摘要
5H'Iul<Os ; &rxwL 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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a<*+rGI iK2f]h 设计任务
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\[!{tbK`2 vJr,lBHEk 光栅特性与参数的严格分析
JQLQS ju:}%' 不同光栅周期的衍射效率
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L[X-G 考虑光栅周期的选择
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<IU 偏振相关衍射特性
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Gy+c/gK t(<k4 ji, 偏振相关衍射特性
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D=LsoASVI Vh01y f 基于参数优化的光栅设计
Ce//;Op n=f?Q=h\3 具有固定周期的二维参数优化
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&'neOf/~ 二维参数优化 - 设计#1
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x`2dN/wDhf (7_ezWSl> 二维参数优化 - 设计#2
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? }ub>4N[ 制造
公差分析 - 设计#2
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z$Z%us>io Z3<lJk\Y 不同光栅周期的
三维参数优化
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