d0  
-u(#V#}OV?  
走进VirtualLab Fusion   [DviN  
}#@LZ)]hK  
xMu6P
M<l  
b(F`$N@7C  
VirtualLab Fusion 工作流程 [Pl$=[+  
`K.yE0^i  
Tbw8#[6AX  
\ U_DTI  
VirtualLab Fusion技术 ~drNlt9jf  
H3b`)k sFr