摘要
(mTE;s( koZ*+VP= 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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\F/hMXDlJ J\:R|KaP<p 设计任务
kwo3`b --HZX
;Q OBBF3HG >_-s8t=| 光栅特性与参数的严格分析
l3Q(TH ~I %,}A@H, 不同光栅周期的衍射效率
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z<U-#k7nz 7vrl'^ 1 考虑光栅周期的选择
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VYN`+A 偏振相关衍射特性
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2Mc3|T4)U tl,.fjZn 偏振相关衍射特性
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"U>JM@0DNm aeFe!`F 偏振相关衍射特性
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AN8`7F1 DS.RURzd{r 基于参数优化的光栅设计
1PVtxL?1P Wuc S:8#| 具有固定周期的二维参数优化
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*4Thd:7 ` 二维参数优化 - 设计#1
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Bu<M\w?7Y 二维参数优化 - 设计#2
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C 制造
公差分析 - 设计#2
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2,$8icM gPNZF\ r 不同光栅周期的
三维参数优化
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}N/B dpAjR 制造公差分析
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5 VirtualLab Fusion技术
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