摘要
=u;q98r T >-F~?7Sv 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
pwZ &2&| Q o=
4P:vo $Cy J|DWT+$#Z 设计任务
lJYv2EZ
?5GjH~
5cE[s<= z.H`a+cl 光栅特性与参数的严格分析
g)p[A 4 u8,T>VNVw 不同光栅周期的衍射效率
9n%W-R. }oU&J81
n&V(c&C \@F{Q- 考虑光栅周期的选择
rvfl~<G* \Fe5<G'v
jyT(LDsS 偏振相关衍射特性
1)Ag|4 LnyA 5T
tllg$CQ5 #tfJ?w` 偏振相关衍射特性
-OW$ {Y/
3&*%>) .s9Iymz 偏振相关衍射特性
gSv<.fD" l3MH+o
a*D|$<V 7yj2we 基于参数优化的光栅设计
@6tx5D? u4nXK
<KL| 具有固定周期的二维参数优化
|JDJ{;o tvH)I px
ZEMo`O 二维参数优化 - 设计#1
j>:T)zhyY J+4uUf/d!
df)1}/*L Z:OO|x 二维参数优化 - 设计#2
*Xo f;)Z^ axl?t|~I
R.QcXz?d Jzj~uz 制造
公差分析 - 设计#2
t.TQ@c+,J QRjt.Ry|
iUKj:q: WT)")0)[ 不同光栅周期的
三维参数优化
2u:j6ic M#p,Z F
RAxz+1JT @88 efF 制造公差分析
sDC RL%0QK WI9.?(5q
2=|IOkY |)_R
bqZ 走进
VirtualLab Fusion
gdT_kb5HL8 %!S
|{nI.> w\ :b(I VirtualLab Fusion 工作流程
O
o:jP6r *l^'v9
P:TpB6.=q `3KprpE8v VirtualLab Fusion技术
f#t^<`7 m0,9yY::wj