[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 &e[/F@\%  
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光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 \0j|~/6  
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设计任务 /5
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光栅特性与参数的严格分析 EEn}Gw  
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不同光栅周期的衍射效率 SLz^Wg
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考虑光栅周期的选择 6P?  
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Hc^b}A y7  
偏振相关衍射特性 qN+ngk,:  
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偏振相关衍射特性 t1g)Y|@d  
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偏振相关衍射特性 a,M7Bbx  
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基于参数优化的光栅设计 Bz9!a
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具有固定周期的二维参数优化 =<iK3bPkU  
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二维参数优化 - 设计＃1 0z_e3H{P27  
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二维参数优化 - 设计＃2 2^Q)~sSf9  
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B Lw ssr.  
:)cPc7$8  
制造公差分析 - 设计＃2 29 Yg>R!/  
a%7%NN*i  

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(.m0hN!~u  
不同光栅周期的三维参数优化 *s S7^OZ*  
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2^E.sf$f  
制造公差分析 NK$k9,  
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走进VirtualLab Fusion   @i$9c)D  
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VirtualLab Fusion 工作流程 ]xCJ3.9  
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VirtualLab Fusion技术 i"r&CS)sT  
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