[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 &^9f)xb  
Fj1/B0acS  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 (`3Bi]7  
4DuZF -y  
"kP.Kx!  
e6
sL N  
设计任务 YvBUx#\  
Ma-^
o<{  
]P(Eo|)
m  
deHBY4@  
光栅特性与参数的严格分析 Pl1:d{"d  
1)u=&t,  
不同光栅周期的衍射效率 {:6VJ0s\  
.4_~ku  
VrF]X#\)  
jq.@<<j|$  
考虑光栅周期的选择 YI%7#L7C  
JFYeOmR+l  
~p'/Z@Atu  
偏振相关衍射特性 }{iR+MX  
Kwh3SU=L}  
,Oxdqxu7  
>kC@7h5)  
偏振相关衍射特性 -.^Mt.)  
R#1m_6I  
.WyI.Y1  
t$\]
6RU  
偏振相关衍射特性 ]~ec]Y  
50_%Tl[  
vf5[x!4  
NKGo E/  
基于参数优化的光栅设计 &]#D`u  
mT!~;]RrF  
具有固定周期的二维参数优化 _;'}P2&Q  
1ed#nB%  
_9L2JN$R6  
二维参数优化 - 设计＃1 vja^O  
x!I7vs~~zW  
rycscE4,  

.Z/"L@  
二维参数优化 - 设计＃2 dr9I+c7
u  
&X|z(vSJ$  
>Pv%E  
Bljh'Qp>C  
制造公差分析 - 设计＃2 T*YdGIFO  
@Chj0wWZ>  
=FwFqjvl  
}O o  
不同光栅周期的三维参数优化 L Q;JtLu1  
f, ;sEV  
BU])@~$  
S W  
制造公差分析 }{9E~"_[  
/<y-pFTg  
ZEHz/Y%  
 H\)on"  
走进VirtualLab Fusion   M[Ls:\1a  
i mJ{wF  
mqtl0P0  
ZmYp!B_~  
VirtualLab Fusion 工作流程 T
`f9jD  
|4wVWJ7   
v>0xHQD*<M  
JNk ]$ xz  
VirtualLab Fusion技术 TQbhK^]  
>dZ x+7