[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 {x s{  
l:%4@t`  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 y]yp8Bs+  
!q mnMY$  
7YrX3Hx8  
vzG(u_,9[  
设计任务 &Nl:  
%[b~4,c1  
> -OQk"o  
8V?O=3<a  
光栅特性与参数的严格分析 3+rud9T  
pbt
/i+!  
不同光栅周期的衍射效率 L> > %  
>d%;+2  
Mt"j<
]EW  
8wMu^3r  
考虑光栅周期的选择 eKsc ["  
g4^=Q'j-  
A@^Y2:pY  
偏振相关衍射特性 x8+W9i0[1  
MIGcV9hf  
CvS}U%  
BxVo
>r  
偏振相关衍射特性 ~RgO9p(dY  
e@|/, W  
k` cz$>  
#-r,;  
偏振相关衍射特性 /{QR:8}-Q  
!Nua  
)%FRBO]  
'[g@A>xDvW  
基于参数优化的光栅设计 R-5EztmLae  
K=nW|^  
具有固定周期的二维参数优化 j+YA/54`  
Q4i@y6z  
(r78AZ  
二维参数优化 - 设计＃1 I*hCIy#;  
I@ "%iYL  
0Rgo#`7l  
d)d\h`=Z  
二维参数优化 - 设计＃2 >LS*G qjq  
^FJ.C|l(  
`IN/1=]5  
`0'Bg2'  
制造公差分析 - 设计＃2 !A@Ft}
FB  
NFxs4:] RT  
1HPYW7jk@"  
] /w:5o#  
不同光栅周期的三维参数优化 
#ub!
 
vK@t=d  
AXBf\)[  
Tp-<!^o4  
制造公差分析 ,j^z];  
?2LRMh")$  
5^:N]Mp"  
~m@v ~=  
走进VirtualLab Fusion   X=_`$ 0  
(?[^##03MN  
&\[3m^L  
H!uB&qY  
VirtualLab Fusion 工作流程 N i\*<:_  
DSb/+8KT  
|^ K"#K  
(`nn\)  
VirtualLab Fusion技术 %UV'HcO/gp  
J^"