摘要
b@:OlZ~% yNu_>!Cp5 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
yMs!6c* 6(
HF)z
6iC>CY3CG >J"IN I 设计任务
r8k (L{W [^H2'&]
]`^! ]Ql :qYp%Ub 光栅特性与参数的严格分析
OLw]BJXYaE LZ*8YNp1' 不同光栅周期的衍射效率
mh
}M|h5Im XTol|a=
OATdmHW Vns3859$8 考虑光栅周期的选择
RNIXQns-=S ?H{[u rLn
y@P%t9l 偏振相关衍射特性
+X?ErQm igO>)XbsM
Dc9uq5l \0$+*ejz 偏振相关衍射特性
tRjv- Daf|.5>(@
{I#_0Q,i A^U84kV= 偏振相关衍射特性
&|>@K#V8-; |OQ]F
U,<m%C" CK* *RZ 基于参数优化的光栅设计
MlO OB bQ<qdGa 具有固定周期的二维参数优化
>KKWhJ ]8$8QQc<<5
=~^b
二维参数优化 - 设计#1
-YoL.`s1 kUT2/3Vi
c-Gp|.C ;$p !dI\-Q 二维参数优化 - 设计#2
K.tNV{OL wmVmGa
R
qpQ;,8X-" [lmF2 制造
公差分析 - 设计#2
{q>%Sr]9 !V|{(>+<
ZR>BK, .#EU@Hc 不同光栅周期的
三维参数优化
w OL,L U D%SOX N
;QI9 OcE@/ 6v%yU3l 制造公差分析
)g5?5f; F)3+IuY
~Xi@#s~ {!,K[QwcI 走进
VirtualLab Fusion
VKa+[ 3(YvqPp&
?kjQ_K jIh1)*]054 VirtualLab Fusion 工作流程
?sfqg gi &raqrY|V
WjD885Xo 87
gk
VirtualLab Fusion技术
wMS%/l0p1 y r (g/0