摘要 J 8i;E4R
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光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Emlj,c<?j
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设计任务 i>M%)HN
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光栅特性与参数的严格分析 e5_Hmuk|
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不同光栅周期的衍射效率 *6I$N>1
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考虑光栅周期的选择 T//xxH]w-
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偏振相关衍射特性 z'l$;9(y
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基于参数优化的光栅设计 \,S|>CPQ
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具有固定周期的二维参数优化 a1pp=3Pd?~
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二维参数优化 - 设计#1 I\*6
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二维参数优化 - 设计#2 $RDlM
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制造公差分析 - 设计#2 ]SJ#:7
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不同光栅周期的三维参数优化 B:h<iU:'D
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制造公差分析 *RkUF!)(
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