摘要
YB1DL^: vG_v89t!ex 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
M-K@n$k 3N*C]
FRQ("6( 7Z~szD 设计任务
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14YV#o: 3v>,c>b([ 光栅特性与参数的严格分析
[%,=0P} & O\!!1% 不同光栅周期的衍射效率
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yx;R#8;b. =}GyI_br;8 考虑光栅周期的选择
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8PjhvU 偏振相关衍射特性
+pViHOJu&V -t'oW*kdL
K}3"K C [Q_|6Di 偏振相关衍射特性
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4m!3P"$ H08YMP>dc 偏振相关衍射特性
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2Kd 2co{9LM
>t2)Z|1 |8{iIvi/ 基于参数优化的光栅设计
7#.PMyK9 QGG(I7{- 具有固定周期的二维参数优化
2#M:JgWV %_O>Hy|p
pdqa)>$ 二维参数优化 - 设计#1
3v+}YT{>b 6Q.whV%y
(MiOrzT G/44gKl 二维参数优化 - 设计#2
Tm.w+@ WR EGRy
ms<u YLp M|=$~@9#X 制造
公差分析 - 设计#2
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BW=6gZ_ b+apN ph 不同光栅周期的
三维参数优化
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L`4 制造公差分析
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