摘要
eyy%2>b L|p+;ex 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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参数优化 AG|:mQO zh5ovA% S&F;~ esd9N'.Q* 结果-容差分析
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VirtualLab Fusion中查看
{Hz;*1?$k 7)BK&kpVr A~;+P !T.yv5ge' VirtualLab Fusion的工作流程
=<Ss&p> ~JB4s%& •构造光栅结构
w}U'>fj - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
HBZtg - 倾斜光栅的高级配置[用例]
4+Y9":< •分析光栅衍射效率
%Lom#:L' - 光栅级次分析器[用例]
,D' bIk •使用参数优化优化光栅参数
0NXaAf:2Z •使用参数运行进行
容差分析 [6%y RQ_ - 参数运行文档的用法[用例]
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~ 6>[J^k%~w) Fu65VLKh VirtualLab Fusion技术
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