摘要 ]Mtb~^joG
ff{ESFtD
光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 *1>XlVx,
Z9! goI
nJLr]`_
;f6G&>p
设计任务 .[CXW2k
d;'@4NX5+
`;i|
%$TU
~v<r\8`OI2
光栅特性与参数的严格分析 e"2 wXd_}
x.45!8Zb
不同光栅周期的衍射效率 h`5au<h<
\DfvNeF
C\}m_`MR
I5 [r-r
考虑光栅周期的选择 |e+I5
2-{8+*_'
M,mj{OY~x
偏振相关衍射特性 I.\u2B/?
Z0E+EMo
v[HxO?x^
-h.']^I
偏振相关衍射特性 /V3*[
LsBDfp5/
d~28!E+
17nWrTxR$
偏振相关衍射特性 GJ?rqmbL
v<;,x
cZ o]*Gv.
t6js@Ih
基于参数优化的光栅设计 x}F.<`
S:
/ShT
具有固定周期的二维参数优化 zW+Y{^hf
]>:%:-d6
~r|.GY
二维参数优化 - 设计#1 (<1DPpy95O
tT'd]
- FE)
zRsA[F#
二维参数优化 - 设计#2 =m-_0xo
+n)(\k{
8f29Hj+
d8Upr1_
制造公差分析 - 设计#2 B&L{/.v_z\
L{(r@Vu
r$0=b
-
b6NttY!3
不同光栅周期的三维参数优化 6bqJM#y@
tkJ/h<
oNiS"\t
=OjzBiHR
制造公差分析 85s{;3
nP0}vX)<
~2"|4
}Efp{E
走进VirtualLab Fusion O<%U*:B
)8 iDjNM<
u1<xt1K
b?bIxCA8
VirtualLab Fusion 工作流程 =z@'vu$Fh
%:oGyV7a
Pu*st=KGB
6J=~ *&
VirtualLab Fusion技术 r2xlcSn%
!`aodz*PO