[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 28X)s!W'  
?Dd2k%o  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 uT]
_pKm  
3p!R4f)GN  

图片:1-1ZR2092134500.png

?\$77k  
L=Dx$#|  
设计任务 aeSy,:  
]o,)#/' $  

图片:1-1ZR209220C47.png

e"^1- U\  
nkN]z ^j  
光栅特性与参数的严格分析 B+zq!+ HJ  
pPQ]#v  
不同光栅周期的衍射效率 !nuXK  
+|#sF,,X4g  

图片:1-1ZR209224S93.png

(nBJ,v)  
.fo.mC@a  
考虑光栅周期的选择 .vpQ3m>  
B TcxBh  

图片:1-1ZR2092315557.png

+qsdA#2  
偏振相关衍射特性 8l!S<RA  
#"i}wS  

图片:1-1ZR20923422Y.png

fM S-  
Vx* =  
偏振相关衍射特性 3:
mF!  
\8Blq5n-O*  

图片:1-1ZR2092446256.png

+#&2*nY  
D\*raQ`n  
偏振相关衍射特性 ?1PY]KNaK  
u=rY  

图片:1-1ZR2092540b7.png

IHxX:a/iv  
P.;B V",  
基于参数优化的光栅设计 x(mY$l,il  
Q~-gtEv+&  
具有固定周期的二维参数优化 z)|56 F7'  
zKiKda%)  

图片:1-1ZR209260I63.png

|dX#4Mq^,  
二维参数优化 - 设计＃1 deeOtco$LT  
(''`Ce  

图片:1-1ZR209263E10.png

u{>5  
lfj>]om$  
二维参数优化 - 设计＃2 -QZped;?*  
gvy%`SSW  

图片:1-1ZR2092F2136.png

O^:Rm=,$  
l'3NiIX  
制造公差分析 - 设计＃2 4|++0=#D$  
[HNGTde&  

图片:1-1ZR2092P5a2.png

cp.)K!$  

kv(N/G  
不同光栅周期的三维参数优化 "F%cn@l  
G e~&Ble  

图片:1-1ZR2092Rc92.png

PkG+`N  
=BX<;vU  
制造公差分析 ~"=nt@M]  
25YJH1x  

图片:1-1ZR2092Z3633.png

|(S=G'AtU  
C'5i>;  
走进VirtualLab Fusion   u.!Pda  
^'
FY!^dE  

图片:1-1ZR2092924332.png

1Z`<HW"  
Ko -<4w
u  
VirtualLab Fusion 工作流程 =cRJtn  
=AR'Pad  

图片:1-1ZR2092952P4.png

[ 8v)\lu  
Yq;
S%.  
VirtualLab Fusion技术 Sf*VkH  
6Ajiz_~U  

图片:1-1ZR2093031446.png