摘要
0vM,2:kf* ;MjOs&1f0K 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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_x #K/#-S 设计任务
~<[]l~` r5&?-G :N>s#{+"3 5v#_2Ih 光栅特性与参数的严格分析
KT8]/T`U [
]=}0l<J 不同光栅周期的衍射效率
}Yp]A 2LH.I f 3<HPZWc K|-RAjE 考虑光栅周期的选择
<(caY37o6) ow,=M%x"0 N9cUlrDO 偏振相关衍射特性
x<{)xP+| [T#9#3 !,PoH 7 *HBb- 偏振相关衍射特性
z>W'Ra6 5[$jrG\! S31+ j:" ?:sQ]S/Er 偏振相关衍射特性
yy|F6Pq3` pc<A
,? -j"2rIl4# pJ]i)$M 基于参数优化的光栅设计
h-[FUPfuw k%lz%r 具有固定周期的二维参数优化
Hsz).u =k22f`8ew z c,Q 二维参数优化 - 设计#1
OAtn.LU P[C03a!lXg f}F
x$aFJCL 二维参数优化 - 设计#2
*1
l"|=_&s Tof H=d $qj||zA ?BnjtefIe 制造
公差分析 - 设计#2
C\p _ dzZ75 &c1zEgl .m\' |% 不同光栅周期的
三维参数优化
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VtD:'L- E`>u*D$un~ 6H}8^'/u 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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