摘要 c mI&R(
#)hJ.0~3
光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 896oz>
#2\
0#HN
d"Aer
heN?lmC
设计任务 <1(j&U
5h6c W
9pJk.Np0
vjz*B$
光栅特性与参数的严格分析 EmO{lCENk
>azTAX6L3
不同光栅周期的衍射效率
f7_EqS=(
z1R_a=7
PBo;lg`
#2qDn^s
考虑光栅周期的选择 ]
3UlF'{
XV|u!'Ey
c&AJFED]<
偏振相关衍射特性 6mAaFDI,R
g4-UBDtYt
OPtFz6
{InD/l'v6n
偏振相关衍射特性 Hk8pKpn3
?\7$63gBH
^;@Q3~DpP%
]
eO25,6
偏振相关衍射特性 rMy(NAo_
pni*#W*n
lujUEHzp
)W1tBi
基于参数优化的光栅设计 ,/uVq G
BhcTPQsW
具有固定周期的二维参数优化 @j/|U04_Z
b|KlWt'
td"D&1eQ@
二维参数优化 - 设计#1 -m"9v%>Y
TyG;BF|rwk
(0W)Jd[
7)Y0D@wg
二维参数优化 - 设计#2 ~As/cd>9
W#@Mx
I"5VkeIx
cFF'ygJ/
制造公差分析 - 设计#2 jM%8h$&E
CqkY_z
AwQ7O z|(
yy( .|
不同光栅周期的三维参数优化 ^0fe:ac;
s`63
y&Z[
9-(
\\$%
)' 3V4Z&
制造公差分析 e_v_y$
alV{| Vf[6
ObyF~j}j
7q;wj~
走进VirtualLab Fusion L63B# H"
lv=rL
w$1B|7tX;2
6Ex16
VirtualLab Fusion 工作流程 r 1x2)
l =Is-N`
C>gC99
ucwUeRw,
VirtualLab Fusion技术 (ibj~g?U,
4;D>s8dgG